Интерферометр DIMETIOR VB. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Интерферометр DIMETIOR VB

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок 2
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Найдено поверителей 1

Назначение

Интерферометр DIMETIOR VB (далее интерферометр) предназначен для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.

Описание

Измерения отклонений от плоскостности оптических поверхностей основано на анализе получаемой интерференционной картины, возникающей в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.

Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока, блока крепления эталонной пластины и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограмм. Интерферометр оснащен модулем синхронного фазового сдвига.

В интерферометре используется He-Ne лазер с длиной волны 633 нм в качестве когерентного источника и поляризационный свет. На выходе интерферометра под небольшими углами к оптической оси формируются два параллельных пучка с ортогональной поляризацией. Далее один пучок отражается от поверхности эталонной пластины, смонтированной снаружи оптико-механического блока, другой отражается от контролируемой поверхности. После отражения оба пучка возвращаются в интерферометр и интерферируют, создавая интерференционную картину.

С помощью модуля синхронного фазового сдвига в интерферометре формируются одновременно три сдвинутые по фазе интерферограммы, регистрируемые в одно и тоже время тремя независимыми камерами.

С помощью программы Intelli Wave три сдвинутые по фазе интерферограммы обрабатываются и преобразуются в 3D карту поверхности, в результате чего представляется информация об отклонениях от плоскостности контролируемой оптической поверхности.

Пломбирование интерферометра DIMETIOR VB от несанкционированного доступа не предусмотрено.

Программное обеспечение

Интерферометр DIMETIOR VB имеет в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.

Программное обеспечение «IntelliWave» является специализированным ПО системы и предназначено для её управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «IntelliWave» не может быть использовано отдельно от системы.

Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО интерферометра и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.

Главной защитой ПО является USB-ключ-заглушка. HASP (программа, направленная на борьбу с нарушением авторских прав на компьютерное пиратство) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.

Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

IntelliWave

Номер версии (идентификационный номер) ПО

6.7.1 и выше

Цифровой идентификатор ПО

-

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм

от 0,03 до 2,00

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм*

±0,03

Максимальный диаметр измеряемых оптических поверхностей, мм

100

Длина волны He-Ne лазера, нм

633

Класс лазера по ГОСТ 31581-2012

ЗА

Масса, не более, кг

27

Габаритные размеры, не более, мм

-    длина

-    ширина

-    высота

519

330

325

Примечание: * - при температуре воздуха от плюс 18 °С до плюс 22 °С.

Температура окружающей среды, °C

от +15 до +30

Относительная влажность воздуха, %, не более

90

Напряжение переменного тока, В

110/240

Частота, Гц

50/60

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом Комплектность средства измерений

Таблица 4 - Комплектность средства измерений

Наименование

Обозначение

Количество

Интерферометр лазерный

DIMETIOR VB

1 шт.

Компьютер с ПО

-

1 шт.

Руководство по эксплуатации

DIMETIOR VB РЭ

1 экз.

Формуляр

DIMETIOR VB ФО

1 экз.

Методика поверки

МП № 203-22-2019

1 экз.

Поверка

осуществляется в соответствии с документом по поверке МП № 203-22-2019 «Интерферометр DIMETIOR VB. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» 26 марта 2019г.

Основное средство поверки: мера отклонений от плоскостности 0 120 мм, рег. № 48279-11.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационных документах.

Нормативные документы

ГОСТ 8.661-2018 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонения от плоскостности оптических поверхностей размером до 200 мм Техническая документация фирмы-производителя

Развернуть полное описание