Назначение
Анализаторы рентгенофлуоресцентные COMPACT Eco, MAXXI Eco, MAXXI 5, MAXXI 6 (далее по тексту - анализаторы) предназначены для измерения толщины однослойных и многослойных покрытий, а также для измерения массовой доли химических элементов в твердых и жидких образцах.
Описание
Принцип действия анализаторов основан на энерогодисперсионном рентгенофлуоресцентном методе анализа. Исследуемый образец подвергается воздействию первичного рентгеновского излучения, и регистрируется полученный рентгеновский флуоресцентный спектр образца. Спектр измерения состоит из линий флуоресценции содержащихся в образце элементов, которые отличаются соответствующей энергией и интенсивностью.
Конструктивно анализаторы выполнены в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером и включают в себя следующие основные составные части:
- измерительную головку, включающую в себя рентгеновскую трубку для генерирования первичного излучения и детектор с аналитической электроникой для регистрации вторичного спектра, излучаемого образцом.
- измерительную камеру, состоящую из моторизованного или стационарного столика, который установлен горизонтально и на котором размещается измеряемый образец; и дверцы, которая блокируется в закрытом положении с помощью запирающего механизма во время измерения.
Модели анализаторов различаются максимальным размером исследуемого образца: 380^370x100 мм для COMPACT Eco; 470x500x170 мм для MAXXI Eco, 600x500x350 мм для MAXXI 5, 500x450x350 мм (500x450x170 мм для приборов с моторизованным столиком) для MAXXI 6. Анализаторы COMPACT Eco, MAXXI Eco оснащены стационарным или перемещаемым вручную измерительным столиком, MAXXI 5 и MAXXI 6 - стационарным или моторизированным измерительным столиком, анализаторы модели MAXXI 6 дополнительно оснащены джойстиком для перемещения столика по осям X и Y, а также для перемещения измерительной головки по оси Z.
Анализаторы MAXXI 5, MAXXI 6 имеют щелевую конструкцию измерительной камеры.
Программное обеспечение
Управление анализаторами и обработка результатов измерений проводится с помощью специального программного обеспечения XmasteR для моделей COMPACT Eco, MAXXI Eco, MAXXI 5 и MaxxControl или SmartLink для анализаторов модели MAXXI 6. Программное обеспечение (ПО) также служит для настройки анализаторов, проведения измерений, включая визуальный анализ экспериментальных данных, анализа и обработки полученных данных.
Программное обеспечение позволяет быстро разместить образец при помощи джойстика (MaxxControl, SmartLink) или мыши (XmasteR).
ПО имеет шесть программных опций:
ц-Master - программа для измерения толщин покрытий;
Element-Master - программа для измерения химического состава;
% Master - программа для прецизионного анализа химического состава металлов и сплавов, которая включает специальное приложение для драгоценных металлов (золото 8 - 24 Карат);
Data-Master - обработка и хранение результатов;
LiquidMaster - программа для анализа содержания гальванических ванн.
Программное обеспечение передает отчеты по выполненным испытаниям в форматы word, Excel, HTML или PDF.
Программное обеспечение (ПО) имеет следующие идентификационные данные.
Таблица 1
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | XMasteR | SmartLink | MaxxControl |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 2.6.0.0 и выше | 1.0 и выше | 1.0 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | - |
| Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО | - |
Программное обеспечение размещается в энергонезависимой памяти персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя.
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
приведены в таблице 2.
Таблица 2
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Метрологические характеристики |
| Диапазон измерений толщины покрытия, мкм | от 0,01 до 22,00 |
| Диапазон показаний толщины покрытия, мкм | от 0 до 120 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерения толщины | ±5 |
| покрытия в диапазоне от 0,01 до 22 мкм (для однослойных образцов), % |
| Диапазон измерений массовой доли элементов, % | от 0,01 до 100,00 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерения массовой | |
| доли элементов, % | |
| - в диапазоне от 0,01 до 1% включительно | ±5 |
| - в диапазоне свыше 1 до 100% | ±2 |
| Технические характеристики |
| Анализируемые элементы - MAXXI 6 | А 113 тт92 от Al до U |
| - MAXXI 5 | гр • 22 т т92 от Ti до U |
| - MAXXI Eco | 22 92 от Ti до U |
| - COMPACT Eco | 22 92 от Ti до U |
| Количество измеряемых слоев покрытия, включая основание | 5 |
| Допускаемое отклонение показаний толщины покрытия в диапазоне от | |
| 0,01 до 0,5 мкм (для многослойных образцов - определяется по калибровочным образцам изготовителя), мкм - для первого (нижнего) слоя | ±0,100 |
| - для второго слоя | ±0,075 |
| - для третьего слоя | ±0,050 |
| - для четвертого слоя | ±0,025 |
| Допускаемое отклонение показаний толщины покрытия в диапазоне от 0,5 | |
| до 120 мкм (для многослойных образцов - определяется по калибровочным образцам изготовителя), % - для первого (нижнего) слоя | ±20 |
| - для второго слоя | ±15 |
| - для третьего слоя | ±10 |
| - для четвертого слоя | ±5 |
| Г абаритные размеры (ДхШхВ), мм, не более - MAXXI 6 | 626х625х756 |
| - MAXXI 5 | 700x700x700 |
| - MAXXI Eco | 550x680x550 |
| - COMPACT Eco | 400x600x400 |
| Масса, кг, не более | |
| - MAXXI 6 | 75 |
| - MAXXI 5 | 90 |
| - MAXXI Eco | 46 |
| - COMPACT Eco | 41 |
| Потребляемая сила тока, А | 1,6 |
| Электропитание осуществляется от сети переменного тока с | |
| напряжением, В | 220±10 |
| частотой, Гц | от 50 до 60 |
| Условия эксплуатации: | |
| температура окружающей среды, °С | от +18 до +35 |
| относительная влажность воздуха, % | от 0 до 98 |
| атмосферное давление, кПа | от 94 до 106 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации печатным методом и на заднюю панель корпуса анализаторов методом наклеивания.
Комплектность
Таблица 3
| Наименование | Количество, шт |
| Анализаторы рентгенофлуоресцентные COMPACT Eco/ MAXXI Eco/ MAXXI 5/ MAXXI 6 | 1 |
| Джойстик* | 1 |
| Калибровочный образец Cu и Ag | 1 |
| Пластиковый образец для регистрации спектра фона | 1 |
| Ключ для переключателя прибора | 2 |
| Компьютер** | 1 |
| CD-диск с программным обеспечением | 1 |
| Руководство по эксплуатации | 1 |
| Методика поверки МП 031.Д4-16 | 1 |
| * только для анализаторов рентгенофлуоресцентных MAXXI 6 |
| ** по требованию Заказчика |
Поверка
осуществляется по документу МП 031.Д4-16 «ГСИ. Анализаторы рентгенофлуоресцентные COMPACT Eco, MAXXI Eco, MAXXI 5, MAXXI 6. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» «15» января 2016 г.
Основные средства поверки
1 Набор мер массовой доли элементов и толщины покрытий из состава Государственного первичного эталона единиц массовой (молярной) доли и массовой (молярной) концентрации компонентов в жидких и твердых веществах и материалах на основе спектральных методов по ГОСТ Р 8.735.0-2011
Основные метрологические характеристики:
диапазон значений толщины покрытия меры от 0 до 22 мкм
абсолютная погрешность результатов измерений толщины покрытия ±(от 0,025 до 0,700) мкм
диапазон значений массовой доли элементов: от 62 до 100 % неопределенность значений массовой доли элементов: ±(от 0,64 до 2,86) %
2 Стандартный образец состава деформируемого сплава ВЖ175-ИД (комплект) ГСО 10126-2012
Основные метрологические характеристики: массовая доля элементов: от 0,0001 до 54,8000 %
абсолютная погрешность аттестованных значений при доверительной вероятности Р=0,95 от 0,00002 до 0,20000 %
3 Никель марки Н-0 по ГОСТ 849-2008 никель и кобальт в сумме, не менее - 99,99 % в том числе кобальт, не более - 0,005 %
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус анализаторов рентгенофлуоресцентных COMPACT Eco, MAXXI Eco, MAXXI 5, MAXXI 6 (место нанесения указано на рисунках 1, 3, 4, 6)
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационных документах.
Нормативные документы
1 ГОСТ Р 8.735.0-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений содержания компонентов в жидких и твердых веществах и материалах. Основные положения»
2 Техническая документация фирмы «Oxford Instruments Analytical GmbH», Германия
65337-16: Методика поверки МП 031.Д4-16Скачать1.4 Мб