Назначение
Эллипсометры спектральные OptiReader™ (далее - эллипсометры) предназначены для бесконтактных автоматизированных измерений толщины оптических покрытий, образующихся на нагревательных трубках в процессе взаимодействия жидкого топлива для газотурбинных двигателей с нагретой до определенной температуры поверхностью трубок.
Описание
Принцип действия эллипсометров основан на изменении состояния поляризации света, отраженного от границ раздела двух сред. Эллипсометры измеряют эллипсометрические углы Пси и Дельта на различных длинах волн, сканируя поверхность нагревательной трубки по углу и вдоль ее оси. Программное обеспечение (ПО) эллипсометров на основании измеренных данных об эллипсометрических углах с использованием математической модели определяет толщину оптических покрытий на поверхности нагревательной трубки. Результат измерений выводится в виде двумерной карты толщины покрытий с пространственным разрешением: 24 точки по окружности трубки и 50 точек вдоль оси нагревательной трубки.
На лицевой стороне эллипсометров расположен сенсорный экран для управления ПО. В верхней части эллипсометров размещено гнездо с индикацией для установки нагреваетльн6ых трубок.
Общий вид эллипсометров представлен на рисунке 1.
Обозначение места нанесения поверки представлено на рисунке 2.
Пломбирование эллипсометров от несанкционированного доступа не предусмотрено.
мам hi ii,д
iRAC
x C€
Рисунок 1 - Общий вид эллипсометров спектральных OptiReader™
Рисунок 2 - Обозначение места нанесения знака поверки
Программное обеспечение
В эллипсометрах используется встроенное программное обеспечение, которое устанавливается заводом-изготовителем непосредственно в постоянное запоминающее устройство (ПЗУ) прибора.
Программное обеспечение «OptiReader SW» предназначено для управления эллипсометром, контроллером внутренних исполнительных механизмов и измерительных устройств и его настроек, а также для обеспечения функционирования интерфейса, обработки информации и выдачи отчета по измерениям.
ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных осуществляется через сенсорный экран, установленный на лицевой панели прибора. Карта толщин покрытий выводится в виде 2D или 3D изображения. Имеется возможность расчета и индикации объема покрытий.
Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-изготовителя с помощью специального оборудования.
Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключен посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля.
Уровень защиты программного обеспечения «высокий» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | OptiReader SW |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже | 3.9 |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений толщины покрытий, нм | от 4 до 300 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины покрытий, нм в диапазоне от 4 до 30 нм включительно в диапазоне свыше 30 до 300 нм | ±2 ±4 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон показаний толщины покрытий, нм | от 0 до 500 |
| Диапазон показаний объема отложений, мм3 | от 0 до 0,5 |
| Габаритные размеры, мм, не более: | |
| - ширина | 255 |
| - высота | 356 |
| - длина | 420 |
| Масса, кг, не более | 15 |
| Параметры электрического питания: | |
| - напряжение сети, В | от 100 до 240 |
| - частота сети, Гц | 50/60 |
| Потребляемая мощность, Вт, не более | 36 |
| Условия эксплуатации: | |
| - температура окружающей среды, °С | от +10 до +35 |
| - относительная влажность при температуре | |
| +25 °С, %, не более | 80 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом. Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Эллипсометр спектральный OptiReader™ | - | 1 шт. |
| Набор из пяти валидационных трубок | - | 1 шт. |
| Шестигранный винт | - | 1 шт. |
| Блок питания | - | 1 шт. |
| Шнур питания (европейский разъем) | - | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Методика поверки | МП 059.М44-19 | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 059.М44-19 «ГСИ. Эллипсометры спектральные OptiReader™. Методика поверки», утверждённому ФГУП «ВНИИОФИ» 02 декабря 2019 г. Основные средства поверки:
Рабочий эталон единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий в диапазоне значений от 10 до 1000 нм.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус эллипсометра в соответствии с рисунком 2.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Локальная поверочная схема ФГУП «ВНИИОФИ» для средств измерений толщины покрытий в диапазоне от 10 до 1000 нм, утвержденная 08.08.2019г
Техническая документация «Petroleum Analyzer Company, L.P.», США
78495-20: Методика поверки МП 059.М44-19Скачать6.3 Мб
91561-24
