Назначение
Эллипсометр спектральный модели APECS 3000 предназначен для автоматизированного контроля толщин технологических слоев в процессе производства, а также оптических параметров слоев, зависящих от толщины, таких, как коэффициенты отражения, поглощения, преломления.
Мощные возможности обработки и вычисления измеренных данных позволяют использовать эллипсометр спектральный модели APECS 3000 как в производстве на межоперационном контроле, так и для научно-исследовательских работ.
Эллипсометр спектральный модели APECS 3000 может применяться в полупроводниковом производстве, производстве головок магнитных дисков, интегральной оптики для проведения измерений параметров тонких пленок.
Описание
Эллипсометр спектральный модели APECS 3000 состоит из двух основных блоков: измерительного блока и транспортной системы. Измерительный блок включает в себя все оптические компоненты, такие как спектральный эллипсометр, систему автофокуса, систему видеофокуса и выравнивающую систему. Также он включает в себя рабочий столик, систему предварительной центровки пластин, пульт управления питанием, пульт управления оператора и шасси для всей электроники. Транспортная система состоит из двух лифтов для пластин и фильтр блока вентиляторов. В этой части эллипсометра спектрального модели APECS 3000 находятся места подключения к инженерным средам (питание, сжатый воздух, вакуум) и блок основного выключателя.
Оптическая система эллипсометра спектрального модели APECS 3000 состоит из двух основных частей: блока поляризатора (передающее устройство) и блока анализатора (принимающее устройство).
Блок поляризатора состоит из автоматизированного блока ламп, желтого светофильтра со шторкой, нейтрального светофильтра, диафрагмы, детектора интенсивности, поляризатора, фокусирующей оптики. Основная функция блока поляризатора состоит в генерации светового пучка с длиной волны в диапазоне от 320 нм до 800 нм с определенной поляризацией и интенсивностью. Пучок направлен на образец и сфокусирован в области 50 х 50 мкм. Источник света выполнен в виде автоматизированного блока смены ламп, содержащего 6 ксеноновых ламп с суммарным временем жизни около одного года. Новые лампы автоматически юстируются для правильной фокусировки. Перегоревшие лампы могут быть удалены в любое удобное время.
Блок анализатора предназначен для приема отраженного излучения и обработки его эллипсометрических характеристик. Блок анализатора включает оптические компоненты, фазовую пластинку, вращающийся анализатор, спектрометр, приемник излучения.
Технические характеристики
| Диапазоны измерения величины эллипсометрических углов: - пси, градус - дельта, градус | 0-90 0-360 |
| Диапазон измерения толщин, мкм | 0,0001 - 5 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения: Величин эллипсометрических углов: Пси, градус Дельта, градус Толщины пленки, А | 1,0 1,6 5 |
| Спектральный диапазон, нм | 320 - 800 |
| Условия эксплуатации: температура окружающего воздуха, °C относительная влажность, % | 18- 25 |
| не более | 75 |
| Габаритные размеры, мм | 2380x1257x1900 |
| Масса, кг | 1200 |
| Электропитание, В | 115/230+10% |
| Частота сети, Гц | 50/60 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации.
Комплектность
Эллипсометр спектрометрический модели APECS 3000 1 шт.
Поверка
Поверка эллипсометра спектрометрического модели APECS 3000 проводится в соответствии с методикой поверки (Приложение к Руководству по эксплуатации), утвержденной ГЦИ СИ «ВНИИОФИ» в октябре 2009 г.
Основные средства поверки: пластинки эллипсометрические.
Межповерочный интервал -1 год.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ
Техническая документация фирмы "Leica Microsystems Wetzlar GmbH", Германия.
Заключение
Тип пластинки эллипсометрические модели APECS 3000 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при ввозе по импорту и в эксплуатации.
13153-92