Назначение
Дифрактометр рентгеновский Vektor GaN (далее - дифрактометр) предназначен для измерений углового положения дифракционных максимумов и последующего анализа углового распределения интенсивности рентгеновских лучей, дифрагированных на кристаллической решетке тонкослойных эпитаксиальных структур на основе нитрида галлия (GaN), с целью определения параметров и состава структуры.
Описание
Принцип действия дифрактометра основан на дифракции рентгеновских лучей от атомных плоскостей кристаллической решетки исследуемой структуры в соответствии с законом Вульфа-Брегга. Дифрактометр предназначен для анализа тонкослойных эпитаксиальных структур на основе нитрида галлия (GaN).
Результатом измерений является зависимость интенсивности рентгеновских лучей, дифрагированных на кристаллической решетке исследуемой структуры, от угла дифракции. На основе полученных данных программное обеспечение дифрактометра позволяет проводить анализ параметров и состава исследуемой структуры.
Конструктивно дифрактометр состоит из основного блока, системы охлаждения (чиллера) и вынесенных монитора и клавиатуры управляющего компьютера. Основной блок состоит из источника рентгеновского излучения, детектора, держателя для образца и управляющего компьютера.
Дифрактометр имеет несколько независимых систем защиты от выхода рентгеновского излучения из корпуса.
Маркировочная табличка с буквенно-цифровым заводским номером выполнена типографским способом и наклеена на заднюю панель дифрактометра.
Пломбирование дифрактометра не предусмотрено. Конструкция дифрактометра обеспечивает ограничение доступа к частям дифрактометра, несущим первичную измерительную информацию, и местам настройки (регулировки).
Нанесение знака поверки на средство измерений не предусмотрено.
Общий вид дифрактометра представлен на рисунке 1. Маркировочная табличка с заводским номером представлена на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид дифрактометра
Рисунок 2 - Маркировочная табличка с заводским номером
К данному типу средств измерений относится дифрактометр рентгеновский Vektor GaN, зав. № LS04134A.
Программное обеспечение
Дифрактометр оснащен программным обеспечением (далее - ПО), позволяющим управлять процессом измерений, производить сбор экспериментальных данных, их обработку и сохранять полученные результаты.
Идентификационные данные метрологически значимой части ПО дифрактометра приведены в таблице 1.
Уровень защиты ПО дифрактометра «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Влияние метрологически значимой части ПО учтено при нормировании метрологических характеристик.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | Accent Optical Technologies DCD/RD Mapper |
| Идентификационное наименование основного модуля интерфейса ПО | Sf_dcd32.exe |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | v4.03.11 |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики дифрактометра
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений угловых положений дифракционных максимумов (29) | от 32° до 37° |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений угловых положений дифракционных максимумов | ±0,2° |
Таблица 3 - Основные технические характеристики дифрактометра
| Наименование характеристики | Значение |
| Габаритные размеры, см, не более: | |
| - высота | 155 |
| - ширина | 137 |
| - длина | 100 |
| Масса, кг, не более | 794 |
| Условия эксплуатации: | |
| - температура окружающего воздуха, °С | от +15 до +25 |
| - относительная влажность, %, не более | 80 |
| Параметры электрического питания: | |
| - напряжение сети переменного тока, В | от 220 до 240 |
| - частота переменного тока, Гц | от 50 до 60 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации дифрактометра типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Дифрактометр рентгеновский | Vektor GaN | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | 4007-UM-10030 | 1 экз. |
| Методика поверки | - | 1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в документе 4007-UM-10030 «Дифрактометр рентгеновский Vektor GaN.
Руководство по эксплуатации», глава 5 «Проведение измерений».
Нормативные документы
Техническая документация изготовителя.
52698-13