Назначение
Измеритель поверхностного сопротивления бесконтактный LEI 1510А SA предназначен для измерения поверхностного сопротивления полупроводниковых материалов вихретоковым методом. При известной толщине материала позволяет измерять его удельное сопротивление
Описание
Прибор состоит из нескольких блоков: основной блок, блок питания, коммутационный блок, системный блок контроля и обработки данных. На верхней части основного блока расположены неподвижная измерительная часть и загрузчик, позволяющий перемещать образец в измерительную часть и производить измерения в необходимых точках.
Система контроля и обработки данных выводит максимальное и минимальное измеренное значение поверхностного (слоевого) сопротивления, рассчитывает среднее значение по пластине, среднее квадратическое отклонение в Ом на квадрат поверхности и разброс значений по пластине в процентах.
Принцип измерения: в основе неразрушающего, бесконтактного измерения сопротивления методом вихревого тока лежит регистрация изменений электромагнитного поля вихревых токов, наводимых возбуждающей обмоткой вихретокового преобразователя (ВТП), в электропроводящем образце. ВТП состоит из возбуждающей обмотки, подключенной к выходу генератора переменного тока, и измерительной обмотки, подключенной к блоку измерения. Магнитное поле ВТП возбуждает в образце концентрический вихревой ток, плотность которого максимальна на поверхности образца в контуре, диаметр которого близок к диаметру возбуждающей обмотки. Интенсивность и распределение вихревого тока в образце (результирующее поле) зависит от геометрических размеров и электромагнитных свойств
образца, а также от расстояния (зазора) между преобразователем и образцом. Электромагнитное результирующее поле вихревых токов воздействует на катушки преобразователя, и в измерительной обмотке возникает ЭДС, которая является сигналом, передающим информацию
Технические характеристики
| Наименование технической характеристики | Значение характеристики |
| Диапазон измерений поверхностного сопротивления, Ом, на квадрат поверхности поддиапазон Low поддиапазон High | 0,2000 - 3000 0,2000-14,99 15,00-3000 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности, % | ±4 |
| Рабочие условия применения: диапазон температуры окружающего воздуха, °C относительная влажность воздуха, %, не более атмосферное давление, кПа (мм рт. ст.) | 18-28 45-80 96-104(720-780) |
| Параметры питающей сети | 220 В; 50 или 60 Гц |
| Средний срок службы, лет | 8 |
| Габариты прибора (высотахширинахглубина), мм: | 470 х 360 х 240 |
| Масса основного блока, кг | 37,7 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносят на панель основного блока наклейкой и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Измеритель 1 шт.
Набор кабелей питания 1 шт.
Набор соединительных кабелей 1 шт.
Руководство по эксплуатации (на русском) 1 экз.
Техническая документация на CD 1 экз.
Методика поверки МП 2202-0039-2010 1 экз.
Стандартные образцы поверхностного сопротивления 5 шт.
Поверка осуществляется по документу МП 2202-0039-2010 «Измеритель поверхностного сопротивления бесконтактный LEI 1510А SA. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» в мае 2010 года.
Основные средства поверки:
стандартные образцы СО поверхностного сопротивления, входящие в комплект прибора: (3264±30); (605,9±6,0); (15,75±0,20); (1,947±0,020); (0,1796±0,0020).
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в Руководстве по эксплуатации «Измеритель поверхностного сопротивления бесконтактный LEI 1510А SA».
Нормативные документы
1 ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия;
2 ГОСТ 8.028-86. ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений электрического сопротивления.
3 Техническая документация фирмы «Lehighton Electronics, Inc.», США
Рекомендации к применению
