Назначение
Измеритель перемещений лазерный ЛИП-01М (далее по тексту - измеритель) предназначен для измерения линейных перемещений, реализуемых пьезокерамическими многослойными актюаторами.
Область применения: испытательные и научно-производственные лаборатории.
Описание
Принцип действия измерителя основан на сравнении измеряемого изменения длины оптического пути с высокостабильной мерой - длиной волны излучения стабилизированного гелий-неонового лазера. Сравнение осуществляется при помощи двулучевого лазерного гетеродинного интерферометра. В интерферометре производится преобразование, модуляция оптического излучения, формирование опорного и измерительного каналов и последующее совмещение излучения, проходящего через каналы, на смесительном элементе. Преобразование частоты излучения стабилизированного одночастотного гелийнеонового лазера осуществляется с использованием акустооптических модуляторов (АОМ). Последующее выделение информационного сигнала осуществляется на разностной радиочастоте в фотоприемном устройстве (ФПУ). Обработка полученной информации производится в специализированной электронно-фазометрической системе (ЭФС). ЭФС подключена к электронно-вычислительному устройству (ЭВУ) на базе персонального компьютера. Встроенное программное обеспечение позволяет осуществлять сбор данных, их обработку и представление в виде, удобном для пользования.
Конструктивно измеритель состоит из оптико-механического блока, установленного в виброгасящей механической системе на пружинных подвесах, ЭФС и ЭВУ со специализированным программным обеспечением.
Технические характеристики
| Наименование параметра | Значение параметра |
| 1. Диапазон измерений линейных перемещений, м | 10’9...10‘3 |
| 2. Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений перемещений, нм | 0,1 + 5xlO'4L** |
| 3. Диапазон измерений скорости, мм/с | 0...3* |
| 4. Пределы допускаемой относительной погрешности измерений скорости, % | ±1,0* |
| 5. Диапазон измерений ускорения, мм/с2 | 0,01...0,001* |
| 6. Пределы допускаемой относительной погрешности измерений ускорения, % | ±1,0* |
| 7. Дискретность отсчета, нм | 0,1 |
| 8. Быстродействие измерительного тракта, мкс | 10 |
| 9. Габаритные размеры (ДхШхВ), мм, не более оптико-механического блока электронно-фазометрической системы | 320x180x70 450x270x180 |
| 10. Масса, кг, не более оптико-механического блока электронно-фазометрической системы | 7,5 3,0 |
| 11. Рабочий диапазон температур, °C | 20±1 |
| 12. Изменение температуры окружающей среды в процессе работы, °C, не более | ±0,1 |
| 13. Относительная влажность, % | 65±15 |
| 14. Атмосферное давление, мм рт.ст. | 760±30 |
| 15. Напряжение питания, В | 220±11 |
| 16. Потребляемая мощность, Вт, не более | 500 |
- диапазоны и погрешности измерения скорости и ускорения - вычисляемые величины.
** - L - величина линейного перемещения
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта и корпус измерителя.
Комплектность
В комплект измерителя входят:
| Наименование | Количество |
| 1. Стабилизированный гелий-неоновый лазер ЛГН - 304 | 1 шт. |
| 2. Оптико-механический блок АСНД 1.180.02СБ | 1 шт. |
| 3. Фотоприемное устройство АСНД 3.996.02СБ | 1 шт. |
| 4. Акустооптические модуляторы МЛ-201 | 2 шт. |
| 5. Электронно-фазометрическая система АСНД 2.721.02СБ | 1 шт. |
| 6. Блок высокочастотных генераторов АСНД 3.261.02СБ | 1 шт. |
| 7. Комплект кабелей | 1 шт. |
| 8. Электронно-вычислительное устройство (с встроенным программным обеспечением) | 1 шт. |
| 9. Виброгасящая механическая система на пружинных подвесах | 1 шт. |
| 10. Руководство по эксплуатации АСНД 003.002.РЭ.09, включающее методику поверки АСНД 003.002.МП.09 | 1 экз. |
Поверка
Поверка измерителя осуществляется в соответствии с методикой поверки АСНД 003.002.МП.09 «Измеритель перемещений лазерный ЛИП-01М. Методика поверки», утвержденной ГЦИ СИ ФГУ «РОСТЕСТ-МОСКВА» в декабре 2009 г. и входящей в состав Руководства по эксплуатации.
Основные средства поверки:
- Калибратор фазы Ф1 -4,(№ Госреестра 7922-80)
- Осциллограф С1-83 (№ Госреестра 6979-86).
Межповерочный интервал - 3 года.
Нормативные документы
МИ 2060-90 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от Г1 О’6 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50,0 мкм».
Техническая документация фирмы-производителя.
Заключение
Тип измерителя перемещений лазерного ЛИП-01М № 01 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации согласно государственной поверочной схеме МИ 2060-90.
