назначение и область применения
Измеритель емкости и тока квазистатический модели 595 предназначен для измерения емкости, определения вольт-амперной характеристики полупроводниковых приборов (диодов, транзисторов, МОП-структур) и измерения малых и сверхмалых токов.
Применяется в электронной промышленности при производстве и исследовании полупроводниковых приборов.
Описание
Емкость полупроводникового прибора измеряется квазистатическим методом при импульсной или ступенчатой форме напряжения, поступающего на объект измерения от встроенного в прибор источника напряжения. Далее сигнал поступает на высокочувствительный преобразователь «заряд-напряжение» и выводится на дисплей.
Для измерения малых токов на объект измерения подается постоянное напряжение от того же источника, и выходной ток поступает на высокоомный преобразователь «ток-напряжение» с последующей индикацией на дисплее.
Измеритель выполнен в виде настольного прибора, отсчет содержит 4,5 цифровых символа, для подавления шумовых помех предусмотрено включение цифровых фильтров.
Технические характеристики
| Наименование технической характеристики | Значение характеристики |
| Диапазон измерений емкости Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения емкости в поддиапазоне: 200 пФ 2 нФ 20 нФ | 200 пФ - 20 нФ ±(0,01Сх+10 е.с.) ±(0,008Сх+2 е.с.) ±(0,006Сх+2 е.с.), где С - измеренное значение емкости; е.с. - единица счета |
| Диапазон измерений тока Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения тока в поддиапазоне: 20 пА 200 пА 2 нА | 20 нА-200 мкА ±(0,015 4+14 е.с.) ±(0,015 4+2 е.с.) ±(0,0025 /х+6 е.с.) |
| 20 нА 200 нА 2 мкА 20 мкА 200 мкА | ±(0,0025 1х+1 е.с.) ±(0,001 4+4 е.с.) ±(0,0011х+1 е.с.) ±(0,0011х+4 е.с.) ±(0,0011х+1 е.с.), где 1х - измеренное значение тока |
| Температурный коэффициент: при измерении емкости при измерении тока в поддиапазоне 20 пА 200 пА 2 нА 20 нА 200 нА 2 мкА 20 мкА 200 мкА | ±(0,0002 Сх+0,1 е.с.)/К ±(0,00151х+3 е.с.)/К ±(0,00154+0,3 е.с.)/К ±(0,000154+3 е.с.)/К ±(0,000154+0,Зе.с.)/К ±(0,00014+3 е.с.)/К ±(0,00014+0,3 е.с.)/К ±(0,00014+3 е.с.)/К ±(0,00014+0,3 е.с.)/К |
| Диапазон встроенного источника напряжения, В Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжения, В | минус 20,00 - +20,00 ±(0,01 B+0,002U) где U - установленное напряжение, В |
| Рабочие условия применения: диапазон температуры окружающего воздуха, °C относительная влажность воздуха при 35 °C, % атмосферное давление, кПа | 0-40 70 84-106 |
| Параметры питающей сети | 105-125 В; 210-250 В 50-60 Гц |
| Потребляемая мощность, не более, ВА | 15 |
| Срок службы, лет | 8 |
| Габариты прибора (высотахширинахглубина), мм | 127x216x359 |
| Масса прибора, кг | 3,2 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на боковую поверхность прибора и на титульный лист эксплуатационных документов печатным или фотоспособом.
Комплектность
| Измеритель Кабели измерительные Кабель силовой Руководство по эксплуатации (на русском) Методика поверки МП2202-003 3-2008 | 1 шт. 2 шт. 1 шт. 1 шт. 1 экз. |
Поверка
Поверка проводится в соответствии с документом МП 2202-0033-2008 «Измеритель емкости и тока квазистатический модели 595. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» в октябре 2008 г.
Основные средства поверки:
Магазин сопротивления Р4001, диапазон 10 кОм - 10 МОм, кл. точности 0,1; магазин сопротивления Р40115, диапазон 1-10 ГОм, погрешность 0,05 %; набор калибровочных мер емкости модели 5909, диапазон значений 47-1800 пФ, погрешность калибровки 0,05 %.
Межповерочный интервал - 2 года.
Нормативные документы
ГОСТ 8.022-91. ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1 • 10'16 - 30 А.
ГОСТ 8.371-80. ГСИ. Государственный первичный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений электрической емкости.
Техническая документация компании «Keithley Instruments, Inc.», США.
Заключение
Тип «Измеритель емкости и тока квазистатический модели 595, заводской № 891321» утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при эксплуатации согласно государственным поверочными схемам.
