Измерители параметров полупроводниковых приборов 4155C, 4156C. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Измерители параметров полупроводниковых приборов 4155C, 4156C

Основные
Тип 4155C, 4156C
Год регистрации 2009
Дата протокола 05 от 28.05.09 п.9614д от 25.12.08 п.222
Класс СИ 35.06
Номер сертификата 34367 аннул
Примечание Сертификат заменен на 34367/1 в связи с изменением страны изготовителя
Срок действия сертификата 01.01.2014
Страна-производитель  Малайзия 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) С

Назначение

Измерители параметров полупроводниковых приборов 4155С, 4156С (далее по тексту -измерители) предназначены для измерения и автоматизации контроля электрических параметров полупроводниковых приборов, анализа их функциональных зависимостей, отображения на дисплее вольтамперных характеристик (ВАХ) исследуемого объекта в виде графиков и таблиц, расчета на их основе стандартных параметров исследуемого объекта, формирования и заполнения отчета о полученных результатах.

Область применения измерителей - проведение работ в процессах наладки, ремонта и лабораторных исследованиях на предприятиях электронной и радиотехнической промышленности, в научно-исследовательских институтах и научно-производственных организациях.

Описание

Принцип работы измерителей основан на измерении значений тока (напряжения) на электродах тестируемого полупроводникового прибора при формировании на них последовательности значений напряжения или тока. Формируемая величина рассматривается в качестве аргумента, а измеряемая величина - в качестве функции измеренной ВАХ в координатах напряжение-ток или ток-напряжение. ВАХ служит основой для определения или расчета интересующих параметров тестируемого полупроводникового прибора. Графическое отображение ВАХ формируется путем линейной аппроксимации ее значений в промежутках между измеренными точками.

При наличии у тестируемого полупроводникового прибора управляющего (база, затвор) и/или вспомогательного (подложка) электродов, прибор обеспечивает измерение семейства ВАХ по значениям одного или двух параметров, каждый из которых может быть задан в виде последовательности значений токов или напряжений формируемых на электродах тестируемого полупроводникового прибора.

Отличие измерителей параметров полупроводниковых приборов 4155С, 4156С заключается в различных функциональных возможностях и технических характеристиках.

Технические характеристики

Таблица 1 Конфигурация измерителей

Описание встраиваемых модулей

Количество модулей

Диапазон измерения/ воспроизведения

4155С

4156С

Модуль источника/измерителя средней мощности (MPSMU)

4

2 мкВ .. 100 В

10 фА .. 100 мА

Модуль источника/измерителя с высоким разрешением (HRSMU)

4

2 мкВ .. 100 В

1 фА .. 1 А

Модуль источника напряжения (VSU)

2

2

1 мВ .. 20 В

Модуль измерителя напряжения (VMU)

2

2

2 мкВ .. 20 В

Таблица 2 Основные метрологические характеристики модулей в режиме измерения напряжения постоянного тока

Модуль

Предел измерений

Разрешение

Предел допускаемой абсолютной погрешности измерения

MPSMU

±2В

2 мкВ

± (0,02 х 10 2х иизм± 0,7 мВ)

±20 В

20 мкВ

± (0,02 х 10 2х UH3M + 2 мВ)

±40 В

40 мкВ

± (0,02 х 10 2х ии3м.+ 3 мВ)

± 100 В

100 мкВ

± (0,02 х 10'2х ии3м +5 мВ)

HRSMU

±2В

2 мкВ

±(0,01 х 10’2х иизм.± 0,2 мВ)

±20 В

20 мкВ

± (0,01 х 10 2х иизм + 1 мВ)

±40 В

40 мкВ

± (0,015 х 10‘2х иизм ± 2 мВ)

± 100 В

100 мкВ

± (0,02 х 10’2х иизм ± 5 мВ)

VMU

±2В

2 мкВ

± (0,02 х 10 2х UH3M + 0,2 мВ)

±20 В

20 мкВ

±(0,02 х 10‘2х иизм ± 1 мВ)

Примечание: UH3M. - измеренное значение напряжения постоянного тока.

Таблица 3 Основные метрологические характеристики модулей в режиме источника напряжения постоянного тока__________

Модуль

Предел воспроизведения

Разрешение

Предел допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения

MPSMU

±2В

100 мкВ

± (0,03 х 10 2х ивОспр.+ 0,9 мВ)

±20 В

1 мВ

±(0,03 X 10’2х ив0Спр +4 мВ)

±40 В

2 мВ

± (0,03 х 10'2х ивОспр.+7 мВ)

± 100 В

5 мВ

± (0,04 х 10‘2х ив0Спр.+ 15 мВ)

HRSMU

±2В

100 мкВ

± (0,02 х 10‘2х ив0СПр + 0,4 мВ)

±20 В

1 мВ

± (0,02 х 10‘2х ив0Спр+ 3 мВ)

±40 В

2 мВ

± (0,025 х 10’2х иВоСпр.+ 6 мВ)

± 100 В

5 мВ

±(0,03 х 10"2х ивОспр.± 15 мВ)

VSU

±20 В

20 мкВ

± (0,02 х 10’2х UB0Cnp + 1 мВ)

Примечание: UB0Cnp. - воспроизведенное значение напряжения постоянного тока.

Таблица 4 Основные метрологические характеристики модулей в режиме измерения силы постоянного тока

Модуль

Предел измерений

Разрешение

Предел допускаемой абсолютной погрешности измерения

1

2

3

4

MPSMU

± 1 нА

0,01 нА

± (0,5 х 10’2х 1изм ± 3 пА)

± 10 нА

0,01 пА

± (0,5 х 10’2х1изм± 5 пА)

± 100 нА

0,1 пА

± (0,1 х 10 2х 1изм± 30 нА)

Продолжение таблицы 4

1

2

3

4

MPSMU

± 1 мкА

0,001 нА

± (0,1 х 10 2х 1изм.+ 0,2 нА)

±10 мкА

0,01 нА

± (0,1 х 10'2х 1изм.± 3 нА)

± 100 мкА

0,1 нА

± (0,1 х 10 2х 1изм ± 20 нА)

± 1 мА

0,001 мкА

± (0,1 х 10’2х1изм± 0,3 мкА)

±10 мА

0,01 мкА

± (0,1 х 10'2х 1изм + 2 мкА)

± 100 мА

0,1 мкА

± (0,1 х 10'2х 1изм ± 30 мкА)

HRSMU

± 10 пА

0,001 пА

± (4 х 10 2х 1изм ± 0,02 пА)

± 100 пА

0,001 пА

± (4 х 10‘2х1изм ± 0,04 нА)

± 1 нА

0,01 пА

± (0,5 х 10'2х 1изм ± 0,4 пА)

± 10 нА

0,01 пА

±(0,5 х 10’2х1изм ± 2 пА)

± 100 нА

0,1 пА

± (0,1 х 10‘2х 1ИЗм.+ 20 пА)

± 1 мкА

0,001 нА

± (0,1 х 10’2х 1ИЗМ + 0,2 нА)

± 10 мкА

0,01 нА

± (0,05 х 10’2х 1изм± 2 нА)

±100 мкА

0,1 нА

± (0,05 х 10’2х 1изм ± 20 нА)

± 1 мА

0,001 мкА

± (0,04 х 10‘2х1изм ± 0,2 мкА)

± 10 мА

0,01 мкА

± (0,04 х 10'2х 1изм ± 2 мкА)

± 100 мА

0,1 мкА

± (0,1 х 10'2х 1изм± 20 мкА)

Примечание: 1ИЗМ. - измеренное значение силы постоянного тока.

Таблица 5 Основные метрологические характеристики модулей в режиме воспроизведения силы постоянного тока

Модуль

Предел воспроизведения

Разрешение

Предел допускаемой абсолютной погрешности измерения

MPSMU

± 1 нА

0,1 пА

± (0,5 х 10 х iBocnp.-*" 3 нА)

± 10 нА

1 пА

± (0,5 х 10’2х1воспр ± 7 пА)

± 100 нА

10 пА

± (0,12 х 10’2х 1воспр ± 50 пА)

± 1 мкА

0,1 нА

± (0,12 х 10'2х 1ВОспр.+ 0,4 нА)

± 10 мкА

1 нА

± (0,12 х 10’2х 1ВОСпр + 5 нА)

±100 мкА

10 нА

± (0,12 х 10 2х 1ВОспр.+ 40 нА)

± 1 мА

0,1 мкА

± (0,12 х 10‘2х1воспр ± 0,5 мкА)

± 10 мА

1 мкА

± (0,12 х 10‘2х 1ВОспр + 4 мкА)

± 100 мА

10 мкА

± (0,12 х 10'2х 1ВОспр.+ 50 мкА)

HRSMU

±10 пА

0,001 пА

± (4 х 10 2х 1ВОспр.+ 0,4 пА)

± 100 нА

0,001 пА

± (4 х 10 2х1воспр ± 0,4 пА)

± 1 нА

0,01 пА

± (0,5 х 10'2х 1ВОспр + 0,7 пА)

± 10 нА

0,01 пА

± (0,5 х 10'2х1воспр ± 4 пА)

± 100 нА

0,1 нА

± (0,12 х 10'2х 1ВОСпр + 40 пА)

± 1 мкА

0,001 нА

± (0,12 х 10 2х 1ВОспр.+ 0,4 нА)

±10 мкА

0,01 нА

± (0,07 х 10'2х 1воспр ±4нА)

±100 мкА

0,1 нА

± (0,07 х 10"2х 1ВОСпр.+ 40 нА)

± 1 мА

0,001 мкА

± (0,06 х 10’2х1воспр ± 0,4 мкА)

± 10 мА

0,01 мкА

± (0,06 х 10'2х 1ВОспр.+ 4 мкА)

± 100 мА

0,1 мкА

± (0,12 х 10'2х 1ВОспр + 40 мкА)

Примечание: 1ВОСпр. - воспроизведенное значение силы постоянного тока.

Таблица 6 Общие характеристики измерителей

Параметр

Значение

Температура эксплуатации, °C

10 .. 40

Относительная влажность, %

20 .. 80

Температура хранения, °C

-22 .. 60

Относительная влажность, %

5 .. 90

Высота над уровнем моря, м

2000

Напряжение сети питания, В

90 .. 264

Частота сети питания, Гц

47 .. 63

Потребляемая мощность не более, ВА

450

Габаритные размеры не более, мм

235x426x600

Масса не более, кг:

21

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносят на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и на корпус измерителей методом трафаретной печати.

Комплектность

Таблица 7 Комплектность измерителей

Наименование

Количество

1 Измеритель

1 шт.

2 Комплект запасных частей и принадлежностей

1 шт.

3 Руководство по эксплуатации

1 шт.

4 Методика поверки

1 шт.

Поверка

Поверку измерителей следует проводить в соответствии с документом МП-051/447-2008 «ГСП. Измерители параметров полупроводниковых приборов 4155С, 4156С. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУ «Ростест-Москва» в ноябре 2008 г.

Основное оборудование, используемое при поверке:

- мультиметр цифровой Agilent 3458А.

Межповерочный интервал - 1 год.

Нормативные документы

ГОСТ 22261-94 «Средства измерения электрических и магнитных величин. Общие технические условия».

Техническая документация фирмы «Agilent Technologies», США.

Заключение

Тип измерителей параметров полупроводниковых приборов 4155С, 4156С утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при выпуске из производства и в эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.

Развернуть полное описание