Назначение
Интерферометры оптические ЛОМИ - 2 (далее интерферометры) предназначены для измерения размеров и перемещений в нанометровом диапазоне при проведении исследовательских работ, контрольных операций, испытаниях, поверке и калибровке средств воспроизведения перемещений нанометрового диапазона.
Описание
Интерферометр оптический ЛОМИ - 2 (рис. 1) выполнен по схеме интерферометра Майкельсона. В процессе измерения высотных размеров и перемещений происходит регистрация серий интерференционных картин с помощью цифровой камеры со скоростью 25 кадров в секунду. Результат измерений вычисляется при смене каждого кадра по множеству точек интерференционной картины с помощью специализированного программного обеспечения Interferometer и отображается на экране персонального компьютера (ПК). При измерении амплитуды импульсов перемещения на экране ПК отображается временная диаграмма импульсов перемещения в реальном масштабе времени с указанием амплитудного значения.
Рис. 1. Интерферометр оптический ЛОМИ - 2
Программное обеспечение
Интерферометр оптический ЛОМИ - 2 оснащен программным обеспечением Interferometer версии V 1.0.1.25, предназначенным для обработки результатов измерений. Вычислительный алгоритм Interferometer расположен в заранее скомпилированных бинарных файлах и не может быть модифицирован. ПО Interferometer блокирует редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице
| Наименование программного обеспечения | Идентификацион ное наименование программного обеспечения | Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения | Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатор а программного обеспечения |
| Interferometer | Interferometer. exe | V 1.0.1.25 | 9AC0CD5C346A AEC9D08A9B90 7B5DA0C9 | MD5 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защита программного обеспечения интерферометра оптического ЛОМИ - 2 соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Технические характеристики
| Измерение размеров и перемещений в диапазоне, нм | от 1 до 100 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения перемещений, нм | ± 0,3 |
| Максимальное измеряемое перемещение, м | 1,0 |
| Габаритные размеры, мм | |
| длина | 171 |
| ширина | 125 |
| высота | 55 |
| Длина волны источника излучения, нм | 852 |
| Мощность, мВт | 5 |
| Класс опасности по ГОСТ Р МЭК 60825-1-2009 | 3 |
| Условия применения: | |
| Температура окружающей среды, °С | 20 ± 3 |
| Относительная влажность, не более % | 80 |
| Масса, кг | 0,7 |
Знак утверждения типа
Утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским методом и методом наклейки на корпус интерферометра.
Комплектность
Поставляется в комплекте с принадлежностями в упаковке для хранения и переноски:
1. Интерферометр оптический ЛОМИ - 2 - 1шт;
2. Электронный блок питания полупроводникового лазера - 2 шт;
3. Блок питания фотоприемного устройствам - 1 шт;
4. Кабели соединительные - 1 комплект;
5. Диск с программным обеспечением Interferometer - 1шт;
6. Руководство по эксплуатации;
7. Методика поверки.
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 52292-12 «Интерферометры оптические ЛОМИ - 2. Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в марте 2012 г. и включенной в комплект поставки.
Основное поверочное оборудование: мера динамического вертикального перемещения ДКВ-01 (Госреестр № 48278-11).
Сведения о методах измерений
Сведения о методах измерений содержатся в разделе 4 РЭ «Интерферометры оптические ЛОМИ - 2. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
1. ТУ ГК. 004-2011 «Оптические интерферометры ЛОМИ - 2. Технические условия».
2. МИ 2060-90 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 1-10’6...50 м и длин волн в диапазоне 0,2.. .50 мкм».
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений.
25234-03
