Назначение
Фурье-спектрометры CryoSAS (далее - Фурье-спектрометры) предназначены для измерения оптических спектров пропускания в дальнем и среднем ИК диапазонах, определения концентрации различных веществ в твёрдой исследуемых образцов в следующих областях: качественный и количественный анализ примесей в полупроводниках. Фурье-спектрометры применяются в качестве отдельных автономных приборов в научно-исследовательских, учебных и производственных организациях.
Описание
Фурье-спектрометры CryoSAS представляют собой стационарные автоматизированные приборы.
Основой Фурье-спектрометров является двухлучевой интерферометр, в котором при перемещении одного из зеркал происходит изменение разности хода между интерферирующими лучами. Для уменьшения влияния внешних воздействий интерферометр построен по схеме с зеркалами в виде уголковых светоотражателей. Спектр (в шкале волновых чисел) получается после выполнения специальных математических расчетов (обратное преобразование Фурье) интерферограммы.
Движение зеркала в интерферометре осуществляется линейно с помощью прецизионного механизма. Точное положение зеркала (разность хода в интерферометре) определяется с помощью референтного канала с лазером. Нулевое значение разности хода (основной максимум интерферограммы) определяется расчётным путём.
Для исключения влияния внешних воздействий (наличие паров воды в атмосфере и двуокиси углерода) применяется продувка спектрометра сухим воздухом или азотом.
В интерферометре осуществлена автоматическая настройка с использованием дополнительного подстраивающего зеркала, прибор оборудован стабильной оптической скамьей и двумя отсеками хранения светоделителей. Спектрометр укомплектован Не криостатом замкнутого цикла для охлаждения образцов.
Полностью цифровой прибор оборудован детекторами со встроенными предусилителями сигнала и АЦП, вследствие чего нет влияния на прибор электромагнитных излучений.
Конструктивно Фурье-спектрометры выполнены в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером. По заказам приборы оснащаются широким набором дополнительных устройств и принадлежностей, приставок и держателей образцов, что дает возможность работать в различных режимах отражения и пропускания. Приборы могут комплектоваться портами входа и выхода излучения для использования дополнительных внешних источников излучения и дополнительных внешних детекторов.
Управление процессом измерения осуществляется от внутреннего контроллера и совместимого компьютера (модель не ниже Pentium) с помощью программного комплекса CryoSAS. Программный комплекс CryoSAS - это пакет программ, предназначенных для качественного и количественного спектрального анализа примесей в полупроводниках.
Технические характеристики
| Параметры | Значения |
| Спектральный диапазон измерений, см-1 | 270-1250 |
| Спектральное разрешение, не более, см'1 | 0,5 |
| Воспроизводимость волнового числа, не более, см-1 | ±0,05 |
| Пределы допускаемой абсолютной суммарной погрешности измерений по шкале волновых чисел, не более, см-1 | ±0,01 |
| Пределы допускаемой абсолютной суммарной погрешности измерений по фотометрической шкале, не более, %Т | ±0,1 |
| Напряжение питания, трёхфазное, В | 220 ±10%/380 ±10% |
| Потребляемая мощность, не более, ВА | 5000 |
| Габаритные размеры, не более, мм | 1760х950х1600 |
| Масса, не более, кг | 650 |
| Условия эксплуатации: -температура окружающего воздуха, °C - изменение температуры, не более, °С/ч - относительная влажность воздуха, % | + 18 ...+26 (опционально + 18 ...+30) ±1 <80 |
| Условия транспортировки и хранения: - температура окружающего воздуха, °C - относительная влажность воздуха, % | -15- + 40 <80 |
| Срок службы, не менее, лет | 7 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на корпус прибора и на титульный лист руководства по эксплуатации.
Комплектность
Комплект поставки определяется заказом и отражается в спецификации.
Основной комплект включает:
Фурье-спектрометр в составе:
- детектор ИК-излучения
- источник ИК-излучения
- кюветное отделение
- интерферометр
- блок электроники
- блок питания
- вакуумный насос
- криостат
Компьютер
Принтер
Соединительные кабели
Комплект инструментов
Программное обеспечение
Руководство по эксплуатации (на русском языке)
Методика поверки.
Дополнительное оборудование, поставляемое по заказу:
Детекторы
Панель ввода-вывода цифровых и аналоговых сигналов
Оборудование высокого разрешения и быстрого сканирования
Устройство для продувки прибора
Телескопический объектив
Источник ИК излучения
Поверка
Поверка Фурье-спектрометры CryoSAS проводится в соответствии с документом «Фурье-спектрометры Фурье-спектрометры CryoSAS) фирмы “Optik GmbH, Германия», утверждённым в феврале 2010 г. ГЦИ СИ ОАО ФНТЦ «Инверсия».
Основные средства поверки: пары воды в атмосфере и/или моноксид углерода.
Межповерочный интервал - 1 год.
Нормативные документы
1. ГОСТ Р 52931-2008 «Приборы контроля и регулирования технологических процессов. Общие технические условия».
2. ГОСТ Р51350-99 «Безопасность электрических контрольно-измерительных приборов и лабораторного оборудования».
3. Техническая документация фирмы-изготовителя.
Заключение
Тип Фурье-спектрометры CryoSAS утверждён с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при выпуске из производства и в эксплуатации.
19922-00
