Назначение
Датчик вакуумный инверсно-магнетронный AIM-X-NW25 предназначен для измерения абсолютного давления.
Описание
Датчик вакуумный инверсно-магнетронный AIM-X-NW25 выполнен в виде единого корпуса, в котором расположена разрядная трубка. В корпусе разрядной трубки параллельно друг другу расположены катодная пластина на заземлённом потенциале и анод с высоким положительным зарядом. С внешней стороны на разрядной трубке расположены два постоянных магнита и металлических хомут. Датчик вакуумный инверсно-магнетронный AIM-X-NW25 имеет аналоговый выходной сигнал, который может быть использован для удаленного отображения и контроля вакуумных систем.
Принцип действия датчика вакуумного инверсно-магнетронного AIM-X-NW25 основан на использовании принципа холодной эмиссии.
Технические характеристики
приведены в таблице 1.
Таблица 1
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| 1 | 2 |
| Диапазон измерений, гПа (мбар) | от 10-9 до 10-2 |
| Выходной аналоговый сигнал, В | от 2 до 10 |
| Тип выходного аналогового сигнала | линейный |
| Пределы допускаемой относительной погрешности, %: | ± 30 |
| Напряжение питания, В | от 13,5 до 36 |
| Потребляемая мощность, Вт, не более | 2 |
| Г абаритные размеры, мм, не более | 0 79х115 |
| Масса, кг, не более | 0,81 |
| Диапазон рабочих температур, °С | от плюс 5 до плюс 60 |
| Относительная влажность, % | не более 80 |
| Степень защиты | IP 40 |
Знак утверждения типа
наносится на титульном листе руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
В комплект поставки входят:
- датчик вакуумный инверсно-магнетронный AIM-X-NW25
1 шт.;
1 шт.; 1 экз.; 1 экз.
- кабель
- руководство по эксплуатации
- методика поверки РТ-МП-2953-443-2016
Поверка
осуществляется по документу РТ-МП-2953-443-2016 «ГСИ. Датчик вакуумный инверсно-магнетронный AIM-X-NW25. Методика поверки», утвержденному ФБУ «Ростест-Москва» 25.01.2016 г.
При первичной поверке знак поверки наносится в виде оттиска поверительного клейма, а при периодической поверке знак поверки наносится в виде оттиска поверительного клейма и голографической наклейки, на свидетельство о поверке.
Основные средства поверки:
- вакуумметр ионизационный образцовый 2-го разряда ВИО-1 с диапазоном измерений от
9 1 7
7-10" до 1-10" Па, с допускаемой относительной погрешностью ±10 % в диапазоне от 1-10" до 1 • 10-1 Па и ± 30 % в диапазоне от 7-10-9 до 1,1-10-7Па (Госреестр № 9862-85);
- установка вакуумметрическая эталонная 2-го разряда ВАТТ УВЭ-3 с диапазоном измерения абсолютного давления от 1 • 10- до 1*10 Па, с допускаемой относительной
2 3 5
погрешностью ± 10 % в диапазоне от 1-10" до 110 Па и ± 15 % в диапазоне от 1-10" до 1 • 10-2 Па (Госреестр № 53639-13);
- мультиметр цифровой 34401А с диапазоном измерения напряжения постоянного тока до 10 В, с относительной погрешностью ± [0,0035 % от измеряемой величины + 0,0005 % от верхнего предела измерений] (Госреестр № 54848-13);
- источник питания постоянного тока Б5-93, с наибольшим значением напряжения 50 В и с пределами допускаемой погрешности по выходному напряжению: ± (0,001U+0,3) В, в диапазоне до 30 В и ± (0,001U+0,5) В, в диапазоне свыше 30 В (Госреестр № 51394-12).
Сведения о методах измерений
Методика измерений приведена в руководстве по эксплуатации на датчик вакуумный инверсно-магнетронный AIM-X-NW25.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к датчику вакуумному инверсно-магнетронному AIM-X-NW25
1 Документация фирмы EDWARDS, Великобритания.
2 ГОСТ 8.107-81 «ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная общесоюзная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1 • 10-8 ^ 1-103 Па;
63641-16: Методика поверки РТ-МП-2953-443-2015Скачать1.8 Мб