Назначение
Калибратор вакуумметрического давления КВД (далее - калибратор) предназначен для поверки и калибровки вакуумметров.
Область применения: метрологические службы, аккредитованные на право поверки (калибровки) вакуумметров.
Описание
Принцип действия калибратора при работе в диапазоне от 0,266 до 20,0 Па (от 2 до 150) мкм рт.ст.) основан на методе расширяющихся объемов, при котором после вакуумирования рабочей полости калибратора в одном из коллекторов (сосудов) малого объема задают определенное давление газа, а затем осуществляют напуск газа из этого коллектора в другой коллектор большего объема и после выравнивания давления в обоих коллекторах измеряют абсолютное давление одним из высокоточных датчиков абсолютного давления из состава калибратора и поверяемым вакуумметром.
Принцип действия калибратора при работе в диапазоне от 20,0 до 133,3 Па (от 150 до 1000) мкм рт.ст. основан на прямом напуске газа в коллектор большего объема и измерении абсолютного давления одним из высокоточных датчиков абсолютного давления из состава калибратора и поверяемым вакуумметром.
Калибратор состоит из каркаса, к которому крепятся 3 коллектора, имеющих разные объемы, ресивера, двух вакуумных насосов 2НВР-5ДМ, двух диффузионных парамас-ляных агрегатов АВ ДМ-100 и пульта управления.
В состав калибратора входит датчик абсолютного давления мембранно-емкостной Баратрон модификации 690А (Росреестр № 31851-06) (далее-датчик Баратрон) и мембранно-емкостной вакуумметр Barocel (Госреестр № 36126-07) (далее-вакуумметр Barocel).
Коллектор К1 соединяется с системой дозированного напуска газа в коллектор К2 через вентиль тонкой регулировки. Давление в коллекторах К1 и К2 после первоначального создания вакуума на уровне (1-3) мкм рт.ст. контролируется с помощью вакуумметра термопарного ВТ-6 совместно с термопарным манометрическим преобразователей ПМТ-2. Разность давлений, создаваемых в коллекторах К1 и К2 после напуска газа в коллектор К1, контролируется с помощью цифрового микроманометра МЦ-2.
Коллектор К2 служит для подсоединения преобразователя поверяемого вакуумметра к газовой системе стенда. Давление в коллекторе К2 и в целом в системе после напуска газа из коллектора К1 измеряется с помощью датчика Баратрон или вакуумметра Barocel.
Коллектор КЗ служит для вспомогательной откачки, предназначенной для поддержания необходимого давления в системе.
Ресивер служит для поддержания заданного давления в коллекторе КЗ.
Вакуумные насосы 2НВР-5ДМ и диффузионные парамасляные агрегаты АВДМ-100 служат для создания высокого вакуума в системе.
Пульт управления обеспечивает управление диффузионными парамасляными агрегатами.
Рабочий объем калибратора определяется объемами внутренних полостей коллекторов KI, К2, КЗ, соединительных трубопроводов, вентилей, датчика Баратрон, вакуумметра Barocel, вспомогательных вакуумметров и поверяемого вакуумметра.
Калибратор рассчитан на установку одного поверяемого (калибруемого) вакуумметра.
Технические характеристики
| Диапазон абсолютного давления, воспроизводимого | 0,266- 133,3 |
| калибратором, Па (мкм рт.ст) | (2-1000) |
| Пределы допускаемой приведенной погрешности в диапазоне (0,266-20) Па ((2-150) мкм рт.ст), % | ±1 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности в диапазоне (20-133,3) Па (( 150-1000) мкм рт.ст), % | ±1 |
| Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц | 220±22 |
| Потребляемая мощность, кВ-А, не более | 5 |
| Рабочие условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C | 18-22 |
| - относительная влажность воздуха при 22 °C, %, не более | 80 |
| - атмосферное давление, кПа (мм рт.ст.) | 94,4-103,7 (710-780) |
| Габаритные размеры (длинахширинахвысота), мм, не более | 1790x820x1600 |
| Масса, кг, не более | 300 |
| Средний срок службы, лет, не менее | 10 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации и формуляра типографским способом и на пульт управления способом шелкографии.
Комплектность
| Наименование | Обозначение | Количество | Примечание |
| 1 | 2 | 3 | 4 |
| Калибратор в составе: | | 1 | |
| -каркас | Ар8985.01 | 1 | |
| -коллектор К1 | Ар8985.05 | 1 | |
| -коллектор К2 | Ар8985.07 | 1 | |
| -коллектор КЗ | Ар8985.02 | 1 | |
| -ресивер | Ар8985.09 | 1 | |
| -агрегат диффузионный парамасляный | АВДМ-100 | 2 | |
| -насос вакуумный | 2НВР-5ДМ | 2 | |
| -пульт управления | Ар8535.170 | 1 | |
| -датчик Баратрон | - | 1 | |
| -вакуумметр Barocel | - | 1 | |
| -микроманометр МЦ-2 | - | 1 | |
| -вакуумметр ВТ-6 с преобразователем ПМТ-2 | - | 1 | |
| Руководство по эксплуатации с разделом 4 «Поверка» | Ар8985.00 РЭ | 1 | |
| Формуляр | Ар8985.00 ФО | 1 | |
Поверка
Поверка производится согласно раздела 4 руководства по эксплуатации Ар8985.00 РЭ, согласованного с ФГУП «УНИИМ» в марте 2008 г.
Основное средство поверки:
- датчик абсолютного давления мембранно-емкостной Баратрон модификации 690А. Диапазон измерения абсолютного давления (0,14-133,3) Па, пределы допускаемой основной относительной погрешности ±(2...0,25) %.
Межповерочный интервал 1 год.
Нормативные документы
ГОСТ 8.107-81 ГСП. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-10'8-Г103 Па
ГОСТ 12997-84 Изделия ГСП. Общие технические условия
Заключение
Тип калибратора вакууметрического давления КВД с зав. №№ 01, 02, 03 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.
