Назначение
Эллипсометр настольный спектральный SEI-Mapping (далее - эллипсометр) предназначен для измерений толщины и показателя преломления оптических покрытий плоских образцов посредством бесконтактного измерения эллипсометрических углов Пси и Дельта.
Описание
Принцип действия эллипсометра основан на измерении изменений состояния поляризации света, отраженного от границы раздела двух сред. Эллипсометр измеряет эллипсометрические углы Пси и Дельта на различных длинах волн. Программное обеспечение (далее - ПО) эллипсометра на основании измеренных данных об эллипсометрических углах с использованием математической модели определяет толщину и показатель преломления оптических покрытий на поверхности измеряемого объекта.
Конструктивно эллипсометр состоит из блока поляризатора с источником света, гониометра с фиксированным углом падения света на образец, моторизованного стола для образцов диаметром до 300 мм с автоматическим перемещением по осям X, Y, Z и автоматической фокусировкой по Z, и блока анализатора отраженного от образца света. Неотъемлемой частью эллипсометра является вычислительный модуль на базе персонального компьютера со специализированным ПО для проведения измерений, сбора и анализа полученных данных.
Эллипсометр снабжен вертикальной камерой для визуализации области измерения и выравнивания образца при помощи механизма наклона предметного стола. В состав эллипсометра входят две фокусирующие микронасадки для уменьшения размера светового пятна на образце.
К данному типу средства измерений относится эллипсометр настольный спектральный SEI-Mapping с заводским номером 1010130058.
Заводской номер, содержащий цифровое обозначение, и знак утверждения типа нанесён на шильдик методом цифровой лазерной печати на пластиковую пленку и наклеен на заднюю панель эллипсометра.
Пломбирование эллипсометра не предусмотрено. Общий вид эллипсометра с обозначением места нанесения знака поверки, заводского номера и места нанесения знака утверждения типа представлен на рисунке 1.
Место нанесения заводского номера и знака утверждения типа
Место нанесения знака поверки
Рисунок 1 - Общий вид эллипсометра настольного спектрального SEI-Mapping
Программное обеспечение
Для записи сигналов и их обработки используется специальное ПО «EometricsPro», работающее в операционной среде Microsoft Windows. ПО является защищенным. Никакие изменения кода программы невозможны. Обновления ПО производятся изготовителем путем выпуска обновлений на дисках и рассылкой пользователям.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Доступ к метрологически значимой части ПО ограничен.
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | EometricsPro |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже | v.3.1.5.0 |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Технические характеристики
аблица 2 - Метрологические характеристики эллипсометра
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений толщины покрытий, нм | от 2 до 4500 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины покрытий, нм: - в поддиапазоне от 2 до 10 нм включ. - в поддиапазоне св. 10 до 1000 нм | ±1 ±5 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений толщины покрытий в поддиапазоне от 1000 до 4500 нм, % | ±1 |
| Диапазон измерений показателя преломления покрытий на длине волны 632,8 нм | от 1,460 до 2,022 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений показателя преломления покрытий на длине волны 632,8 нм | ±0,004 |
Таблица 3 - Технические характеристики эллипсометра
| Наименование характеристики | Значение |
| Параметры электрической сети: - напряжение переменного тока, В - частота, Гц | от 210 до 230 от 49 до 51 |
| Мощность, Вт | 1550 |
| Габаритные размеры (длинахширинахвысота) (без учета ПК и монитора), мм, не более | 900х570х742 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, % - атмосферное давление, кПа | от +20 до +26 от 35 до 60 от 75 до 101,4 |
Знак утверждения типа
нанесён на корпус эллипсометра методом наклеивания и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.
Комплектность
| Таблица 4 - Комплектность средства измерений |
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Эллипсометр настольный спектральный | SEI-Mapping | 1 шт. |
| Программное обеспечение (ПО) для обработки результатов измерений | EometricsPro | 1 шт. |
| Вертикальная камера для визуализации области измерения в ПО | - | 1 шт. |
Продолжение таблицы 4
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Моторизованный стол для пластин диаметром до 300 мм, с автоматическим перемещением по осям X-Y-Z и автоматической фокусировкой по Z. | - | 1 шт. |
| Фокусирующие микронасадки | - | 2 шт. |
| Безмасляный вакуумный насос Linicon | - | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
Сведения о методах измерений
приведены в главе 4 «Работа программного обеспечения» документа «Эллипсометр настольный спектральный SEI-Mapping. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 09.09.2024 № 2154 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий».
810-53