Назначение
Интерферометры OptoTL-60/120 (далее - интерферометры) предназначены для измерения отклонения от плоскостности оптических поверхностей, имеющих шероховатость обработки поверхности не ниже Rz 0,1 мкм по ГОСТ 2789-73.
Описание
Интерферометры OptoTl-60/120 построены по схеме двухлучевого интерферометра Физо. Источником света является гелий-неоновый лазер с длиной волны 633 нм, либо твердотельный лазер с длиной волны 532 нм. Лазерное излучение фокусируется микрообъективом на входной срез оптоволокна, служащего точечной диафрагмой для улучшения однородности пучка, формируя на выходном срезе оптоволокна расходящийся световой пучок, который попадает на светоделитель, и после отражения от него преобразуется коллимирующим объективом в параллельный пучок диаметром 60 мм. После коллимирующего объектива установлена насадка, последняя поверхность которой является плоскостью сравнения. Для контроля плоских поверхностей диаметром до 60 мм, используется насадка, которая представляет собой клиновидную стеклянную пластину с углом клиновидности 1°. Для контроля поверхностей диаметром до 120 мм используется насадка, которая представляет собой двукратную телескопическую систему Галилея с клиновидной пластиной. Образцовая и контролируемая поверхности устанавливаются так, чтобы обеспечить автоколлимационный ход лучей в интерферометре. В обратном ходе лучи, отраженные от образцовой и контролируемой поверхностей, возвращаются обратно через коллимирующий объектив, часть светового потока проходит через светоделитель и фокусируется на матовом стекле, за которым расположена ПЗС-камера с объективом. Вторая часть светового потока отражается от грани светоделителя и пройдя через систему передачи изображения и фотообъектив формирует интерференционную картину полос равной толщины, которую можно наблюдать на настроечном мониторе интерферометра и мониторе компьютера. Фотообъектив имеет переменное увеличение, что позволяет изменять масштаб наблюдаемого изображения.
Внешний вид интерферометров OptoTl-60/120 представлен на рисунке 1.
Пломбирование интерферометров OptoTl-60/120 не предусмотрено.
Рисунок 1 - Общий вид интерферометров OptoTl-60/120
Программное обеспечение
Программное обеспечение «FastInterf» установлено на компьютере. Программное обеспечение управляет процессом измерений, собирает и анализирует данные и выполняет вычисления параметров. В программной оболочке функции, дающие возможность изменения программного обеспечения пользователем, отсутствуют.
Защита программы от преднамеренного воздействия обеспечивается тем, что пользователь не имеет возможности изменять команды, обеспечивающие управление работой комплекса и процессом измерений.
Защита программы от непреднамеренных воздействий обеспечивается функциями резервного копирования.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1:
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационное наименование ПО | FMC.3 |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 1.42.2 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО | 8F90DC541BBBA45EA0EF3842F D7C25F8 |
| Другие идентификационные данные (если имеются) | - |
Уровень защиты программного обеспечения оценивается, как «высокий»
по Р 50.2.077-2014
Технические характеристики
Таблица 1 - Метрологические характеристики интерферометров
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений отклонения от плоскостности EFE, мкм | От 0,006 до 1,266 или От 0,005 до 1,064 (в зависимости от типа используемого лазера) |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения отклонения от плоскостности, мкм | ±6,3х10-2 или ±5,3х10-2 (в зависимости от типа используемого лазера) |
Таблица 2 - Технические характеристики и условия эксплуатации
| Наименование характеристики | Значение |
| Мощность источника излучения, мВт, не более | 1 |
| Класс безопасности лазерного излучения по ГОСТ Р 50723-94 | 2 |
| Условия эксплуатации: Диапазон рабочих температур, °С | от +20 до +24 |
| Габаритные размеры, мм | |
| длина | 500 |
| ширина | 450 |
| высота | 850 |
| Масса, кг, не более: | 40 |
Знак утверждения типа
наносится на корпус интерферометров методом наклейки или гравировки и на титульном листе Руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 4 - Комплект поставки комплекта интерферометров
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Интерферометры OptoTl-60/120 | - | 1 экз. |
| Комплект программного обеспечения | - | 1 экз. |
| Сертификат калибровки | | 1 экз. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Методика поверки | - | 1 экз. |
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 59378-14 «Интерферометры OptoTL-60/120 ЗАО «Опто-Технологическая Лаборатория», г. Санкт-Петербург. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 25 августа 2014 г.
Основное средством поверки: ГПСЭ единицы длины отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 200 мм ГЭТ 183-2010, ФГУП ВНИИМС.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки в виде оттиска клейма поверителя и/или в виде голографической наклейки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационных документах.
Нормативные документы
Технические условия ЕТВС.58901205.01ТУ «Интерферометр OptoTL-60/120»
ГОСТ Р 8.744-2011. Государственная система обеспечения единства измерений. Оптика и фотоника. Интерференционные измерения оптических элементов и систем. Часть 3 Калибровка и аттестация интерферометров, методика измерений оптических волновых фронтов
47464-11
