Назначение
Интерферометр фотоэлектрический «Физо» (далее прибор) предназначен для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей в научно-исследовательских институтах, оптическом приборостроении.
Описание
Принцип действия прибора основан на явлении интерференции. Пучок электромагнитного излучения с помощью контролируемой пластины пространственно разделяется на два когерентных пучка, которые интерферируют между собой. Первый пучок образуется после отражения от эталонной поверхности, второй - после прохождения через контролируемую пластину.
В результате интерференции в плоскости матричного приемника создается интерференционная картина в виде полос.
Контроль формы поверхностей основан на анализе интерференционной картины, Для автоматизации измерений на интерферометре фотоэлектрическом «Физо» используется специальный электронный блок управления, в котором реализован метод фазовых шагов для автоматической расшифровки интерферограмм. Анализ интерференционных картин и определение на его основе параметров формы контролируемой поверхности или отраженного от нее волнового фронта выполняется по специальной программе с помощью ПК.
Рис. 1 - Внешний вид интерферометра фотоэлектрического «Физо»
Программное обеспечение
Прибор оснащен программным обеспечением WinPhast версии v1.
Весь исходный код и вычислительный алгоритм WinPhast расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы. WinPhast задает пользовательские уровни. Пользователи административного уровня блокируют редактирование для пользователей низших уровней и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице
| Наименование программного обеспечения | Идентификационное наименование программного обеспечения | Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения | Цифровой идентификатор программного обеспечения (защитный ключ-заглушка) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
| WinPhast | WinPhast.exe | V1. | 6C8EF280 | CRC32 |
Программное обеспечение и его окружение являются неизменными. Средства для программирования отсутствуют. Операционная система, имеющая оболочку, доступную пользователю, отсутствует.
Уровень защиты программного обеспечения прибора оценивается как «С» согласно МИ 3286-2010.
Технические характеристики
| Диапазон измеряемых диаметров, мм | от 100 до 300 |
| Длина волны излучения лазера X, мкм | 0,658 |
| СКО случайной составляющей погрешности измерений отклонений от плоскостности, не более | X/120 |
| Относительное СКО случайной составляющей погрешности измерений отклонений от плоскостности, не более, % | 0,1 |
| Диапазон рабочих температур, °С | 20 ±3 |
| Относительная влажность воздуха, %, не более | 65 |
Знак утверждения типа
наносится методом наклейки на корпус прибора.
Комплектность
| Наименование | Кол-во | Примечание |
| Интерферометр фотоэлектрический «Физо» | 1 шт. | |
| Программное обеспечение для обработки интерферограмм | 1 шт | |
| Руководство по эксплуатации | 1 экз. | |
| Методика поверки | 1 экз | |
Поверка
осуществляется в соответствии с документом по поверке МП 48285-11 «Интерферометр фотоэлектрический «Физо». Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011 г. и включенным в комплект поставки.
Основное поверочное оборудование: эталонная мера плоскостности в составе ГЭТ 1832010.
Сведения о методах измерений
Методы измерений изложены в документе ИФМФШ.2011.001 П «Интерферометр фотоэлектрический «Физо». Паспорт».
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-производителя.
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений.
810-53