Интерферометры оптические ЛОМИ-2. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Интерферометры оптические ЛОМИ-2

Основные
Тип ЛОМИ-2
Год регистрации 2012
Дата протокола Приказ 1197 п. 36 от 27.12.2012
Номер сертификата 49371
Срок действия сертификата 27.12.2017
Страна-производитель  Россия 
Тип сертификата (C - серия/E - партия) C

Назначение

Интерферометры оптические ЛОМИ - 2 (далее интерферометры) предназначены для измерения размеров и перемещений в нанометровом диапазоне при проведении исследовательских работ, контрольных операций, испытаниях, поверке и калибровке средств воспроизведения перемещений нанометрового диапазона.

Описание

Интерферометр оптический ЛОМИ - 2 (рис. 1) выполнен по схеме интерферометра Майкельсона. В процессе измерения высотных размеров и перемещений происходит регистрация серий интерференционных картин с помощью цифровой камеры со скоростью 25 кадров в секунду. Результат измерений вычисляется при смене каждого кадра по множеству точек интерференционной картины с помощью специализированного программного обеспечения Interferometer и отображается на экране персонального компьютера (ПК). При измерении амплитуды импульсов перемещения на экране ПК отображается временная диаграмма импульсов перемещения в реальном масштабе времени с указанием амплитудного значения.

Рис. 1. Интерферометр оптический ЛОМИ - 2

Программное обеспечение

Интерферометр оптический ЛОМИ - 2 оснащен программным обеспечением Interferometer версии V 1.0.1.25, предназначенным для обработки результатов измерений. Вычислительный алгоритм Interferometer расположен в заранее скомпилированных бинарных файлах и не может быть модифицирован. ПО Interferometer блокирует редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.

Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице

Наименование программного обеспечения

Идентификацион ное наименование программного обеспечения

Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения

Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатор а программного обеспечения

Interferometer

Interferometer. exe

V 1.0.1.25

9AC0CD5C346A AEC9D08A9B90 7B5DA0C9

MD5

Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.

Защита программного обеспечения интерферометра оптического ЛОМИ - 2 соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Технические характеристики

Измерение размеров и перемещений в диапазоне, нм

от 1 до 100

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения перемещений, нм

± 0,3

Максимальное измеряемое перемещение, м

1,0

Габаритные размеры, мм

длина

171

ширина

125

высота

55

Длина волны источника излучения, нм

852

Мощность, мВт

5

Класс опасности по ГОСТ Р МЭК 60825-1-2009

3

Условия применения:

Температура окружающей среды, °С

20 ± 3

Относительная влажность, не более %

80

Масса, кг

0,7

Знак утверждения типа

Утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским методом и методом наклейки на корпус интерферометра.

Комплектность

Поставляется в комплекте с принадлежностями в упаковке для хранения и переноски:

1. Интерферометр оптический ЛОМИ - 2 - 1шт;

2. Электронный блок питания полупроводникового лазера - 2 шт;

3. Блок питания фотоприемного устройствам - 1 шт;

4. Кабели соединительные - 1 комплект;

5. Диск с программным обеспечением Interferometer - 1шт;

6. Руководство по эксплуатации;

7. Методика поверки.

Поверка

осуществляется в соответствии с документом МП 52292-12 «Интерферометры оптические ЛОМИ - 2. Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в марте 2012 г. и включенной в комплект поставки.

Основное поверочное оборудование: мера динамического вертикального перемещения ДКВ-01 (Госреестр № 48278-11).

Сведения о методах измерений

Сведения о методах измерений содержатся в разделе 4 РЭ «Интерферометры оптические ЛОМИ - 2. Руководство по эксплуатации».

Нормативные документы

1. ТУ ГК. 004-2011 «Оптические интерферометры ЛОМИ - 2. Технические условия».

2. МИ 2060-90 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 1-10’6...50 м и длин волн в диапазоне 0,2.. .50 мкм».

Рекомендации к применению

Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений.

Развернуть полное описание