Назначение
Анализатор предназначен для измерения на переменном токе параметров емкостных объектов, представляемых параллельной или последовательной схемой замещения.
Применяется в электронной промышленности при производстве и исследовании полупроводниковых приборов и для контроля качества электрорадиоэлементов.
Описание
В основу работы анализатора положен метод амперметра-вольтметра. Схема прибора формирует два высокочастотных напряжения, одно из которых пропорционально току, протекающему через измеряемый объект, другое - напряжению на нем. Оба напряжения в дискретной форме поступают на синхродетектор, выходной сигнал которого выводится на дисплей, и на дискретно-аналоговый преобразователь с последующей индикацией внешним цифровым вольтметром.
Анализатор выполнен в виде настольного прибора с тремя дисплеями для вывода отсчетов по емкости, проводимости и напряжения смещения. Каждый отсчет содержит 4,5 цифровых символа. Для подавления шумов предусмотрено включение аналогового фильтра.
Технические характеристики
| Наименование технической характеристики | Значение характеристики |
| Рабочая частота Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения частоты, % | 100 кГц; 1 МГц ±0,1 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения емкости и проводимости в поддиапазоне: При частоте 100 кГц Цифровой выход 2 пФ 2 мкСм 20 пФ 20 мкСм | ±(0,0012Сх+200 е.с.) ±(0,0012Gx+200 е.с.) ±(0,0012Сх+10 е.с.) ±(0,0012Gx+10 е.с.) |
| 200 пФ 200 мкСм 2 нФ 2 мСм Аналоговый выход 20 пФ 20 мкСм 200 пФ 200 мкСм 2 нФ 2 мСм При частоте 1 МГ ц Цифровой выход 20 пФ 200 мкСм 200 пФ 2 мСм 2 нФ 20 мСм Аналоговый выход 20 пФ 200 мкСм 200 пФ 2 мСм 2 нФ 20 мСм | ±(0,0012Сх+5 е.с.) ±(0,0012Gx+5 е.с.) ±(0,0012Сх+5 е.с.) ±(0,0012Gx+5 е.с.) ±(0,01 Uc+1 мВ) ±(0,01UG+l мВ) ±(0,01 Uc +0,5 мВ) ±(0,01 UG +0,5 мВ) ±(0,01 Uc+0,5mB) ±(0,01 UG +0,5 мВ) ±(0,0029Сх+10 е.с.) ±(0,0029Gx+10 е.с.) ±(0,0029Сх+5 е.с.) ±(0,0029Gx+5 е.с.) ±(0,0029Сх+5 е.с.) ±(0,0029Gx+5 е.с.) ±(0,02 Uc +1 мВ) ±(0,02 UG +1 мВ) ±(0,02 Uc +1 мВ) ±(0,03 UG +1 мВ) ±(0,05 Uc +1 мВ) ±(0,05 UG+1 мВ) где Сх и Gx - измеряемые значения емкости и проводимости соответственно; е.с. -единица счета; Uc и Ug - измеряемые значения напряжения, соответствующие емкости Сх и проводимости Gx, мВ |
| Температурный коэффициент при измерении емкости и проводимости: При частоте 100 кГц Цифровой выход | ±0,0002Сх/К ±0,0002Gx/K |
| Аналоговый выход При частоте 1 МГц | ±(0,002 Uc +0,1 мВ)/К ±(0,002 UG +0,1 мВ)/К |
| Цифровой выход | ±0,0002 Сх /К ±0,0002 Gx /К |
| Аналоговый выход | ±0,0015Сх/К ±0,0015Gx/K |
| Диапазон встроенного источника напряжения, В Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжения, В | минус 20,00 - +20,00 ±(0,01 B+0,0005U) где U - установленное напряжение, В |
| Рабочие условия применения: диапазон температуры окружающего воздуха, °C относительная влажность воздуха при 35 °C, % атмосферное давление, кПа | 0-50 70 84-106 |
| Параметры питающей сети | 105-125 В; 210-250 В 50-60 Гц |
| Потребляемая мощность, не более, В-А | 100 |
| Средний срок службы, лет | 8 |
| Габариты прибора (высотахширинахглубина), мм | 133x435x448 |
| Масса прибора, кг | 9,1 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на боковую поверхность прибора и на титульный лист эксплуатационных документов печатным или фотоспособом.
Комплектность
| Анализатор Кабели измерительные Кабель силовой | 1 шт. 2 шт. 1 шт. |
Руководство по эксплуатации (на русском) 1 шт.
Методика поверки МП2202-0036-2008 1 экз.
Поверка
Поверка проводится в соответствии с документом МП 2202-0035-2008 «Анализатор емкости и проводимости модели 590. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» в декабре 2008 г.
Основные средства поверки:
Набор калибровочных мер емкости модели 5909, диапазон значений 47 - 1800 пФ, погрешность 0,05 %; набор мер сопротивления образцовых Н2-1, диапазон значений 103 -106 Ом, погрешность 0,03 - 0,06 %.
Межповерочный интервал - 2 года.
Нормативные документы
ГОСТ 8.028-86. ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений электрического сопротивления.
ГОСТ 8.371-80. ГСИ. Государственный первичный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений электрической емкости.
Техническая документация компании «Keithley Instruments, Inc.», США.
Заключение
Тип «Анализатор емкости и проводимости модели 590, заводской № 893723» утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при ввозе в РФ и в эксплуатации согласно государственным поверочными схемам.
