Фурье-спектрометры инфракрасные CryoSAS. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Фурье-спектрометры инфракрасные CryoSAS

Основные
Тип CryoSAS
Год регистрации 2010
Дата протокола 03д3 от 29.07.10 п.342
Класс СИ 37
Номер сертификата 41405
Срок действия сертификата 01.08.2015
Страна-производитель  Германия 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) С

Назначение

Фурье-спектрометры CryoSAS (далее - Фурье-спектрометры) предназначены для измерения оптических спектров пропускания в дальнем и среднем ИК диапазонах, определения концентрации различных веществ в твёрдой исследуемых образцов в следующих областях: качественный и количественный анализ примесей в полупроводниках. Фурье-спектрометры применяются в качестве отдельных автономных приборов в научно-исследовательских, учебных и производственных организациях.

Описание

Фурье-спектрометры CryoSAS представляют собой стационарные автоматизированные приборы.

Основой Фурье-спектрометров является двухлучевой интерферометр, в котором при перемещении одного из зеркал происходит изменение разности хода между интерферирующими лучами. Для уменьшения влияния внешних воздействий интерферометр построен по схеме с зеркалами в виде уголковых светоотражателей. Спектр (в шкале волновых чисел) получается после выполнения специальных математических расчетов (обратное преобразование Фурье) интерферограммы.

Движение зеркала в интерферометре осуществляется линейно с помощью прецизионного механизма. Точное положение зеркала (разность хода в интерферометре) определяется с помощью референтного канала с лазером. Нулевое значение разности хода (основной максимум интерферограммы) определяется расчётным путём.

Для исключения влияния внешних воздействий (наличие паров воды в атмосфере и двуокиси углерода) применяется продувка спектрометра сухим воздухом или азотом.

В интерферометре осуществлена автоматическая настройка с использованием дополнительного подстраивающего зеркала, прибор оборудован стабильной оптической скамьей и двумя отсеками хранения светоделителей. Спектрометр укомплектован Не криостатом замкнутого цикла для охлаждения образцов.

Полностью цифровой прибор оборудован детекторами со встроенными предусилителями сигнала и АЦП, вследствие чего нет влияния на прибор электромагнитных излучений.

Конструктивно Фурье-спектрометры выполнены в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером. По заказам приборы оснащаются широким набором дополнительных устройств и принадлежностей, приставок и держателей образцов, что дает возможность работать в различных режимах отражения и пропускания. Приборы могут комплектоваться портами входа и выхода излучения для использования дополнительных внешних источников излучения и дополнительных внешних детекторов.

Управление процессом измерения осуществляется от внутреннего контроллера и совместимого компьютера (модель не ниже Pentium) с помощью программного комплекса CryoSAS. Программный комплекс CryoSAS - это пакет программ, предназначенных для качественного и количественного спектрального анализа примесей в полупроводниках.

Технические характеристики

Параметры

Значения

Спектральный диапазон измерений, см-1

270-1250

Спектральное разрешение, не более, см'1

0,5

Воспроизводимость волнового числа, не более, см-1

±0,05

Пределы допускаемой абсолютной суммарной погрешности измерений по шкале волновых чисел, не более, см-1

±0,01

Пределы допускаемой абсолютной суммарной погрешности измерений по фотометрической шкале, не более, %Т

±0,1

Напряжение питания, трёхфазное, В

220 ±10%/380 ±10%

Потребляемая мощность, не более, ВА

5000

Габаритные размеры, не более, мм

1760х950х1600

Масса, не более, кг

650

Условия эксплуатации:

-температура окружающего воздуха, °C - изменение температуры, не более, °С/ч

- относительная влажность воздуха, %

+ 18 ...+26 (опционально + 18 ...+30) ±1

<80

Условия транспортировки и хранения: - температура окружающего воздуха, °C - относительная влажность воздуха, %

-15- + 40

<80

Срок службы, не менее, лет

7

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на корпус прибора и на титульный лист руководства по эксплуатации.

Комплектность

Комплект поставки определяется заказом и отражается в спецификации.

Основной комплект включает:

Фурье-спектрометр в составе:

- детектор ИК-излучения

- источник ИК-излучения

- кюветное отделение

- интерферометр

- блок электроники

- блок питания

- вакуумный насос

- криостат

Компьютер

Принтер

Соединительные кабели

Комплект инструментов

Программное обеспечение

Руководство по эксплуатации (на русском языке)

Методика поверки.

Дополнительное оборудование, поставляемое по заказу:

Детекторы

Панель ввода-вывода цифровых и аналоговых сигналов

Оборудование высокого разрешения и быстрого сканирования

Устройство для продувки прибора

Телескопический объектив

Источник ИК излучения

Поверка

Поверка Фурье-спектрометры CryoSAS проводится в соответствии с документом «Фурье-спектрометры Фурье-спектрометры CryoSAS) фирмы “Optik GmbH, Германия», утверждённым в феврале 2010 г. ГЦИ СИ ОАО ФНТЦ «Инверсия».

Основные средства поверки: пары воды в атмосфере и/или моноксид углерода.

Межповерочный интервал - 1 год.

Нормативные документы

1. ГОСТ Р 52931-2008 «Приборы контроля и регулирования технологических процессов. Общие технические условия».

2. ГОСТ Р51350-99 «Безопасность электрических контрольно-измерительных приборов и лабораторного оборудования».

3. Техническая документация фирмы-изготовителя.

Заключение

Тип Фурье-спектрометры CryoSAS утверждён с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при выпуске из производства и в эксплуатации.

Развернуть полное описание