Назначение
Интерферометры лазерные ФТИ (далее интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.
Описание
Измерение отклонений от плоскостности оптических поверхностей основано на анализе деформации формы интерференционных полос возникающих в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока, блока байонетного крепления эталонной пластины и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограм. Опционально интерферометр может оснащаться блоком фазового сдвига с пъезоприводом.
В качестве источника света в интерферометре используется He-Ne лазер с длиной волны 632 нм. Оптико-механический блок преобразует лазерное излучение и формирует плоский волновой фронт. Далее волновой фронт с помощью эталонной пластины, закрепленной в байонетном креплении, делится на два. Один волновой фронт - опорный - отражается от поверхности эталонной пластины непосредственно назад в интерферометр. Другой - рабочий волновой фронт - проходит эталон и искажается контролируемой деталью. Он также возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным. Анализ получаемой интерференционной картины дает информацию об отклонениях от плоскостности измеряемой оптической поверхности.
Интерферометры изготовлены одной модификации: ФТИ-100 (таблица 2).
Внешний вид интерферометров приведен на рисунке 1.
Пломбирование интерферометров лазерных ФТИ от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Рисунок 1 - Внешний вид интерферометров лазерных ФТИ-100
Программное обеспечение
Интерферометры оснащены программным обеспечением (ПО) DiOpto. Програмное обеспечение позволяет вычислять отклонения формы контролируемой поверхности от эталонной плоскости спектральным методом (SM) и методом фазового сдвига (PS).
Вычислительные алгоритмы ПО расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометров
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | DiOpto |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | v.3.13 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО | - |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Для защиты ПО от несанкционированного доступа используют USB-ключ.
Защита программного обеспечения интерферометров соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики интерферометров
| Модификация | ФТИ-100 |
| Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм | от 0,03 до 2,00 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм | ±0,025 |
| Повторяемость измерений, не более, мкм | 0,008 |
| Модификация | ФТИ-100 |
| Максимальный диаметр измеряемых оптических поверхностей, мм | 100 |
| Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 | 3А |
| Длина волны лазера, не более, нм | |
| - He-Ne лазер | 633 |
| Мощность, не более, мВт | 4 |
| Допустимое значение частоты возмущающих гармонических | |
| вибраций, не более, Гц | 30 |
| Параметры электропитания | |
| Напряжение переменного тока, В | от 200 до 240 |
| Частота, Гц | от 49 до 51 |
| Масса, не более, кг | 18 |
| Габаритные размеры, не более, мм | |
| - длина | 270 |
| - ширина | 205 |
| - высота | 500 |
| Условия эксплуатации | |
| - температура окружающей среды, °С | От +18 до +22 |
| - относительная влажность, % | От 50 до 90 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Интерферометр лазерный | ФТИ-100 | 5 шт. |
| Компьютер с ПО | | 1 шт. |
| Паспорт | | 5 шт. |
| Методика поверки | МП № 203-7-2019 | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП № 203-7-2019 «ГСИ. Интерферометры лазерные ФТИ. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 26 марта 2019 г.
Основное средство поверки:
- мера отклонений от плоскостности 0 120 мм, рег. № 48279-11.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационных документах.
Нормативные документы, устанавливающие требования к интерферометрам лазерным ФТИ
ГОСТ 8.661-2018 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонения от плоскостности оптических поверхностей размером до 200 мм
79780-20: Методика поверки МП № 203-7-2019Скачать3.3 Мб
39695-08
