Назначение
Анализатор MSA-500 TD (далее MSA-500) предназначен для измерения виброскорости и перемещения микромеханических элементов, а так же измерения линейных размеров по осям X, Y, Z бесконтактным методом.
Описание
Принцип измерения виброскорости и перемещения микромеханических элементов основан на обнаружении сдвига частоты света, отраженного от движущейся поверхности. Объект рассеивает или отражает свет лазерного луча, доплеровский частотный сдвиг используется для измерения компоненты виброскорости, совпадающей с направлением луча. Принцип измерения линейных размеров по осям X, Y, Z основан на интерференции двух монохроматических когерентных источников света. Изображение образца с опорной плоскости передается на камеру, отображая, таким образом, интерференционную картину.
MSA-500 используется для решения задач научно-исследовательских и опытноконструкторских работ.
В состав MSA-500 входит измерительный микроскоп, контроллер, блок коммутации, сенсорная головка и персональный компьютер Сенсорная головка содержит интерферометр, связанный волоконно-оптическим кабелем с измерительным микроскопом. Сигнал интерферометра, поступающий от сенсорной головки, декодируется в контроллере при помощи декодера скорости. Таким образом формируется сигнал напряжения, который пропорционален скорости или перемещению объекта исследования. Результаты измерения записываются в цифровом виде и сохраняются в системе управления данными. Сигналы управления формируются и синхронизируются персональным компьютером. Блок коммутации является центральной точкой, объединяющей все элементы системы и обеспечивающей интерфейсы для периферийных устройств.
Внешний вид анализатора MSA-500 TD приведен на рисунке 1.
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) служит для управления анализатором. ПО представляет собой сервисное (фирменное) программное обеспечение, которое поставляется совместно с
MSA-500.
| Наименование программного обеспечения | Идентификационное наименование программного обеспечения | Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения | Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вы-численния цифрового идентификатора программного обеспечения |
| Сканирующий виброметр | PSV | 8,6 | - | - |
| Топографическая измерительная система | TMS | 3.2 | - | - |
Защита программы от преднамеренного воздействия обеспечивается тем, что пользователь не имеет возможности изменять команды программы, могущие повлиять на точность измерений. Защита программы от непреднамеренных воздействий обеспечивается функциями резервного копирования.
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений в соответствии с Р 50.2.077-2014 - низкий.
Технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерения виброскорости, м/с | от 6-10-5 до 10 |
| Рабочий диапазон частот, Гц | от 1 до 20 000 |
| Разрешающая способность, мкм/с | 0,05 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерения виброскорости, % | ±1,5 |
| Динамический диапазон измерения линейных размеров по оси Z (max), мкм | 250 |
| Динамический диапазон измерения линейных размеров по оси X (max), мкм | 3590 |
| Динамический диапазон измерения линейных размеров по оси Z (max), мкм | 2680 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерения линейных размеров, % | ±1 |
| Напряжение питания (50/60 Гц), В | (100 - 240)± 10 % |
| Условия эксплуатации: | |
| - диапазон рабочих температур, °С | от 5 до 40 |
| Габаритные размеры: - измерительный микроскоп (Д*Ш>В), мм, не более - контроллер (ДхШ^В), мм, не более - блок коммутации (ДхШ*В), мм, не более - сенсорная головка (ДХШ*В), мм, не более | 446,5x265x267 450x360x150 450x360x150 154x235x107 |
| Масса: | |
| - измерительный микроскоп, кг, не более | 13 |
| - контроллер, кг, не более | 10 |
| - блок коммутации, кг, не более | 8 |
| - сенсорная головка, кг, не более | 8 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на корпус анализатора MSA клейки и на руководство по эксплуатации типографским способом.
-500 TD методом на-
Комплектность
Анализатор MSA-500 TD (зав. № 172087)
1 шт. 1 экз. 1 экз.
Руководство по работе с оборудованием Методика поверки
Поверка
осуществляется по документу МП 59637-15 «Анализатор MSA-500 TD фирмы «Polytec GmbH», Германия. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 28 августа
2014 г.
Основные средства поверки: государственный вторичный эталон единиц длины, скорости и ускорения при колебательном движении твердого тела ГВЭТ 58-1-2009.
Сведения о методах измерений
Руководство по работе с оборудованием «Анализатор MSA-500 TD», глава 4.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к анализатору MSA-500 TD
Техническая документация фирмы «Polytec GmbH», Германия.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
59637-15: Описание типа СИСкачать84.2 Кб