Назначение
Газоанализатор кислорода Delta-F550E NanoTrace модель 550E-0010V предназначены для автоматического непрерывного измерения объемной доли кислорода в технологических газах.
Газоанализатор могут применяться на предприятиях микроэлектронной и полупроводниковой промышленности.
Описание
Газоанализатор кислорода Delta-F550E Nano Trace модель 550E-0010V состоит из датчика кислорода - первичного преобразователя электрохимического типа, аналого-цифрового преобразователя, жидко-кристаллического дисплея, служащего для отображения результатов измерения и команд управления, микропроцессорного блока, осуществляющего управление работой газоанализатора, выходного интерфейса RS-232C или RS-485, блока питания.
Датчик газоанализатора представляет из себя электрохимическую ячейку, заполненную жидким электролитом на основе КОН, и систему основных и вспомогательных электродов. В ячейке создается электрический ток, величина которого определяется количеством молекул кислорода, оседаемых на катоде. Ток между катодом и анодом ячейки прямо пропорционален концентрации кислорода в анализируемом газе.
Пара вспомогательных электродов защищают главные электроды от разрушающего воздействия загрязнений, которые неминуемо попадают в электролит с анализируемым газом. Дополнительные вспомогательные электроды притягивают и захватывают присутствующие в электролите ячейки ионные примеси, обеспечивая стабильность нуля и диапазона измерений прибора.
Блок микропроцессора не только управляет процессом измерения и отображением данных на экране дисплея, но и позволяет производить калибровку и диагностику неисправностей газоанализатора. Газоанализатор питается от сети переменного тока напряжением 220В. Корпус газоанализатора имеет щитовое исполнение. В его состав также входит система из четырех предупредительных реле, служащих для подачи звуковых и световых сигналов в случае появления какой-либо неисправности в работе прибора, а также сигнализирующих о достижении заданного значения содержания кислорода в анализируемом газе. Газоанализатор способен измерять содержание кислорода в любых инертных и неактивных газах (N2, Нг, СО, Аг, фреоны, углеводороды и т.д.). По сравнению с анализатором кислорода Delta-F310E, выпускаемых фирмой “Delta F Corporation”, данная модель обладает меньшим диапазоном измерения, но зато очень низким порогом обнаружения следовых количеств кислорода в технологических газах.
Технические характеристики
| Наименование характеристики | Нормируемое значение |
| 1. Диапазон измерений объемной доли кислорода, млн'1 | 0-10 |
| 2. Пределы допускаемой основной относительной погрешности, % , не более | ± 3 (или ± 0,5 млрд’1, что больше) |
| 3. Время установления показаний, Т90, с, не более | 15 |
| 4. Минимальное (пороговое) обнаруживаемое содержание кислорода, млрд'1 | 0,2 |
| 5. Предел допускаемой вариации показаний, в долях от предела допускаемой основной погрешности | 0,5 |
| 6. Пределы допускаемой дополнительной погрешности при изменении окружающей температуры в пределах рабочих условий, в долях от предела допускаемой основной погрешности | 0,5 |
| 7. Напряжение питания, (однофазная сеть переменного напряжения), В | от 200 до 240 |
| 8. Потребляемая мощность, Вт, не более | 35 |
| 9. Габаритные размеры (ширина, высота, глубина), мм | 309x227x254 |
| 10. Масса, кг | 8,2 |
| 11. Диапазон рабочих температур, °C | от 0 до 45 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации газоанализатора типографским способом.
Комплектность
| №№ п/п | Наименование | Обозначение | Количество |
| 1. | Газоанализатор кислорода ДеЙа-F-550E Nano Trace, модель 550Е-0010V | Зав. № PT-17260-V6 | 1 |
| 2. | Электролит для датчика кислорода (водный раствор гидроксида калия -КОН) | DF-E-07 | 1 компл. |
| 3. | Руководство по эксплуатации | РЭ, модель DF-55O | 1 |
| 4. | Методика поверки | № МП 2009-2 | 1 |
Поверка
Поверка осуществляется в соответствии с документом «Газоанализатор Delta-F550E Nano Trace, модель 550E-0010V. Методика поверки № МП 2009-2», согласованные с ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИФТРИ», в августе 2009 г.
В перечень основного поверочного оборудования входят: ГСО-ПГС состава O2/N2 № 3712-87 (А = 0,006 %), азот газообразный особой чистоты 99,999 %, сорт 1, по ГОСТ 9293-74 в баллонах под давлением, по ТУ 6-16-2956-92, а также генератор газовых смесей ГГС-03-03, per. № 19351-00 (5 = ± 2,5 %).
Межповерочнй интервал - 1 год.
Нормативные документы
ГОСТ 8.578-2008 «Государственная поверочная схема для средств измерений содержания компонентов в газовых средах».
ГОСТ 13320-81 «Газоанализаторы промышленные автоматические. Общие технические условия».
ГОСТ 12.1.005-88 «Общие санитарно-гигиенические требования к воздуху рабочей зоны».
Техническая документация фирмы “Delta F Corporation”, США.
Заключение
Единичный образец газоанализатора кислорода Delta-F550E Nano Trace, модель 55OE-OO1OV утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании единичных образцов, метрологически обеспечен при выпуске из производства и в эксплуатации согласно государственной поверочной схеме ГОСТ 8.578-2008.
25234-03
