Назначение
Газоанализатор микроконцентраций кислорода фотолюминесцентный ГКЛ-01 (далее - газоанализатор) предназначен для измерения содержания кислорода в смеси с азотом, аргоном, гелием, водородом, и в смесях с другими газами, не реагирующими с кислородом, между собой и с материалом люминесцентного сенсорного элемента.
Область применения - технологический контроль содержания кислорода в газах особой чистоты, используемых в промышленности, в т.ч. на предприятиях по выпуску полупроводниковых структур различной степени сложности, в установках для получения газообразного азота и других чистых газов, изготовители ГСО-ПГС.
Описание
Газоанализатор является стационарным автоматическим прибором непрерывного действия.
Принцип действия газоанализатора основан на тушении кислородом фотолюминесценции триплетного состояния молекул органических красителей, адсорбированных в жестких средах, представляющих собой мелкодисперсные порошки крупнопористого силикагеля.
Конструктивно газоанализатор выполнен в металлическом корпусе, на лицевой панели которого расположены цифровой дисплей и органы управления. Газоанализатор содержит следующие устройства: фотоумножитель, геттерный очиститель, блок контроллера, измерительную ячейку с импульсным управлением световыми потоками. В измерительную ячейку установлен фотолюминесцентный чувствительный элемент.
Способ отбора проб - принудительный, за счет избыточного давления в точке отбора пробы или от внешнего побудителя расхода.
Преобразователь имеет выходные сигналы:
- показания встроенного цифрового дисплея;
- унифицированный аналоговый сигнал постоянного тока (4 + 20) мА;
Газоанализатор обеспечивает связь с другими устройствами по интерфейсу RS-485 (по протоколу MODBUS RTU) и интерфейсу RS-232.
На дисплее газоанализатора отображается значение объемной доли кислорода в анализируемой газовой смеси в млн'1.
Г азоанализатор имеет класс защиты от поражения электрическим током 01 по ГОСТ 12.2.007.0-75.
К орпус преобразователя имеет степень защиты от внешних воздействий IP64 по ГОСТ 14254-96.
Вид климатического исполнения - УХЛ 4.2 по ГОСТ 15150.
Технические характеристики
1 Диапазоны измерений объемной доли кислорода и пределы допускаемой основной погрешности газоанализатора приведены в таблице 1.
Таблица 1
| Диапазоны измерений объемной доли кислорода, млн'1 | Пределы допускаемой основной погрешности |
| абсолютной, млн'1 | относительной, % Отн |
| от 0,0 до 10,0 | ±0,1 (в диапазоне 0-2 млн'1) | ± 5 (в диапазоне св. 2 - 10 млн'1) |
| от 0 до 100 | ± 0,6 (в диапазоне 0-20 млн'1) | ± 3 (в диапазоне св. 20- 100 млн'1) |
2 Номинальная статическая функция преобразования имеет вид: Кых — 1н ± к'Свх ■> (1)
где 1вых - выходной ток, мА;
1Н - нижняя граница выходного токового сигнала, 1Н = 4 мА;
к - коэффициент преобразования,
к = 1,6 мА/млн'1 - в диапазоне от 0 до 10 млн'1, к = 0,16 мА/млн'1 - в диапазоне от 0 до 100 млн'1.
3 Пределы допускаемой дополнительной погрешности от изменения температуры окружающей среды и анализируемой газовой смеси в пределах рабочих условий эксплуатации составляют в долях от пределов допускаемой основной погрешности 0,1.
4 Предел допускаемой вариации выходного сигнала в долях от предела допускаемой основной абсолютной погрешности
5 Пределы допускаемого изменения показаний за 8 ч непрерывной работы в долях от пределов допускаемой основной абсолютной погрешности,
6 Разность между результатом измерений содержания кислорода, считанным с дисплея газоанализатора и рассчитанным по выходному токовому сигналу, не более 0,2 в долях от пределов допускаемой основной погрешности.
7 Предел допускаемого времени установления выходного сигнала Тод, мин,
8 Время выхода газоанализатора на рабочий режим, не более 1 ч 30 мин.
9 Питание газоанализатора осуществляется напряжением 220^зз В переменного тока частотой (50±1) Гц.
10 Электрическая мощность, потребляемая газоанализатором, В А, не более,
11 Габаритные размеры газоанализатора, мм, не более
| - высота | 271; |
| - ширина | 483; |
| - длина | 494. |
| 12 Масса газоанализатора, кг, не более: | 20 |
| 13 Средняя наработка на отказ, ч, не менее | 10000 |
| 14 Полный срок службы при техническом обслуживании, лет, не менее | 10 |
| Условия эксплуатации газоанализатора: | |
| - Диапазон температуры окружающего воздуха, °C | от 15 до 35 |
| - Диапазон относительной влажности при температуре 25 °C, % | от 30 до 80 |
| - Диапазон атмосферного давления, кПа | 84,0 4- 106,7 |
| мм рт. ст. | 630 4- 800 |
| - - угол наклона газоанализатора в любом направлении от рабочего вертикального поло- |
| жения, не более, | 5°. |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и методом штемпелевания на табличку на корпусе преобразователя.
Комплектность
Комплектность поставки преобразователей указана в таблице 1.
Таблица 1
| Обозначение | Наименование | Кол-во, шт. | Примечание |
| ШДЕК.413324.001 | Г азоанализатор микроконцентраций кислорода фотолюминесцентный ГКЛ-01 | 1 | |
| ШДЕК.413324.001 РЭ | Руководство по эксплуатации | 1 | |
| МП-242-0781-2008 | Методика поверки | 1 | |
| ШДЕК.413218.002.03 | Кабель информационный | 1 | по заказу |
| ШДЕК.413218.002.05 | Кабель технологический | 1 | |
| Модуль цифрового выхода (интерфейс RS-232) | 1 | |
| Модуль цифрового выхода (интерфейс RS-485) | 1 | по заказу |
| Модуль аналогового выхода (4 ... 20) мА | | по заказу |
| Комплект принадлежностей: - трубка соединительная ШДЕК.302111.002; - силикагель-индикатор, ГОСТ 8984-75, изм. № 1-3; - предохранитель - вставка плавкая ВП1-2 ЗА, ОЮ0.480.003ТУ | 1 500 мл 1 | |
| Компакт-диск с программным обеспечением для газоанализатора | 1 | по заказу |
Поверка
Поверка осуществляется в соответствии с документом "Газоанализатор микроконцентраций кислорода фотолюминесцентный ГКЛ-01. Методика поверки. МП 242-0781-2008", утвержденным ГЦИ СИ "ВНИИМ им. Д.И. Менделеева " в декабре 2008 г.
Основные средства поверки: генератор газовых смесей ГГС-03-03 (Госреестр СИ per. № 19351-00); эталон сравнения Ог/Не с содержанием кислорода 1000 млн’1 (Хд.2.706.136-ЭТ174, 3
границы относительной погрешности ± 0,5 % (Р=0,99)), эталон сравнения - чистый газ гелий (Хд2.706.137ЭТ6, степень чистоты 99,99995 %).
Межповерочный интервал - 1 год.
Нормативные документы
1) ГОСТ 13320-81 Газоанализаторы промышленные автоматические. Общие технические условия.
2) ГОСТ 12997-84 Изделия ГСП. Общие технические условия.
3) ГОСТ 8.578-2008 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений содержания компонентов в газовых средах.
4) Технические условия ШДЕК.413324.001ТУ.
Заключение
Тип газоанализаторов микроконцентраций кислорода фотолюминесцентных ГКЛ-01 утверждён с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен при выпуске из производства и в эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.
Сертификат соответствия № РОСС RU.ME48.B02556 от 28.01.2009 г., выдан ОС приборостроительной продукции ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева».
39695-08
