Датчик давления мембранно-емкостный Cube CDGsci. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Датчик давления мембранно-емкостный Cube CDGsci

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок 1
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 2 года
Найдено поверителей 1
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Успешных поверок (СИ пригодно) 1 (100%)

Назначение

Датчик давления мембранно-емкостный Cube CDGsci (далее по тексту - датчик) предназначен для измерений абсолютного давления в диапазоне от 1 до 1300 Па при поверке и калибровке средств измерений абсолютного давления различных типов.

Описание

К данному типу средств измерений относится датчик с зав. № 540255789.

Принцип действия датчика основан на использовании зависимости между измеряемым давлением и упругой деформацией мембранно-емкостного чувствительного элемента - тонкой радиально напряженной мембраны.

Конструктивно датчик выполнен в виде компактного невосприимчивого к воздействиям окружающей среды корпуса с размещенной внутри керамической диафрагмой-мембраной и измерительной камерой. При подаче в измерительную камеру давления керамическая диафрагма-мембрана отклоняется. Отклонение измеряется емкостным способом и преобразуется цифровой электроникой в цифровой выходной сигнал.

При сильных вибрациях в вакуумной системе датчик устанавливается с демпфирующим устройством.

Выходной сигнал не зависит от типа газа.

Точное измерение давления достигается за счет нагрева датчика до постоянной температуры 45 °С, что приводит к компенсации изменений условий окружающей среды и уменьшению осаждения продуктов процесса и побочных продуктов в технологических процессах. Встроенная перегородка защищает датчик от покрытия.

Нанесение знака поверки на средство измерений не предусмотрено.

Заводской номер наносится на корпус датчика в виде наклейки.

Пломбирование датчика не предусмотрено.

Общий вид датчика приведен на рисунке 1. Информационная табличка в виде наклейки представлена на рисунке 2.

Программное обеспечение

Рисунок 1 - Общий вид датчика давления мембранно-емкостного Cube CDGsci

Датчик функционирует под управлением программного обеспечения (ПО), которое является неотъемлемой его частью. ПО выполняет следующие функции: управление работой датчика; формирование выходных сигналов; обработка, передача и отображение результатов измерений, автоматическая диагностика состояния датчика. Так же ПО обеспечивает интерфейс пользователя, при помощи которого осуществляются такие функции, как выбор единицы измерения, разрядности отображения результатов измерений и другие.

Влияние ПО датчика учтено при нормировании метрологических характеристик.

Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений «низкий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

INFICON Cube

Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже

1.8.0.18

Цифровой идентификатор ПО

-

Таблица 2 - Метрологические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений абсолютного давления, Па1)

от 1 до 1300

Пределы допускаемой относительной погрешности, %

-    в диапазоне от 1 до 1,3 102 Па включ.

-    в диапазоне св. 1,3 102 до 1,3-103 Па

±(5 - 0,5) ±0,5

1) Допускается выбор других единиц измерений давления, с учетом соотношения 1 Торр = 1,3332 мбар = 133,3224 Па

Таблица 3 - Основные технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Цифровой интерфейс

RS232, Ethernet

Габаритные размеры датчика, мм, не более

- высота

195

- ширина

110

- длина

105

Масса датчика, кг, не более

1,7

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С

от +15 до +25

- относительная влажность, %, не более

80

- атмосферное давление, кПа

от 84 до 106,7

Знак утверждения типа наносится

на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом. Комплектность средства измерений

Таблица 4 - Комплектность датчика

Наименование частей

Обозначение

Количество

Датчик

Cube CDGsci

1 компл.

Демпфирующий блок

-

1 шт.

WLAN-адаптер с USB

-

1 шт.

Разъем LEMO

-

1 шт.

Кабель Ethernet

-

1 шт.

Блок питания

-

1 шт.

Кейс

-

1 шт.

Руководство по эксплуатации

-

1 экз.

Паспорт

-

1 экз.

Сведения о методах измерений

приведены в документе «Емкостный мембранный датчик Cube CDGsci. Руководство по эксплуатации», раздел 4.

Нормативные документы

Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне Г10-1^Г107 Па, утвержденная приказом Росстандарта от 6 декабря 2019 г. № 2900.

Развернуть полное описание