Анализатор логический Agilent 93000. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Анализатор логический Agilent 93000

Основные
Тип Agilent 93000
Год регистрации 2006
Дата протокола 13д от 16.11.06 п.39
Класс СИ 35.01
Номер сертификата 25757В
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Германия 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Анализатор логический Agilent 93000 (далее - анализатор) предназначен для измерений параметров сигналов при функциональном и параметрическом контроле микросхем с числом выводов до 512 с рабочей частотой последовательности функционального контроля до 100 МГц и применяется для выходного контроля параметров и правильности функционирования микросхем при их разработке и производстве в ОАО «НИИМЭ и з-д Микрон», г. Москва.

Описание

Принцип действия анализатора основан на сравнении с помощью быстродействующих АЦП выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тестовую последовательность функционального контроля, формируемую анализатором. Анализатор представляет собой измерительно-вычислительный комплекс, в состав которого функционально входят цифровые и аналоговые каналы, измерители параметров, источники силы и напряжения постоянного тока, а также коммутационные устройства и управляющие ПЭВМ.

Конструктивно анализатор выполнен в виде измерительного блока, манипулятора, системы охлаждения, управляющей ПЭВМ.

Технические характеристики

При проведении функционального контроля (ФК) анализатор обеспечивает формирование тестовой последовательности длиной до 56 Мбайт наборов векторов с числом каналов до 512.

Анализатор обеспечивает формирование входных воздействий и контроль ожидаемого состояния на выводах микросхем на каждом канале с поканально - независимым заданием момента контроля. Переключение режима может производится в каждом такте контроля поканально - независимо.

Анализатор обеспечивает задание и контроль на каждом выводе сигнала функционального контроля с параметрами в соответствии с таблицей 1.

Таблица 1

Параметр

Значение

Цифровые каналы

Диапазоны воспроизводимых (измеряемых) напряжений, В

минус 2-^7 (минус 2^-6)

Разрешение, мВ

2,5

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения / измерений напряжений, мВ

±(10/100)

Параметр

Значение

Диапазон воспроизводимой (измеряемой) силы тока, мА

0-35

Разрешение по току, мкА

12,5

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) силы тока, мкА

±425

Диапазон установки частоты следования импульсов, МГц

до 100

Пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты, %

±0,01

Неравномерность вершины импульса, %, не более

8

Выбросы на вершине и в паузе, %, не более

10

Скорость нарастания импульсов, В/нс, не менее

1,2

Аналоговые каналы

Генератор сигналов произвольной формы высокоскоростной

Максимальная частота синусоидального сигнала, МГц

32

Диапазон амплитуд выходного сигнала на нагрузке 50 Ом, В

±2,5

Выходное сопротивление, Ом

50

Диапазон постоянного напряжения смещения в выходном сигнале на нагрузке 50 Ом, В

±2,5

Пределы допускаемой погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока на нагрузке > 10 кОм, где

UB - воспроизводимое напряжения, В

± (0,003-ив + 20 мВ)

АЦП высокого разрешения

Частота дискретизации сигнала, измерений/с

от 8000 до 2048000

Разрешение, бит

16

Диапазоны входных сигналов, В

± 0,2; ± 0,75; ± 1,5; ±3; ±6

Полоса пропускания при ± 6 В, МГц

3

Диапазон установки напряжения смещения, В

± 5

Входное сопротивление, Ом

50;1000000.

Входное сопротивление по дифференциальному входу, Ом

100; 1000000.

Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока, В, для пределов:

±0,2 В

± 0,75 В

± 1,5 В

±зв

±6 в,

где ии3м - измеряемое напряжение, В

± (0,00Гиизм + 5,2 мВ) ± (0,001-иИзм +5,75 мВ) ± (0,001 -UH3M + 6,5 мВ)

± (0,001-иизм + 8 мВ) ±(0,001-иизм + 11 мВ)

Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока по дифференциальному входу, В, для пределов: ±0,2 В

± 0,75 В

± 1,5 В

±3 В

±6В

± (0,0015-иизм± 5,2 мВ) ± (0,0015-ии3м + 5,75 мВ) ± (0,0015'Пизм + 6,5 мВ)

± (0,0015 -иИзм ± 8 мВ) ±(0,0015-и„зм+ И мВ)

АЦП высокого быстродействия

Частота дискретизации сигнала, измерений/с

от 1000000 до 41000000

Разрешение, бит

12

Диапазоны входных сигналов, В

± 0,25; ± 0,5; ± 1,0; ± 2,0

Полоса пропускания при ± 0,5 В, МГц

100

Диапазон установки напряжения смещения, В

± 4

Входное сопротивление, Ом

37,5; 50; 10000

Входное сопротивление по дифференциальному входу, Ом

100; 10000.

Параметр

Значение

Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока, В, для пределов:

± 0,25 В

±0,5 В

± 1 В

±2В

± (0,003-иизм + 6,5 мВ) ± (0,003-иизм + 8 мВ) ± (0,003-иизм ± 11 мВ) ±(0,003-иизм± 17 мВ)

Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока по дифференциальному входу, В, для пределов: ± 0,25 В ±0,5 В ± 1 В ±2В

± (0,003-иизм + 7,5 мВ) ± (0,003-иизм ± 10 мВ) ± (0,003-иизм + 15 мВ) ± (0,003-ии3м + 25 мВ)

Анализаторы обеспечивают воспроизведение и измерение напряжений и силы постоянного тока при параметрическом контроле в соответствии с таблицей 2.

Таблица 2.

Параметр

Диапазоны

Разрешение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспро-изведения/измерения

Воспроизведение (измерение) напряжений измерителями параметров, где U - воспроизводимое (измеряемое) напряжение, В; I - измеряемая (воспроизводимая) сила тока, А

(минус 2 + 7) В

5 мВ

± (0,005-U±20 мВ ±0,5-1)

Воспроизведение (измерение) напряжений высокоточными измерителями параметров

(минус 5 8) В

0,25 мВ

± (2 мВ ± 0,5-1)

Воспроизведение / измерение силы постоянного тока измерителями параметров, где

1в - воспроизводимая сила тока, А;

1изм - измеряемая сила тока, А

± 40 мА

± 1 мА

± 100 мкА

± 10 мкА

20 мкА

0,5 мкА

50 нА

5 нА

± (0,005-1в± 200 мкА)/ ± (0,005-1изм+ 50 мкА)

± (0,005-1в± 5 мкА)/

± (0,005-1изм ± 1,25 мкА) ± (0,005-1в± 500 нА)/ ± (0,005-1„зм+ 125 нА) ±(0,005-1в± 100 нА)/ ± (0,005-1изм+ ЮО нА)

Воспроизведение (измерение) силы постоянного тока высокоточными измерителями параметров

± 200 мА

± 5 мА

± 200 мкА

± 5 мкА

6 мкА 0,25 мкА 6 нА 0,25 нА

±(0,001-1 ±200 мкА) ±(0,001-1 ± 10 мкА) ±(0,001-1 ±200 нА) ±(0,001-1 ± 10 нА)

Воспроизведение напряжений постоянного тока источниками питания

± 7 В (при силе тока от минус 4 до 8 А) ± 8 В (при силе тока ±4 А)

1 мВ

±(0,001-Ub±5mB)

Параметр

Диапазоны

Разрешение

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведе-ния/измерения

Измерение силы постоянного тока источниками питания

±8 А ±0,3 А ± 10 мА ±100 мкА

1 мА 30 мкА 1 мкА 10 нА

± (0,00Г1изм ± 20 мА) ± (0,001 1Изм + 300 мкА) ± (0,00Г1Изм +Ю мкА) ± (0,0011Изм + 100 нА)

Воспроизведение силы постоянного тока источниками питания

от минус 4 до 8 А

1 мА

± (0,005-1в + 20 мА)

Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1)Гц, В...........(380 ± 10 %).

Потребляемая мощность, кВА, не более.............................................................................40,4.

Средний срок службы, лет, не менее...................................................................................... 10.

Рабочие условия эксплуатации: температура окружающего воздуха, °C....................................................... от 18 до 22.

относительная влажность воздуха при температуре 20 °C, %.............................до 60.

Габаритные размеры и масса составных частей приведены в таблице 3.

Таблица 3.

Наименование составной части

Габаритные размеры, мм (длина х ширина х высота) не более

Масса, кг, не более

Измерительный блок:

- стойка с электроникой

- измерительный головной блок

1650x600x910

590 х 960 х 760

240

480

Манипулятор

1650x450x910

1287

Система охлаждения

950 х 520 х 865

190

Управляющая ПЭВМ: - рабочая станция - монитор

140x550x550

500 х 700 х 800

14

12

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.

Комплектность

В комплект поставки входят: анализатор логический Agilent 93000, комплект эксплуатационной документации, методика поверки.

Поверка

Поверка анализаторов проводится в соответствии с документом “Анализатор логический Agilent 93000. Методика поверки”, утвержденным начальником ГЦИ СИ «Воентест» 32 ГНИИИ МО РФ в сентябре 2006 г. и входящим в комплект поставки.

Средства поверки: мультиметр 34401 А, диапазон измерений напряжения постоянного тока от 1 мкВ до 1000 В, пределы допускаемой погрешности ± 0,008 %, диапазон измерений силы постоянного тока от 10 нА до ЗА, пределы допускаемой погрешности ±0,12 %.; осциллограф цифровой Agilent 54642D, полоса пропускания 0-500 МГц, количество каналов 2, развертка по напряжению от 2 мВ/дел до 5 В/дел.; меры электрического сопротивления образцовые РЗОЗО, Р3031, номинальные значения сопротивлений 100 кОм, 1 кОм, 100 Ом, 10 Ом, 1 мОм, кл. т. 0,02; калибратор программируемый П320, диапазон воспроизводимых напряжений от 1 мкВ до 1000 В, пределы допускаемой погрешности ± (0,001 + 0,01) %.

Межповерочный интервал -1 год.

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя.

Заключение

Тип анализатора логического Agilent 93000 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.

Развернуть полное описание