Назначение
Анализаторы влажности МКМ-1 предназначены для измерений объёмной доли влаги газовой среды в подкорпусном пространстве устройств физической электроники.
Описание
Анализаторы влажности МКМ-1 (далее - анализаторы) основаны на масс-спектрометрическом методе измерений относительной влажности. Анализатор включает в себя времяпролетный масс-спектрометр, электронно-вакуумный комплекс и измерительную камеру для образцов газовой смеси. В измерительной камере создаётся вакуум, после чего происходит заполнение образцом газовой смеси. Газ поступает в масс-спектрометр, где происходит измерение объёмной доли паров воды. Анализатор выполнен в виде напольной стойки с дверцами. На лицевой стороне анализатора расположена панель управления с жидкокристаллическим дисплеем, отображающим результаты измерений, информацию о режимах работы электронно-вакуумного комплекса и масс-спектрометра. Также на лицевой стороне корпуса расположена измерительная камера для образцов.
Анализатор имеет цифровой интерфейс USB для подключения персонального компьютера с установленной программой Scope, осуществляющей считывание сигналов масс-спектрометра, вывод результатов измерений на экран, вывод информации о режимах работы, настройку анализатора, запись градуировочных характеристик масс-спектрометра, установку пороговых значений измеряемой объёмной доли влаги, выдачу сигнализации при нарушении пороговых значений и при ошибках работы, регистрацию результатов измерений.
Общий вид анализатора влажности МКМ-1 представлен на рисунке 1.
Рисунок 1- Общий вид анализатора влажности МКМ-1.
Программное обеспечение
В анализаторах влажности МКМ-1 используется встроенное и автономное программное обеспечение (ПО).
Встроенное ПО предназначено для управления анализатором, сбора и обработки сигналов масс-спектрометра, передачи цифровых выходных сигналов, отображения режимов работы и результатов измерений.
Автономное ПО предназначено для приёма цифровых выходных сигналов, вывода результатов измерений, контроля состояния параметров вакуумных и электронных блоков, контроля пороговых значений, хранения калибровочных коэффициентов.
Версия встроенного ПО анализатора указывается на шильде на внутренней стороне корпуса. Версия автономного ПО указывается в разделе меню «О программе...».
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Тип ПО | встроенное | автономное |
| Идентификационное наименование ПО | h2o_815.hex | Scope.exe |
| Номер версии (идентификационный номер)* ПО | 3.хх | 3.хх |
| Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)** | fa3d571d229bee627ed963e26f68f50 f3802eab74b8475ed88c17a95 | b73a571c229baa321ef961336fa8f3af 7ba2ba354b8a781d84a18a12 |
| Алгоритм расчета цифрового идентификатора ПО | RFC 4357 | RFC 4357 |
| *х- может быть любой цифрой **контрольная сумма приведена для версий: встроенного ПО - 3.12, автономного ПО - 3.07 |
Защита программного обеспечения от преднамеренных или непреднамеренных изменений по Р50.2.077-2014 соответствует уровню средний.
Влияние программного обеспечения учтено при нормировании метрологических характеристик.
Технические характеристики
Таблица 3 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений объёмной доли влаги, млн-1 | от 200 до 11000 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности, %, в диапазоне: от 200 до 1000 млн-1 | ±20 |
| свыше 1000 до 6000 млн-1 | ±10 |
| свыше 6000 до 11000 млн-1 | ±20 |
Таблица 4 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Напряжение питания переменным током, В Частотой, Гц | 220 +22_зз 50±1 |
| Потребляемая мощность, Вт, не более | 780 |
| Выходные сигналы | USB |
| Габаритные размеры (Д х Ш х В), мм, не более | 500x600x1200 |
| Масса, кг, не более | 75 |
| Условия эксплуатации: - диапазон температуры окружающего воздуха, °С; - относительная влажность окружающего воздуха при температуре +25 °С, % - диапазон атмосферного давления, кПа | от +15 до +25 от 20 до 80 от 84 до 107 |
| Наработка на отказ, ч | 4800 |
| Срок службы, лет | 8 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом и на анализатор в виде надписи на закрепленной на корпусе металлической или пластиковой пластине.
Комплектность
Таблица 5 - Комплектность анализатора
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Анализатор влажности МКМ-1 | МКМ 01.00.00.000 | 1 шт. |
| Комплект монтажных и запасных частей | МКМ 01.00.00.000 ЗИП | 1 шт. |
| Программное обеспечение | МКМ 01.00.00.000 ПРО | 1- CD-диск |
| Руководство по эксплуатации | МКМ 01.00.00.000 РЭ | 1 экз. |
| Формуляр | МКМ 01.00.00.000 ФО | 1 шт. |
| Методика поверки | МП 242-1528-2020 | 1 экз. |
| Свидетельство о первичной поверке | | 1экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 242-1528-2020 «ГСИ. Анализаторы влажности МКМ-1.
Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 09 сентября 2020 г.
Основные средства поверки:
- гигрометр точки росы Optidew Vision, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде средств измерений 50304-12;
- баллон с азотом ОЧ по ГОСТ 9293-74;
- баллоны с газовой смесью (значения объемной доли влаги: 1500±500 млн-1; 6500±500 млн-1; 10000±500 млн-1).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ 8.547- 2009 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений влажности газов
Технические условия ТУ-721913-008-56325574-2013 Анализаторы влажности МКМ-1
