Назначение
Датчики давления тепловые 901Р, 910, 925, 925С (далее по тексту - датчики) предназначены для измерений абсолютных давлений и разности давлений негорючих газов.
Описание
Принцип действия датчиков основан на зависимости измеряемого давления от упругой деформации пьезочувствительного элемента, а также от теплопроводности разреженного газа.
В состав датчиков 901Р и 910 входят два измерительных преобразователя - тепловой и пьезорезистивный, в состав датчиков 925, 925С - только тепловой. В качестве меры давления в тепловом преобразователе используются тепловые потери тонкой нагретой проволоки (нити накала), происходящие при передаче тепла через разреженный газ стенкам преобразователя. Проволока является плечом измерительной мостовой схемы. Изменение сопротивления этого плеча, вызванное изменением его температуры, приводит к разбалансу моста. При этом возникает электрический сигнал пропорциональный давлению, который поступает на блок преобразования электрических сигналов датчика для формирования выходного цифрового сигнала. В качестве чувствительного элемента в пьезорезистивном преобразователе применяется кремниевый кристалл с измерительной мембраной, на которую нанесены пьезорезистивные элементы. Под воздействием измеряемого давления или разности давлений измерительная мембрана деформируется, что приводит к изменению электрического сопротивления пьезорезисторов. При этом возникает электрический сигнал пропорциональный давлению, который поступает на блок преобразования электрических сигналов датчика для формирования выходного цифрового сигнала.
Конструктивно датчики выполнены в виде единого корпуса, в котором расположен один или два измерительных преобразователя и электронный блок преобразования. Датчики оснащены стандартным встроенным интерфейсом RS 485 или RS 232, обеспечивающим подключение к последовательному порту компьютера для обработки и индикации показаний измеренных значений давления.
По дополнительному заказу потребителя в комплект поставки могут быть включены блоки питания и индикации компании «MKS Instruments».
Датчики выпускаются в четырех модификациях, отличающихся диапазонами измерений, видом измеряемого давления, габаритными размерами.
Общий вид датчиков приведен на рисунке 1.
925С
Рисунок 1 - Датчики давления тепловые 901Р, 910, 925, 925С
Технические характеристики
Основные технические характеристики датчиков приведены в таблице 1.
Таблица 1
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Модификация датчика | 901P | 910 | 925 | 925C |
| Вид измеряемого давления | абсолютное, разность давлений | абсолютное | абсолютное |
| Рабочий диапазон, Па | от 1,3340’3 до 1,33-105 | от 1,3340’3 до 2-105 | от 1,3340’3 до 1,01^105 |
| Диапазон измерений абсолютных давлений, Па | от 1,3340’2 до 1,33-105 | от 1,3340’2 до 2^105 | от 1,3340’2 до 1,01^105 |
| Диапазон измерений разности давлений, Па | от минус 1,01-105 до 1,01-105 | ’ | ’ |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений давления в поддиапазонах измерений, % > для датчиков мод. 901Р, 910 абсолютное давление: • 1,3340’2.6,6403 Па • 6,6403..4,33405 Па разность давлений: • минус 1,01405......1,01405 Па > для датчиков мод. 925, 925С • 1,33-10’2.1,33-104 Па • 1,33404..4,01405 Па | ±20 ±(5.1) ±1 ’ ’ | ±20 ±(5.1) ’ ’ ’ | ’ ’ ’ ±20 ±25 |
| Порог чувствительности | 100 | ’ | ’ |
| Выходной аналоговый сигнал, В | от 1 до 9 | от 1 до 9,2 | от 1 до 9 |
| Напряжение питания постоянного тока, В | от 10 до 30 |
| Потребляемая мощность, Вт, не более | 1,5 |
Продолжение таблицы 1
| Наименование характеристики | Значение ха | рактеристики |
| 901P | 910 | 925 | 925C |
| Максимальное допускаемое испытательное давление, кПа | 200 |
| Степень защиты от воздействий окружающей среды | IP 54 |
| Масса, кг, не более | 0,209 | 0,165 |
| Габаритные размеры (длинахширинахвысота), не более | 41х41х136 | 41х41х86 |
| Средний срок службы, лет | 10 |
Условия эксплуатации:
от 0 до 40
80
50
от 84 до 106
• диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С
• относительная влажность воздуха, %, не более
при температуре окружающего воздуха до 31 °С
при температуре окружающего воздуха свыше 31 °С
• атмосферное давление, кПа
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится фотохимическим или другим способом на корпус датчика и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.
Комплектность
Датчик давления тепловой - 1 шт.
Блок питания и индикации компании «MKS Instruments» - по дополнительному заказу
Потребительская тара - 1 шт.
Руководство по эксплуатации - 1 экз.
Поверка
осуществляется по методикам поверки МИ 1997-89 «Рекомендация ГСИ. Преобразователи давления измерительные. Методика поверки» и МИ 140-89 «Рекомендация ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки».
Сведения о методах измерений
Сведения о методе измерений приведены в руководстве по эксплуатации «Датчики давления тепловые 901Р, 910, 925, 925С. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
1 ГОСТ 27758-88 «Вакуумметры. Общие технические требования».
2 ГОСТ 8.107-81 «ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-10—8-1-103 Па».
3 ГОСТ 8.187-76 «ГСИ. Государственный специальный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений разности давлений до 4-104 Па».
4 ГОСТ 8.223-76 «ГСИ. Государственный специальный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 2,7-102- 4000-102 Па».
5 Техническая документация изготовителя
Лист № 4
Всего листов 4
Рекомендации к применению
выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством РФ обязательным требованиям.
6447-78
