Назначение
Анализаторы мощных устройств/характериографы В1505А с модулями В1510А, В1511А, В1512А, В1513А, В1513В, В1514А, В1520А, В1525А, В1530А (далее - анализаторы) предназначены для:
- воспроизведения/измерения напряжения постоянного тока до 3000 В;
- точных измерений постоянного тока в субпикоамперном диапазоне при высоких напряжениях;
- воспроизведения/измерения силы постоянного тока до 2 А и импульсного до 40 A;
- воспроизведения токового импульса шириной до 50 мкс при больших токах;
- переключения между измерением большого тока и высокого напряжения без перека-либровки;
- измерений емкости при постоянных напряжениях до 3000 В.
Описание
Конструктивно анализатор выполнен в виде настольного моноблока.
Анализатор позволяет проводить измерения при автоматизированном контроле электрических параметров полупроводниковых приборов, анализе их функциональных зависимостей; отображение на дисплее вольт-амперных характеристик (ВАХ), вольт-фарадных характеристик (ВФХ) исследуемого объекта в виде графиков и таблиц, расчет их на основе стандартных параметров исследуемого объекта, формирование и заполнение отчета о полученных результатах.
Модульная конструкция анализатора, включающая 10 гнезд для установки модулей, позволяет создавать такую конфигурацию анализатора, которая соответствует текущим измерительным задачам.
Внешний вид анализаторов приведен на рисунках 1 и 2.
Место нанесения знака утверждения типа приведено на рисунке 1, а схема пломбировки анализаторов от несанкционированного доступа приведена на рисунке 2.
При оформлении внешнего вида генераторов могут использоваться логотипы компаний «Agilent Technologies» или «Keysight Technologies».
Место нанесения знака утверждения типа
Рисунок 1 - Внешний вид анализатора
Рисунок 2 - Схема пломбировки анализаторов (задняя панель)
Программное обеспечение
Управление режимами работы и настройками анализаторов осуществляется с помощью внутреннего программного обеспечения (ПО), которое встроено в защищенную от записи память микроконтроллера, что исключает возможность его несанкционированных настройки и вмешательства, приводящим к искажению результатов измерений.
Идентификационные данные ПО приведены в таблице 1. Таблица 1
| Наименование ПО | Идентификационное наименование ПО | Номер версии (идентификационный номер) ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
| ПО для анализаторов мощных уст-ройств/характериог-рафов В1505А/1505А | В 1500_Software_A 04.11.2010.1209 | Версия A.04.11.2010.1209 | 16559D01EDBF9CA AFD707A6C4CFF75 B9 | MD5 |
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А» по МИ 3286-2010.
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики анализаторов приведены в таблицах 2 - 12.
Таблица 2 - Метрологические характеристики анализатора с модулями в режиме измерения напряжения постоянного тока__________________________________________________________
| Модуль | Пределы измерения | Разрешение | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений |
| В1510А | ± 2 В | 2 мкВ | ± (0,01 • Uu3m.1}+ 0,14 мВ) |
| ± 20 В | 20 мкВ | ± (0,01 • Щм + 0,14 мВ) |
| ± 40 В | 40 мкВ | ± (0,01 • иизм. + 1 мВ) |
| ± 100 В | 100 мкВ | ± (0,012 • Щм + 2,5 мВ) |
| ± 200 В | 200 мкВ | ± (0,014 • Щм + 2,8 мВ) |
| В1511А | ± 0,5 В | 0,5 мкВ | ± (0,01 • Щм + 0,12 мВ) |
| ± 2 В | 2 мкВ | ± (0,01 • Щм + 0,14 мВ) |
| ± 5 В | 5 мкВ | ± (0,009 • иизм + 0,25 мВ) |
| ± 20 В | 20 мкВ | ± (0,01 • иизм + 0,9 мВ) |
| ± 40 В | 40 мкВ | ± (0,01 • иизм. + 1 мВ) |
| ± 100 В | 100 мкВ | ± (0,012 • Щм + 2,5 мВ) |
| В1512А | ± 0,2 В | 200 нВ | ± (0,06 + 0,14 + I0 • 0,05)2) |
| ± 2 В | 2 мкВ | ± (0,06 + 0,6 + I0 • 0,5) |
| ± 20 В | 20 мкВ | ± (0,06 + 3 + I0 • 5) |
| ± 40 В | 40 мкВ | ± (0,06 + 3 + I0 • 10) |
| В1513А В1513В | ± 200 В | 200 мкВ | ± (0,03 • иизм + 40 мВ) |
| ± 500 В | 500 мкВ | ± (0,03 • иизм + 100 мВ) |
| ± 1500 В | 1,5 мВ | ± (0,03 • иизм + 300 мВ) |
| ±3000 В | 3 мВ | ± (0,03 • иизм + 600 мВ) |
| В1514А | ± 0,2 В | 200 нВ | ± (0,06 + 0,14 + I0 • 0,05)2) |
| ± 2 В | 2 мкВ | ± (0,06 + 0,6 + I0 • 0,5) |
| ± 20 В | 20 мкВ | ± (0,06 + 3 + I0 • 5) |
| ± 40 В | 40 мкВ | ± (0,06 + 3 + I0 • 10) |
Примечания
1) - предел измерений для каждого модуля
2) - ± (% от измеренной величины + фиксированное смещение в [мВ] + пропорциональное смещение в [мВ]), I0 - сила тока в [А]
Таблица 3 - Метрологические характеристики анализатора с модулями в режиме источника напряжения постоянного тока__________________________________________________________
| Модуль | Пределы воспроизведения | Разрешение | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений |
| В1510А | ± 2 В | 100 мкВ | ± (0,01 • иизм.1)+ 0,14 мВ) |
| ± 20 В | 1 мВ | ± (0,01 • Щм + 0,14 мВ) |
| ± 40 В | 2 мВ | ± (0,01 • иизм. + 1 мВ) |
| ± 100 В | 5 мВ | ± (0,012 • Щм + 2,5 мВ) |
| ± 200 В | 10 мВ | ± (0,014 • Щм + 2,8 мВ) |
| В1511А | ± 0,5 В | 25 мкВ | ± (0,018 • иизм + 0,15 мВ) |
| ± 2 В | 100 мкВ | ± (0,018 • Щм + 0,4 мВ) |
| ± 5 В | 250 мкВ | ± (0,018 • иизм + 0,75 мВ) |
| ± 20 В | 1 мВ | ± (0,018 • Щм + 3 мВ) |
| ± 40 В | 2 мВ | ± (0,018 • Щм + 6 мВ) |
| ± 100 В | 5 мВ | ± (0,018 • Щм + 15 мВ) |
| Модуль | Пределы воспроизведения | Разрешение | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений |
| В1512А | ± 0,2 В | 200 нВ | ± (0,06 + 0,14 + I0 • 0,05)2) |
| ± 2 В | 2 мкВ | ± (0,06 + 0,6 + I0 • 0,5) |
| ± 20 В | 20 мкВ | ± (0,06 + 3 + Io • 5) |
| ± 40 В | 40 мкВ | ± (0,06 + 3 + I0 • 10) |
| В1513А В1513В | ± 200 В | 200 мкВ | ± (0,03 • иизм. + 40 мВ) |
| ± 500 В | 500 мкВ | ± (0,03 • иизм + 100 мВ) |
| ± 1500 В | 1,5 мВ | ± (0,03 • иизм + 300 мВ) |
| ±3000 В | 3 мВ | ± (0,03 • иизм + 600 мВ) |
| В1514А | ± 0,2 В | 200 нВ | ± (0,06 • иизм + 0,14 мВ) |
| ± 2 В | 2 мкВ | ± (0,06 • иизм + 0,6 мВ) |
| ± 20 В | 20 мкВ | ± (0,06 • иизм. + 3 мВ) |
| ± 30 В | 40 мкВ | ± (0,06 • иизм. + 3 мВ) |
Примечания
1) - предел измерений для каждого модуля
2) - ± (% от измеренной величины + фиксированное смещение в [мВ] + пропорциональное смещение в [мВ]), I0 - сила тока в [А]
Таблица 4 - Метрологические характеристики анализатора с модулями в режиме измерения силы постоянного тока
| Модуль | Пределы измерения | Разрешение | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений |
| В1510А | ± 1 нА | 10 фА | ± (0,1 • Хизм. + 3 • 10-13 + U0 • 10-15)1) |
| ± 10 нА | 10 фА | ± (0,1 • Тизм. + 25 • 10-13 + U0 • 10-14) |
| ± 100 нА | 100 фА | ± (0,05 • Iu3m. + 25 • 10-12 + U0 • 10-13) |
| ± 1 мкА | 1 пА | ± (0,05 • Iu3m. + 10-10 + U0 • 10-12) |
| ± 10 мкА | 10 пА | ± (0,04 • Iu3m. + 2 • 10-9 + U0 • 10-11) |
| ± 100 мкА | 100 пА | ± (0,03 • Iu3m. + 3 • 10-9 + U0 • 10-10) |
| ± 1 мА | 1 нА | ± (0,03 • Iu3m. + 6 • 10-8 + U0 • 10-9) |
| ± 10 мА | 10 нА | ± (0,03 • Iu3m. + 2 • 10-7 + U0 • 10-8) |
| ± 100 мА | 100 нА | ± (0,04 • Iu3m. + 6 • 10-6 + U0 • 10-7) |
| ± 1 А | 1 мкА | ± (0,04 • Iu3m. + 15 • 10-5 + U0 • 10-6) |
| В1511А | ± 1 нА | 10 фА | ± (0,1 • Iu3m. + 2 • 10-13 + U0 • 10-15)1) |
| ± 10 нА | 10 фА | ± (0,1 • Iu3m. + 10-12 + U0 • 10-14) |
| ± 100 нА | 100 фА | ± (0,05 • Iu3m. + 2 • 10-11 + U0 • 10-13) |
| ± 1 мкА | 1 пА | ± (0,05 • Iu3m. + 10-10 + U0 • 10-12) |
| ± 10 мкА | 10 пА | ± (0,04 • Iu3m. + 2 • 10-9 + U0 • 10-11) |
| ± 100 мкА | 100 пА | ± (0,03 • Iu3m. + 3 • 10-9 + U0 • 10-10) |
| ± 1мА | 1 нА | ± (0,03 • Iu3m. + 3 • 10-8 + U0 • 10-9) |
| ± 10 мА | 10 нА | ± (0,03 • Iu3m. + 3 • 10-7 + U0 • 10-8) |
| ± 100 мА | 100 нА | ± (0,04 • Iu3m. + 3 • 10-6 + U0 • 10-7) |
| В1512А | ± 10 мкА | 10 пА | ± (0,06 • Iu3m. + 2 • 10-9 + U0 • 10-10) |
| ± 100 мкА | 100 пА | ± (0,06 • Iu3m. + 2 • 10-8 + U0 • 10-9) |
| ± 1мА | 1 нА | ± (0,06 • Iu3m. + 2 • 10-7 + U0 • 10-8) |
| ± 10 мА | 10 нА | ± (0,06 • Iu3m. + 2 • 10-6 + U0 • 10-7) |
| ± 100 мА | 100 нА | ± (0,06 • Iu3m. + 2 • 10-5 + U0 • 10-6) |
| Модуль | Пределы измерения | Разрешение | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений |
| ± 1 А | 1 мкА | ± (0,4 • 1изм. + 2 • 10-4 + U0 • 10-5) |
| ± 20 А2 | 20 мкА | ± (0,4 • 1изм. + 2 • 10-3 + U0 • 10-4) |
| В1513А В1513В | ± 1 нА | 10 фА | ± (0,1 • 1изм. + 6 • 10-13 + U0 • 10-15) |
| ± 10 нА | 100 фА | ± (0,1 • 1изм. + 25 • 10-13 + U0 • 10-15) |
| ± 100 нА | 100 фА | ± (0,05 • 1изм. + 25 • 10-12 + U0 • 10-13) |
| ± 1 мкА | 1 пА | ± (0,05 • 1изм. + 10-10 + U0 • 10-13) |
| ± 10 мкА | 10 пА | ± (0,04 • 1изм. + 2 • 10-9 + U0 • 10-11) |
| ± 100 мкА | 100 пА | ± (0,03 • 1изм. + 3 • 10-9 + U0 • 10-11) |
| ± 1 мА | 1 нА | ± (0,03 • 1изм. + 6 • 10-8 + U0 • 10-10) |
| ± 10 мА | 10 нА | ± (0,03 • 1изм. + 2 • 10-7 + U0 • 10-9) |
| В1514А | ± 10 мкА | 10 пА | ± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-9 + U0 • 10-10) |
| ± 100 мкА | 100 пА | ± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-8 + U0 • 10-9) |
| ± 1 мА | 1 нА | ± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-7 + U0 • 10-8) |
| ± 10 мА | 10 нА | ± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-6 + U0 • 10-7) |
| ± 100 мА | 100 нА | ± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-5 + U0 • 10-6) |
| ± 1 а2) | 1 мкА | ± (0,4 • 1изм. + 2 • 10-4 + U0 • 10-5) |
Примечания
1) - ± (% от измеренной величины + фиксированное смещение в А + пропорциональное смещение в А), U0 - напряжение в В
2) - только в импульсном режиме.
Таблица 5 - Метрологические характеристики анализатора с модулями в режиме воспроизве-дениия силы постоянного тока
| Модель | Предел измерения | Разрешение | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений |
| В1510А | ± 1 нА | 50 фА | ± (0,1 • 1изм. + 3 • 10-13 + U0 • 10-15)1) |
| ± 10 нА | 500 фА | ± (0,1 • 1изм. + 3 • 10-12 + U0 • 10-14) |
| ± 100 нА | 5 пА | ± (0,05 • 1изм. + 3 • 10-11 + U0 • 10-13) |
| ± 1 мкА | 50 пА | ± (0,05 • 1изм. + 10-10 + U0 • 10-12) |
| ± 10 мкА | 500 пА | ± (0,05 • 1изм. + 3 • 10-9 + U0 • 10-11) |
| ± 100 мкА | 5 нА | ± (0,035 • 1изм. + 15 • 10-9 + U0 • 10-10) |
| ± 1 мА | 50 нА | ± (0,04 • 1изм. + 15 • 10-8 + U0 • 10-9) |
| ± 10 мА | 500 нА | ± (0,04 • 1изм. + 15 • 10-7 + U0 • 10-8) |
| ± 100 мА | 5 мкА | ± (0,045 • 1изм. + 15 • 10-6 + U0 • 10-7) |
| ± 1 А | 50 мкА | ± (0,4 • 1изм. + 3 • 10-4 + U0 • 10-6) |
| В1511А | ± 1 нА | 50 фА | ± (0,1 • 1изм. + 3 • 10-13 + U0 • 10-15)1) |
| ± 10 нА | 500 фА | ± (0,1 • 1изм. + 3 • 10-12 + U0 • 10-14) |
| ± 100 нА | 5 пА | ± (0,05 • 1изм. + 3 • 10-11 + U0 • 10-13) |
| ± 1 мкА | 50 пА | ± (0,05 • 1изм. + 10-10 + U0 • 10-12) |
| ± 10 мкА | 500 пА | ± (0,05 • 1изм. + 3 • 10-9 + U0 • 10-11) |
| ± 100 мкА | 5 нА | ± (0,035 • 1изм. + 15 • 10-9 + U0 • 10-10) |
| ± 1мА | 50 нА | ± (0,04 • 1изм. + 15 • 10-8 + U0 • 10-9) |
| ± 10 мА | 500 нА | ± (0,04 • 1изм. + 15 • 10-7 + U0 • 10-8) |
| ± 100 мА | 5 мкА | ± (0,045 • 1изм. + 15 • 10-6 + U0 • 10-7) |
| Модель | Предел измерения | Разрешение | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений |
| В1512А | ± 10 мкА | 10 пА | ± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-9 + U0 • 10-10) |
| ± 100 мкА | 100 пА | ± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-8 + U0 • 10-9) |
| ± 1мА | 1 нА | ± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-7 + U0 • 10-8) |
| ± 10 мА | 10 нА | ± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-6 + U0 • 10-7) |
| ± 100 мА | 100 нА | ± (0,06 • 1изм. + 2 • 10-5 + U0 • 10-6) |
| ± 1 А | 1 мкА | ± (0,4 • 1изм. + 2 • 10-4 + U0 • 10-5) |
| ± 20 А2 | 20 мкА | ± (0,4 • 1изм. + 2 • 10-3 + U0 • 10-4) |
| В1513А В1513В | ± 1 нА | 10 фА | ± (0,1 • 1изм. + 6 • 10-13 + U0 • 10-15) |
| ± 10 нА | 100 фА | ± (0,1 • 1изм. + 25 • 10-13 + U0 • 10-15) |
| ± 100 нА | 100 фА | ± (0,05 • 1изм. + 25 • 10-12 + U0 • 10-13) |
| ± 1 мкА | 1 пА | ± (0,05 • 1изм. + 10-10 + U0 • 10-13) |
| ± 10 мкА | 10 пА | ± (0,04 • 1изм. + 2 • 10-9 + U0 • 10-11) |
| ± 100 мкА | 100 пА | ± (0,03 • 1изм. + 3 • 10-9 + U0 • 10-11) |
| ± 1 мА | 1 нА | ± (0,03 • 1изм. + 6 • 10-8 + U0 • 10-10) |
| ± 10 мА | 10 нА | ± (0,03 • 1изм. + 2 • 10-7 + U0 • 10-9) |
Примечания
1) - ± (% от измеренной величины + фиксированное смещение в [А] + пропорциональное смещение в [А]), U0 - напряжение в [В]
2) - только в импульсном режиме
Таблица 6 - Метрологические характеристики анализатора с модулем В1520А (многочастотный измеритель емкости)______________________________________________________________
| Частота |
| Диапазон | Разрешение | Погрешность |
| от 1 кГц до 5 мГц | 1 мГц | ± 0,008 % |
| Выходной сигнал воспроизведения |
| Диапазон, мВСКЗ | Разрешение, мВСКЗ | Погрешность |
| от 10 до 250 | 1 | ± (0,1 • F1). + 1 мВСКЗ) - без кабелей ± (0,15 • F1). + 1 мВСКЗ) - с кабелем 1,5 м или 3,0 м |
| Функция смещения по постоянному току-воспроизведение |
| Диапазон, В | Разрешение, мВ | Погрешность |
| ± 25 | 1 | ± (0,005 • иизм + 5,0 мВ) |
| Функция смещения по постоянному току-воспроизведение |
| Диапазон, В | Разрешение, мВ | Погрешность |
| ± 25 | 1 | ± (0,2 • иизм. + 5,0 мВ) |
| Примечание - 1) - F амплитуда выходного сигнала |
Расчет заявленной погрешности измеряемых величин емкости проводится при следующих условиях:
- температура (23 ± 5) °С
- Dx - измеряемая величина (тангенс угла потерь), определяемая из таблицы 7.
Таблица 7
| Измеряемая величина | Dx < 0,1 | Dx > 0,1 |
| \Z\ - модуль полного сопротивления | ± 5 (%) |
| 0 - фазовый угол | ± 5/ 100 [рад] |
| С - емкость | ± 5 (%) | ± 5 • 71 + D. (%) |
| D - тангенс угла потерь | ± 5/100 | ± 5 • (1 + DX )/100 |
| G - активная проводимость | ± 5/ Dx (%) | ± 5 • 71 + DX/Dx / (%) |
Основная относительная погрешность измерений параметров определяется по формуле:
5 = Ep' + (Zs'/\Zx\ + Yo' • |Zx|) • 100 [%], (1)
где EP = EPL + EPOSC + EP [%];
ZS = ZSL + ZOSC + ZS [Ом];
Yo' = YOL + Yosc+ Yo [Cm];
\ZX\ - модуль полного сопротивления измеряемой величины [Ом];
EPL, YOL, ZSL - коэффициент по таблице 9;
EPOSC, ZOSC — коэффициент по таблице 8;
EP, ZS,YOSC, Yo - коэффициент по таблице 1o.
Таблица 8 - Коэффициенты для расчета погрешности измерений емкости
| Уровень U... 1) | Eposc[%] | Zosc[mOm] |
| 125 мВ < U < 250 мВ | 0,03 • (250 / U - 1) | 5 • (250 / U - 1) |
| 64 мВ < U < 125 мВ | 0,03 • (125 / U - 1) | 5 • (125 / U - 1) |
| 32 мВ < U < 64 мВ | 0,03 • (64 / U - 1) | 5 • (64 / U - 1) |
| U < 32 мВ | 0,03 • (32 / U - 1) | 5 • (32 / U - 1) |
| Примечание - U~1) - напряжение переменного тока на выходе блока В1520А в [мВ] |
Таблица 9 - Коэффициенты для расчета погрешности измерений емкости
| Длина кабеля 1) | Epl[%] | YOL [нс] | Zsl[mOm] |
| 1,5 м | 0,02 + 3 • f 2)/ 100 | 750 • f / 100 | 5,0 |
| 3 м | 0,02 + 5 • f/ 100 | 1500 • f / 100 | 5,0 |
| Примечания | 1) - если измерительный кабель другой длины, выходы блока В1520А коротко замкнуты или в режиме холостого хода значения в данной таблице требуют корректировки; 2) - f - значение частоты в [МГц] |
Таблица 10 - Коэффициенты для расчета погрешности измерений емкости
| Частота | Yosc[hc] | Y0[hc] | Ep[%] | Zs[mOm] |
| 1 кГц < f 1) < 200 кГц | 1 • (125 / U2)- 0,5) | 1,5 | 0,095 | 5,0 |
| 200 кГц < f < 1 МГц | 2 • (125 / U - 0,5) | 3,0 | 0,095 | 5,0 |
| 1 МГц < f < 2 МГц | 2 • (125 / U - 0,5) | 3,0 | 0,28 | 5,0 |
| 2 МГц< f | 20 • (125 / U - 0,5) | 30,0 | 0,28 | 5,0 |
| Примечания 1) - f - значение частоты в [Гц]; 2) - U - напряжение переменного тока в [мВ] |
Таблица 11 - Метрологические характеристики анализатора с модулем В1525А (HV - SPGU) (высоковольтный генератор импульсов)
| Амплитудные характеристики напряжения постоянного тока и импульса |
| Уровень выходного напряжения | 50 Ом ХХ | от минус 20 В до плюс 20 В от минус 40 В до плюс 40 В |
| Погрешность установки выходного напряжения 1) | ХХ | ± (0,005 • ивых.+ 50 мВ) |
| Разрешающая способность по амплитуде | 50 Ом ХХ | 0,2 мВ ( в диапазоне ± 10 В) 0,8 мВ ( в диапазоне ± 40 В) 0,4 мВ ( в диапазоне ± 10 В) 1,6 мВ ( в диапазоне ± 40 В) |
| Сила тока короткого замыкания | | 800 мА импульсное (400 мА среднее 2) ) |
| Амплитуда выброса 3) | 50 Ом | ± (0,05 • выброса + 20 мВ) |
| Примечания 1) - через 1 мкс после завершения переходного процесса; 2) - эта величина определяется при следующих условиях: [(Количество установленных модулей В1525А) • 0,2 А] + [Потребление постоянного тока всех модулей (включая модуль В1525А)] < 3,0 А; 3) - указанные условия действуют в определенный период времени |
| Временные характеристики1 |
| Частотный диапазон | от 0, | Гц до 33 МГц |
| Период импульса | Устанавливаемый диапазон Разрешающая способность Минимальное значение Погрешность установки | от 30 нс до 10 с 10 нс 100 нс2) ± 1 % |
| Ширина импульса | Устанавливаемый диапазон Разрешающая способность Минимальное значение Погрешность установки | от 10 нс до (период -10 нс) 2,5 нс (Тфронта и Тсреза < 8 мкс) 10 нс (Тфронта или Тсреза > 8 мкс) 50 нс ± (0,03 • Т4) + 2 нс) |
| Время нарастания3) (Тфронта и Тсреза) | Устанавливаемый диапазон Разрешающая способность Минимальное значение Погрешность установки | от 8 нс до 400 мс 2 нс (Тфронта и Тсреза < 8 мкс) 8 нс (Тфронта или Тсреза > 8 мкс) 20 нс (Памлл < 10 В) 30 нс (Иамил < 20 В) 60 нс (Пампл > 20 В) ± (0,05 • Т 5) + 10 нс) (Цампл < 10 В) ± (0,05 • Т 5) + 10 нс) (Цампл < 20 В) |
| Примечание 1) - если не оговорено другое, то все характеристики даны для 50 Ом; 2) - значение нормируется при иампл < 10 В; 3) - время, при котором амплитуда импульса изменяется от 10 до 90 % от иампл; 4) ' - ширина импульса; 5) - Тфронта или Тсреза |
Таблица 12 - Метрологические характеристики анализатора с модулем В1530А (WGFMU) (генератор произвольной формы)
| Характеристики источника напряжения постоянного тока |
| Уровень выходного напряжения (в режиме переменного тока и напряжения) | от минус 5 до плюс 5 В от минус 10 до 0 В от 0 до 10 В |
| Уровень выходного напряжения (в режиме генератора импульсов) | от минус 5 до плюс 5 В (ХХ) от минус 2,5 до плюс 2,5 В (50 Ом) |
| Погрешность установки выходного напряжения 1) | ± 0,1 % от установленного значения ± 0,1 % от диапазона1) |
| Разрешающая способность2) | 96 мкВ (от минус 3 до плюс 3 В) 160 мкВ ( в других диапазонах исключая от минус 3 до плюс 3 В) |
| Амплитуда выброса | ± (0,05 А + 20 мВ)3) |
| Тфронта (от 10 до 90 %) Тсреза (от 90 до 10 %) | погрешность: ± (0,05T + 10 нс) при заданных установках4); минимальное значение: 24 нс (импульсный режим, нагрузка 50 Ом) |
| Период импульса | Погрешность : ± 1% при заданных установках5) Минимальное значение: 100 нсек (импульсный режим, нагрузка 50 Ом) |
| Характеристики измерителя напряжения постоянного тока |
| Погрешность измерений | ± 0,1 % от установленного значения ± 0,1 % от диапазона 6) |
| Разрешающая способность | 680 мкВ (в диапазоне от минус 5 до плюс 5 В) 1,4 мкВ (в диапазоне от минус 10 до плюс 10 В) |
| Характеристики измерителя напряжения постоянного тока |
| Погрешность измерений | ± 0,1 % от установленного значения ± 0,2 % от диапазона 6) |
| Разрешающая способность | 0,014 % от диапазона |
| Примечания 1) - зависит от диапазона или режима работы. Напряжение постоянного тока - постоянно. Сопротивление нагрузки от 1 МОм (диапазон 1 мкА) или от 200 кОм (все другие диапазоны) для режима переменного тока и напряжения или от 1 МОм для импульсного режима; 2) - может изменяться более чем на 5 % в зависимости от результатов калибровки; 3) - импульсный режим, нагрузка 50 Ом, Тфронта и Тсреза свыше 16 нс c кабелем 1,5 м; свыше 32 нс c кабелем 3 м; свыше 5 нс c кабелем 5 м; 4) - импульсный режим, нагрузка 50 Ом, Тфронта и Тсреза от 24 нс; 5) - импульсный режим, нагрузка 50 Ом, период импульса от 100 нс; 6) - зависит от диапазона или режима работы. Напряжение постоянного тока -постоянно. Условия применения : 10000 усредненных значений для предела измерений 10 мкА и выше; 100000 усредненных значений для предела измерений 1 мкА; ХХ - разрешение дисплея. Может изменяться более, чем на 5 % в зависимости от результатов калибровки |
Таблица 13 - Условия эксплуатации, габаритные размеры и масса
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Нормальные условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность воздуха окружающего воздуха, % - атмосферное давление, кПа | (20 ± 5) от 84 до 106 от 20 до 70 |
| Рабочие условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность окружающего воздуха, %, не более | от 5 до 40; 70 |
| Габаритные размеры анализатора без модулей (ширина х высота х длина), мм, не более | 420 х 330 х 575 |
| Масса анализатора без модулей, кг, не более | 20 |
| Напряжение сети электропитания переменного тока, В | от 90 до 264 |
| Частота сети электропитания переменного тока, Гц | от 47 до 63 |
| Потребляемая мощность, В • А, не более | 900 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и на заднюю панель корпуса анализатора в виде наклейки со стойким к истиранию покрытием.
Комплектность
Комплект поставки (стандартный) приведен в таблице 14. Таблица 14
| Наименование | Количество |
| Анализатор мощных устройств/характериограф В1505А | 1 |
| Модуль В1510А | 1 |
| Модуль В1511А | 1 |
| Модуль В1512А | 1 |
| Модуль В1513А | 1 |
| Модуль В1513В | 1 |
| Модуль В1514А | 1 |
| Модуль В1520А | 1 |
| Модуль В1525А | 1 |
| Модуль В1530А | 1 |
| ПО EasyEXPERT | 1 |
| Модуль переключения (опция N1258A) | 1 |
| Крепление - устройство для подключения мощных устройств (опция N1259A) | 1 |
| Тройник смещения высокого напряжения (опция N1260A) | 1 |
| Адаптер защиты (опция N1261A) | 1 |
| Набор сопротивлений (опция N1262A) | 1 |
| Коаксиальный тройник | 1 |
| Руководство по эксплуатации | 1 |
| Методика поверки | 1 |
| Паспорт | 1 |
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП-342/447-2012 «Анализаторы мощных уст-ройств/характериографы В1505А с модулями В1510А, В1511А, В1512А, В1513А, В1513В, В1514А, В1520А, В1525А, В1530А. Методика поверки», утвержденным руководителем ГЦИ СИ ФБУ «РОСТЕСТ-МОСКВА» 29 июня 2012 г.
Основные средства поверки:
- мультиметр 3458A (рег. № 25900-03), пределы измерений напряжения постоянного тока 100 мВ, 1 В, 10 В, 100 В; пределы допускаемой основной погрешности измерений напряжения постоянного тока: для предела измерений 100 мВ ± (2,540< Uu + 3,5^10-6^ ипп), где Uu - измеренное значение напряжения постоянного тока,ипп - значение предела измерений напряжения постоянного тока; для предела измерений 1 В ± (1,540^ Uu + 0,3^10-6^ ипп); для предела измерений 10 В ± (0,540А Uu + 0,05^10-6 ипп); для предела измерений 100 В ± (0,540-6^ Uu + 0,0540’6^ ипп), пределы измерений силы постоянного тока 100 нА, 1 мкА, 10 мкА, 100 мкА; пределы допускаемой основной погрешности измерений силы постоянного тока: для 100 нА ± (1040-6 • 1и + 40040-6 • 1пп), где 1и - измеренное значение силы постоянного тока,1пп - значение предела измерений силы постоянного тока; для 1мкА ± (1040’6 • 1и + 4040’6 • 1пп); для 10 мкА ± (1040’6 • 1и + 740-6 • 1пп); для 100 мкА ± (1040’6 • 1и + 640—6 • 1пп);
- катушка электрического сопротивления Р310 (рег. № 1162-58), номинальные значения сопротивления 0,001 Ом, 0,01 ОМ, кл.т. 0,01;
- делитель высокого напряжения постоянного тока ДНВ из комплекта вольтметра универсального цифрового В7-40 (рег. № 39075-08), напряжение постоянного тока до 30 кВ, коэффициент деления 1:1000 и 1:2000, погрешность установки коэффициента деления ± 0,5 % (1:1000) и ± 0,6 % (1:2000); входное сопротивление 500 МОм;
- меры емкости образцовые Р597 (рег. № 2684-70), кл. т. от 0,05 до 0,2;
- частотомер электронно-счетный 53132А (рег. № 26211-03), диапазон измерений от 0 до 225 МГц (ВЧ) и от 100 МГц до 12,4 ГГц (СВЧ), пределы допускаемой относительной погрешности ± 540’6, ± 440’9 (опция 012);
- осциллограф цифровой 54820А (рег. № 54820А), 2 канала, рабочая частота до 500 МГц, пределы допускаемой относительной погрешности коэффициента отклонения ± 1,25 %.
Сведения о методах измерений
Анализаторы мощных устройств/характериографы В1505А с модулями В1510А, В1511А, В1512А, В1513А, В1513В, В1514А, В1520А, В1525А, В1530А. Руководство по эксплуатации.
Нормативные документы
1 ГОСТ 8.027-2001 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
2 ГОСТ 8.022-91 ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне от 140’16 до 30 А.
3 ГОСТ 8.371-80 ГСИ. Государственный первичный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений электрической емкости.
4 Техническая документация изготовителя.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
810-53