Назначение
Интерферометр DIMETIOR VB (далее интерферометр) предназначен для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.
Описание
Измерения отклонений от плоскостности оптических поверхностей основано на анализе получаемой интерференционной картины, возникающей в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока, блока крепления эталонной пластины и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограмм. Интерферометр оснащен модулем синхронного фазового сдвига.
В интерферометре используется He-Ne лазер с длиной волны 633 нм в качестве когерентного источника и поляризационный свет. На выходе интерферометра под небольшими углами к оптической оси формируются два параллельных пучка с ортогональной поляризацией. Далее один пучок отражается от поверхности эталонной пластины, смонтированной снаружи оптико-механического блока, другой отражается от контролируемой поверхности. После отражения оба пучка возвращаются в интерферометр и интерферируют, создавая интерференционную картину.
С помощью модуля синхронного фазового сдвига в интерферометре формируются одновременно три сдвинутые по фазе интерферограммы, регистрируемые в одно и тоже время тремя независимыми камерами.
С помощью программы Intelli Wave три сдвинутые по фазе интерферограммы обрабатываются и преобразуются в 3D карту поверхности, в результате чего представляется информация об отклонениях от плоскостности контролируемой оптической поверхности.
Пломбирование интерферометра DIMETIOR VB от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Программное обеспечение
Интерферометр DIMETIOR VB имеет в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
Программное обеспечение «IntelliWave» является специализированным ПО системы и предназначено для её управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «IntelliWave» не может быть использовано отдельно от системы.
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО интерферометра и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Главной защитой ПО является USB-ключ-заглушка. HASP (программа, направленная на борьбу с нарушением авторских прав на компьютерное пиратство) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | IntelliWave |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 6.7.1 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм | от 0,03 до 2,00 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм* | ±0,03 |
| Максимальный диаметр измеряемых оптических поверхностей, мм | 100 |
| Длина волны He-Ne лазера, нм | 633 |
| Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 | ЗА |
| Масса, не более, кг | 27 |
| Габаритные размеры, не более, мм - длина - ширина - высота | 519 330 325 |
Примечание: * - при температуре воздуха от плюс 18 °С до плюс 22 °С.
| Температура окружающей среды, °C | от +15 до +30 |
| Относительная влажность воздуха, %, не более | 90 |
| Напряжение переменного тока, В | 110/240 |
| Частота, Гц | 50/60 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Интерферометр лазерный | DIMETIOR VB | 1 шт. |
| Компьютер с ПО | - | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | DIMETIOR VB РЭ | 1 экз. |
| Формуляр | DIMETIOR VB ФО | 1 экз. |
| Методика поверки | МП № 203-22-2019 | 1 экз. |
Поверка
осуществляется в соответствии с документом по поверке МП № 203-22-2019 «Интерферометр DIMETIOR VB. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» 26 марта 2019г.
Основное средство поверки: мера отклонений от плоскостности 0 120 мм, рег. № 48279-11.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационных документах.
Нормативные документы
ГОСТ 8.661-2018 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонения от плоскостности оптических поверхностей размером до 200 мм Техническая документация фирмы-производителя
75511-19: Методика поверки МП №203-22-2019Скачать2.7 Мб
47464-11
