Эллипсометр FILMTEK 2000 PAR-SE. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Эллипсометр FILMTEK 2000 PAR-SE

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок 2
Найдено поверителей 1

Назначение

Эллипсометр FilmTek 2000 PAR-SЕ (далее по тексту - эллипсометр) предназначен для измерения оптических характеристик (эллипсометрические углы Пси и Дельта) полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптические, SOI или SOS материалы; многослойные, оптические антиотражающие покрытия; тонкие металлы; материалы планарных волноводов; стекло с покрытием; многослойные тонкопленочные структуры).

Описание

Принцип действия эллипсометра основан на комбинировании двух методов исследования тонких пленок - спектральной эллипсометрии с вращающимся компенсатором и многоракурсной поляризационной рефлектометрии. Оба метода рефлектометрия и эллипсометрия основаны на регистрации изменений параметров света, прошедшего или отраженного от исследуемого объекта. В методе рефлектометрии регистрируются изменения интенсивности отраженного света, а в методе эллипсометрии - изменения поляризационных параметров света, которые называются эллипсометрическими углами Пси и Дельта.

В эллипсометре сбор данных проводится по трем измерительным каналам: -рефлектометрия (спектрофотометрия) при нормальном падении света на объект; -рефлектометрия поляризованного света при отражении под углом 70 градусов; -спектральная эллипсометрия под углом 70 градусов.

В состав средства измерений входят спектральный эллипсометр, источник света Hamamatsu L10290 с размером пятна от 25 до 300 мкм (при нормальном падении) и 2 мм (при падении под углом 70°), приборный столик с тефлоновым покрытием, цифровая камера CCD STC-620CC, роботизированная система загрузки пластин Brooks с автофокусировкой, 6 встроенных калибровочных эллипсометрических пластин (сер.№ 1 - 6), фильтровентиляционный модуль типа HEPA, 8’’ SMIF порт, ПК с многоядерным процессором и операционной системой Windows 7 ™.

Общий вид автоматизированного аппаратного оборудования эллипсометра представлен на рисунке 1.

Й

Программное обеспечение

Управление процессом измерения в эллипсометре осуществляется с помощью специального программного обеспечения Film Tek SE. Программное обеспечение служит для настройки эллипсометра, проведения измерений, включая визуальный анализ экспериментальных данных, анализ и обработку полученных данных.

ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши на персональном компьютере.

Программное обеспечение (ПО) имеет следующие идентификационные данные:

Таблица 1

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

Film Tek SE

Номер версии (идентификационный номер) ПО

87.3.3 и выше

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

-

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

-

Программное обеспечение устанавливается в определенную директорию жесткого диска персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля.

Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-изготовителя с помощью специального оборудования.

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

приведены в таблице 2.

Таблица 2

Наименование характеристики

Значение характеристики

Метрологические характеристики

Диапазон измерения величины эллипсометрических углов, градус: -Пси

от 0 до 90

-Дельта

от 0 до 360

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения величин эллипсометрических углов, градус: -Пси

±0,2

-Дельта

±0,3

Технические характеристики

Спектральный диапазон показаний, нм

от 200 до 1700

Диапазон показаний толщин, мкм

от 0,0001 до 150

Г абаритные размеры, мм, не более

1651x1397x1854

Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В

От 210 до 230

частотой, Гц

50/60

Потребляемая мощность, кВт, не более

2,2

Условия эксплуатации:

Температура окружающей среды, °С

от +15 до +35

Относительная влажность, не более %

80

Знак утверждения типа

наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.

Комплектность

Таблица 3

Наименование

Количество,

шт

Эллипсометр FilmTek 2000 Par-SE зав. N 140917 в составе: -Спектральный эллипсометр (RCE) (70°, 380 нм-900 нм) -Источник света Hamamatsu L10290 -Приборный столик с тефлоновым покрытием -Цифровая камера CCD STC-620CC -Роботизированная система загрузки пластин Brooks -Фильтро-вентиляционный модуль (ФВМ) типа HEPA -8’’ SMIF порт

1

Встраиваемые калибровочные эллипсометрические пластины:

-    сер.№ 1, толщина оксидной пленки 11 А,

-    сер.№ 2, толщина оксидной пленки 140 А,

-    сер. № 3, толщина оксидной пленки 250 А,

-    сер. № 4, толщина оксидной пленки 620 А,

-    сер. № 5, толщина оксидной пленки 1000 А,

-    сер. № 6, толщина оксидной пленки 3000 А.

6

Персональный компьютер

1

Методика поверки

1

Руководство по эксплуатации

1

Поверка

осуществляется по документу МП 059.М44-16 «Государственная система обеспечения единства измерений Эллипсометр FilmTek 2000PAR-SE. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 28 декабря 2016 г.

Основные средства поверки:

Государственный рабочий эталон 2-го разряда единиц эллипсометрических углов в диапазоне от 0 до 360° по углу Дельта и от 0 до 90° по углу Пси согласно ГОСТ 8.605-2011.

Таблица 4 - Основные метрологические характеристики

Тип и серийный номер пластины

Значение эллипсометрических углов на длине волны 632.6 нм, градус

Пси

Дельта

L118SW-100, №1108-4ECS

11.60

149.52

L118SW-2000, №1108-21ECS

29.40

274.96

Расширенная неопределенность измерений угла Пси - 0,05 градус.

Расширенная неопределенность измерений угла Дельта - 0,08 градус.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде наклейки или оттиска поверительного клейма.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы

1    ГОСТ 8.605-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов»

2    Техническая документация фирмы «Scientific Computing International», США

Развернуть полное описание