Назначение
Интерферометры Zygo VeriFire (далее интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей.
Описание
Измерения отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей основано на анализе получаемой интерференционной картины, возникающей в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока, блока крепления эталонной пластины и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограмм.
В качестве источника света в интерферометре используется He-Ne лазер с длиной волны 632,8 нм. Оптико-механический блок преобразует лазерное излучение и формирует плоский или сферический волновой фронт, в зависимости от установленной насадки (табл. 3). Далее волновой фронт с помощью объектива, закрепленного в байонетном креплении, делится на два. Один волновой фронт - опорный - отражается от последней поверхности объектива непосредственно назад в интерферометр. Другой - рабочий волновой фронт - проходит через объектив и искажается поверхностью контролируемой детали. Он также возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным. Анализ получаемой интерференционной картины дает информацию об отклонениях от плоскостности или сферичности измеряемой оптической поверхности.
Интерферометры выпущены трех модификаций. Модификации AT и QPZ имеют вертикальную схему и отличаются количеством подвижных оправ на колонне (в модификации АТ две оправы, в QPZ - одна). Модификация XPZ выполнена в горизонтальной схеме.
Нанесение знака поверки на интерферометры не предусмотрено. Заводские номера нанесены на заднюю часть корпуса интерферометров в виде этикетки (таблички) и имеют цифровое обозначение.
Пломбирование интерферометров Zygo VeriFire от несанкционированного доступа не предусмотрено.
К интерферометрам данного типа относятся интерферометры Zygo VeriFire модификации XPZ зав. №12-11-653105, модификации QPZ зав. №12-43-653175 и модификации AT зав. №№ 07-10-651881, 07-11-651883.
Рисунок 1- Внешний вид этикетки (таблички)
(а) (б)
(в)
Рисунок 2 - Внешний вид интерферометров Zygo VeriFire Модификации: а) AT, б) QPZ, в) XPZ.
Программное обеспечение
Интерферометры Zygo VeriFire имеют в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
Программное обеспечение является специализированным ПО интерферометра и предназначено для его управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО не может быть использовано отдельно от системы.
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО интерферометров и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Главной защитой ПО является USB-ключ-заглушка. HASP (программа, направленная на борьбу с нарушением авторских прав на компьютерное пиратство) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| VeriFire XPZ, VeriFire QPZ | VeriFire AT |
| Идентификационное наименование ПО | Zygo MetroPro X | Zygo MetroPro |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 5.9.2.0 | 8.1.5 |
| Цифровой идентификатор ПО | - | - |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики интерферометров
| Модификация | VeriFire XPZ | VeriFire QPZ | VeriFire AT |
| Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм | от 0,03 до 2,00 | от 0,03 до 2,00 | от 0,03 до 2,00 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм | ±0,025 | ±0,05 | ±0,05 |
| Диапазон измерений отклонений от сферичности, мкм | - | от 0,03 до 2,00 | от 0,03 до 2,00 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от сферичности, мкм | - | ±0,06 | ±0,06 |
Таблица 3 - Технические характеристики насадок с эталонными сферами
| Наименование характеристики | Модификация насадки |
| f/0.75 TS 4” | f/1.5 TS 4” | f/3.3 TS 4” | f/7.1 TS 4” |
| Диапазон диаметров измеряемых выпуклых сферических поверхностей, мм | от 4 до 60 | от 6 до 76 | от 9 до 84 | от 14 до 93 |
| Диапазон радиусов кривизны измеряемых выпуклых сферических поверхностей, мм | от 3 до 45 | от 10 до 115 | от 30 до 280 | от 101 до 672 |
| Диапазон диаметров измеряемых вогнутых сферических поверхностей, мм | от 4 до 180 | от 6 до 180 | от 9 до 180 | от 14 до 73 |
| Диапазон радиусов кривизны измеряемых вогнутых сферических поверхностей, мм | от 3 до 135 | от 10 до 270 | от 30 до 594 | от 101 до 530 |
Таблица 4 - Технические характеристики интерферометров
| Модификация | VeriFire XPZ | VeriFire QPZ | VeriFire AT |
| Максимальный диаметр измеряемых плоских оптических поверхностей, мм | 150 | 150 | 150 |
| Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 Длина волны лазера, нм, не более Тип лазера Мощность, мВт, не более | класс 3А 632,8 гелий-неоновый лазер 1 |
| Параметры электропитания: | |
| Напряжение переменного тока, В | от 100 до 240 |
| Частота, Гц | от 50 до 60 |
| Масса, кг, не более | 45 |
| Габаритные размеры, мм, не более | |
| - длина | 920 |
| - ширина | 310 |
| - высота | 340 |
| Условия эксплуатации | |
| - температура окружающей среды, °С | От +18 до +22 |
| - относительная влажность, % | От 5 до 80 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом
Комплектность
Таблица 5 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Интерферометр Zygo VeriFire | VeriFire | 1 шт. |
| Компьютер с ПО | - | 1 шт. |
| Насадка с плоскостью | - | 1 шт. |
| Насадка со сферой* | - | 4 шт. |
| Руководство по эксплуатации | Интерферометры Zygo VeriFire | 1 экз. |
| * - для модификаций QPZ и AT |
Сведения о методах измерений
приведены в разделе «Методика поверки», документа «Интерферометры Zygo VeriFire. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 15 декабря 2022 г. № 3189 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей».
10565-86
