Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем ЕТ-868О. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем ЕТ-868О

Основные
Тип ЕТ-868О
Год регистрации 2012
Дата протокола Приказ 1178 п. 20 от 26.12.2012
Номер сертификата 49299
Срок действия сертификата ..
Страна-производитель  Беларусь 
Тип сертификата (C - серия/E - партия) E

Назначение

Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем «ЕТ-8680» (далее - комплекс) предназначен для воспроизведения и измерений напряжения и силы постоянного тока, частоты следования прямоугольных импульсов и применяется для высокопроизводительного функционального и параметрического контроля микросхем с числом выводов до 512 с рабочей частотой воспроизводимых сигналов функционального контроля до 100 МГц.

Описание

Принцип действия комплекса основан на формировании сигналов с логическими уровнями ТТЛ, ЭСЛ и КМОП, устанавливаемых пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ и анализа сигналов, прошедших через испытываемые интегральные микросхемы (ИМС) или устройства, с последующей обработкой сигнала.

Режимы работы комплекса устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.

Конструктивно комплекс представляет собой набор отдельных приборов. Все приборы комплекса объединены с помощью интерфейса в единый измерительный комплекс под управлением ПЭВМ.

Комплекс объединяет в своем составе:

- каналы воспроизведения постоянного тока/напряжения №1 - № 4 (система формирования сигналов с логическими уровнями ТТЛ, ЭСЛ и КМОП) (тестер ЕТС 868, размещенный на технологической тележке);

- канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5 (калибратор -мультиметр цифровой 2410, регистрационный номер 25789-08);

- канал измерений напряжения / силы постоянного / переменного тока и электрического сопротивления и частоты № 1 (мультиметр 34401А, регистрационный номер 16500-97);

- каналы аналогового и цифрового анализа входного сигнала № 2 - №19 (2 аналоговых и 16 цифровых каналов) (осциллограф цифровой MSO3052A, регистрационный номер 4169209).

Органы управления и подстыковочные разъемы расположены на передних и задних панелях элементов комплекса соответственно.

Внешний вид составных частей комплекса, места нанесения знака утверждения типа и мест пломбировки от несанкционированного доступа приведены на рисунках 1 - 8.

место для размещения знака утверждения типа

Рисунок 1 - Общий вид передвижной тележки с оборудованием тестера ЕТС 868

места пломби

ровки от несанкционированного доступа

Рисунок 2 - Вид сзади передвижной стойки с оборудованием тестера ЕТС 868

Рисунок 3 - Канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5. Вид спереди

места пломбировки от несанкционированного доступа

Рисунок 4 - Канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5. Вид сзади

Рисунок 5 - Канал измерений №1. Вид спереди

места пломбировки от несанкционированного доступа

Рисунок 6 - Канал измерений №1. Вид сзади

A«toii lKbnd«gi*s IrrfinliVlWan   М8О-Х 2024А

Рисунок 7 - Каналы измерений №2 - №19. Вид спереди

места пломбировки от несанкционированного

Рисунок 8 - Каналы измерений №2 - №19. Вид сзади

доступа

Программное обеспечение

Программное обеспечение (ПО) «Symphony» является специализированным ПО управления комплексом цифровых интегральных микросхем «ET-868»

ПО «Symphony» предназначено для управления комплексом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений, проводимых комплексом. ПО «Sym-phony» не может быть использовано отдельно от этого комплекса.

Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.

Таблица 1

Наименование ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии (идентификационный номер) ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления идентификатора ПО

ПО управления комплексом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений

«Symphony»

8.50

0CBA37892B30AFD 1FD2894077E07796D 15229587BFE5D1A5 329504F484C08E1E

ГОСТ Р34.11-94

Метрологически значимая часть ПО комплекса и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 32862010.

Технические характеристики

Основные метрологические и технические характеристики комплекса приведены в таблицах 2 - 6.

Комплекс обеспечивает задание и контроль на каждом выводе сигнала функционального контроля с параметрами в соответствии с таблицей 2.

Таблица 2

Наименование характеристики

Значение характеристики

Диапазоны напряжений, В:

в диапазоне частот от 1 МГц до 50 МГц

низкий уровень (V1l)

высокий уровень (V1h)

в диапазоне частот от 50 МГц до 100 МГц

низкий уровень (V1l)

высокий уровень (V1h)

от минус 2 до 6 от (Vil + 0,1) до 6,5

от 0 до 3 от (Vil + 0,1) до 3,3

Дискретность установки напряжений, мВ

5

Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжений (U), мВ:

в диапазоне частот от 1 МГц до 50 МГц

в диапазоне частот от 50 МГц до 100 МГц

± (0,01-U + 10) ± (0,05-U + 10)

Диапазон входных напряжений, В

от минус 2,0 до 6,5

Дискретность установки входных напряжений, мВ

5

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжений (U), мВ

± (0,01-U + 10)

Частота следования импульсов, МГц (с объединением двух каналов)

от 1 до 100 (до 200)

Пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты, %

± 0,1

Наименование характеристики

Значение характеристики

Скорость нарастания фронта импульса, В/нс, не менее: в диапазоне частот от 1 МГц до 50 МГц в диапазоне частот от 50 МГц до 100 МГц

1,45

1,40

Комплекс обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного тока при параметрическом контроле в соответствии с таблицей 3.

Таблица 3

Наименование характеристики

Значение характеристики

Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока измерителем статических параметров, В

± 8

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) напряжений постоянного тока измерителем статических параметров, мВ:

при ограничении тока до 2 мА

при ограничении тока от 2 мА до 20 мА

при ограничении тока от 20 мА до 50 мА

± 15,0 ± 60,0 ± 150,0

Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока измерителем статических параметров, мА

± 50

Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения (измерений) силы постоянного тока измерителем статических параметров, %

± 1

Комплекс обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного тока каналами воспроизведения постоянного тока/напряжения №1, №2, №3, № 4 в соответствии с таблицей 4.

Таблица 4

Наименование характеристики

Значение характеристики

Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 1, В

от 0,01 до 6

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 1, мВ

± (0,01-U+15)

Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 1, мА

от 10 до 2000

Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения (измерений) силы постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 1, %

± 5

Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналами воспроизведения постоянного тока/напряжения № 2, № 3, В

± 16

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналами воспроизведения постоянного тока/напряжения № 2, № 3, мВ

± (0,01-U+15)

Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока каналами воспроизведения постоянного тока/напряжения № 2, № 3), мА

от 10 до 1000

Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения (измерений) силы постоянного тока каналами воспроизведения постоянного тока/напряжения № 2, № 3, %

± 10

Наименование характеристики

Значение характеристики

Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 4, В

от 0,01 до 3,7

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 4, мВ

± (0,01-И+15)

Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 4, А

от 0,1 до 3

Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения (измерения) силы постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения №4, %

± 10

Канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5 (калибратор-мультиметр цифровой 2410)

Диапазон воспроизводимого/измеряемого напряжения постоянного тока, В

от 0,001 до 1000

Пределы допускаемой погрешности воспроизведения/измерений напряжения постоянного тока:

на пределах 200 мВ, 2 В

на пределе 20 В

на пределе 200, 1000 В

± (2Л0ЛИо + 0,6 мВ)

± (2-10-4-Ио + 2,4 мВ)

± (2-10-4-Ио + 24 мВ), где Ио - значение воспроизводимого/измеряемого напряжения постоянного тока, В

Диапазон воспроизводимой/измеряемой силы постоянного тока

от 1 мкА до 1 А

Пределы допускаемой погрешности воспроизведения/измерений силы постоянного тока:

на пределах 10 мкА, 100 мкА, 1 мА, 10 мА

на пределе 100 мА

на пределе 1 А

± (1,2-10’3-1о + 1 мкА)

± 1,5 • 10-Чо

± 3,6- 10-34о, где 1о - значение воспроизводимой/ измеряемой силы постоянного тока, А

Комплекс обеспечивает измерение и анализ характеристик сигналов, прошедших через испытываемую ИМС с параметрами в соответствии с таблицей 5.

Таблица 5

Наименование характеристики

Значение характеристики

Канал измерений №1 (мультиметр 34401A)

Диапазон измерений напряжения постоянного тока

от 1 мВ до 1000 В

Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока:

± (5Л0ЛИи + 4 мкВ), где Ии - значение измеряемого напряжения постоянного тока, В

Диапазон измерений напряжения переменного тока (среднеквадратического значения)

от 1 мВ до 750 В

Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения переменного тока:

в диапазоне частот от 3 Гц до 10 Гц

в диапазоне частот от более 10 Гц до 20 кГц

в диапазоне частот от более 20 кГц до 100 кГц

± (0,001- Ии + 50,0 мкВ) ± (0,0006^ Ии + 50,0 мкВ)

± (0,004- Ии + 50,0 мкВ)

Наименование характеристики

Значение характеристики

в диапазоне частот от более 100 кГц до 300 кГц

± (0,012- Uu + 100,0 мкВ), где Uu - значение измеряемого напряжения переменного тока, В

Диапазон измерений силы постоянного тока

от 1 мкА до 3 А

Пределы допускаемой погрешности измерений силы постоянного тока:

в диапазоне до 100 мкА;

в диапазоне от 101 мкА до 100 мА;

в диапазоне от 100,1 мА до 1 А;

в диапазоне от 1,001 А до 3 А

± 5,0х10-3х1и,

± 1,0х10-3х1и,

± 2,0х10-3х1и,

± 5,0х10-3х1и, где 1и - значение измеряемой силы постоянного тока, А

Диапазон измерений силы переменного тока (среднеквадратического значения)

от 100 мкА до 3 А

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений силы переменного тока:

в диапазоне частот от 10 Гц до 5 кГц;

в диапазоне частот более 5 кГц до 10 кГц

± (0,001- 1и + 50,0 мкА)

± (0,002- 1и + 100,0 мкА), где 1и - значение измеряемой силы переменного тока, А

Диапазон измерений электрического сопротивления

от 100 мОм до 100 МОм

Пределы допускаемой погрешности измерений электрического сопротивления:

в диапазоне до 100,0 Ом;

в диапазоне от 100,1 Ом до 1,0 кОм;

в диапазоне от 1,001 кОм до 10,0 кОм;

в диапазоне от 10,001 кОм до 100,0 кОм;

в диапазоне от 100,001 кОм до 1,0 МОм;

в диапазоне от 1,001 МОм до 10,0 МОм;

в диапазоне от 10,001 МОм до 100 МОм

± 15 мОм ± 110 мОм ± 1,10 Ом ± 11,0 Ом ± 130 Ом

± 4 кОм ± 800 кОм

Диапазон измерений частоты

от 3 Гц до 300 кГц

Пределы допускаемой погрешности измерений частоты

±(0,05 Гц + 2- 10-3/F), где F - измеряемое значение частоты, Гц

Каналы измерений №2 - №3 (осциллограф цифровой MSO3052A)

Диапазон измерений частоты

от 0,1 Гц до 500 МГц

Пределы допускаемой погрешности измерений частоты

±(0,1 Гц + 1-10-3-F), где F - измеряемое значение частоты, Гц

Диапазон измерений напряжения постоянно-го/переменного тока:

при входном сопротивлении 50 Ом

при входном сопротивлении 1 МОм

при входном сопротивлении 1 МОм с делителем 10:1

от 10 мВ до 30 В ср. кв. от 10 мВ до 30 В ср. кв. от 10 мВ до 300 В ср.кв.

Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного/переменного тока

± (5,0х10-3хии), где Uu - значение измеряемого напряжения постоянного/переменного тока, В

Каналы анализа логических уровней №4 - №19 (осциллограф цифровой MSO3052A)

Диапазон установки порогового напряжения, В

± 8

Наименование характеристики

Значение характеристики

Пределы допускаемой погрешности установки порогового напряжения в диапазоне, мВ:

от минус 8 В до минус 2 В

от более минус 2 В до 2 В

от более 2 В до 8 В

± 400

± 200

± 400

Канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5 (калибратор-мультиметр цифровой 2410)

Диапазон измерений электрического сопротивления

от 100,0 мОм до 200 МОм

Пределы допускаемой погрешности измерений электрического сопротивления:

на пределе 20 Ом

на пределе 200 Ом

на пределе 2 кОм

на пределе 20 кОм

на пределе 200 кОм

на пределе 2 МОм

на пределе 20 МОм

на пределе 200 МОм

± 23,0 мОм ± 170,0 мОм

± 1,70 Ом

± 15,0 Ом ± 170,0 Ом ± 2,50 кОм ± 23,0 кОм ± 670,0 кОм

Таблица 6 - Габаритные размеры, масса и эксплуатационные характеристики комплекса

Наименование характеристики

Значение характеристики

Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм оборудование, располагаемое на технологической тележке отдельно стоящее дополнительное оборудование:

- канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5

- канал измерений № 1

- каналы измерений №2 - №19

700х700х1000

370х220х90 374х255х104 142х381х205

Масса комплекса, кг

85

Рабочий диапазон температур окружающей среды, °С

от 5 до 35

Относительная влажность воздуха при температуре 20 °С, %

до 80

Атмосферное давление, кПа

от 97 до 105

Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1) Гц, В

220 ± 22

Потребляемая мощность, В •А, не более

4400

Средний срок службы, лет

5

Наработка на отказ, ч

4000

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на лицевую панель тестера ЕТС 868 в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.

Комплектность

Комплект поставки включает:

- комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем «ЕТ-8680» - 1 шт.;

- «Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем «ET-868О». Формуляр» ТИВН 442241.003 ФО - 1 шт.;

- «Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем «ET-868О. Руководство по эксплуатации» ТИВН 442241.003 РЭ - 1 шт.;

- одиночный комплект ЗИП;

- методика поверки - 1 шт.

Поверка

осуществляется по документу «Инструкция. Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем «ЕТ-8680». Методика поверки. ТИВН 442241.003 МП», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИФТРИ».

Основные средства поверки:

- частотомер универсальные Ч3-86 (регистрационный номер 27901-11) (диапазон измеряемых частот 0,1 Гц - 100 МГц (канал А и В); (0,1 - 1,0) ГГц (канал С); (1,0 - 18,0) ГГц (канал D); уровень входного сигнала: канал А, В: (0,03 - 7) В, канал С: (0,03 - 0,5) В, канал D: (0,02 - 5) мВт);

- цифровой мультиметр 34401А (регистрационный номер 16500-97) (диапазон измерений напряжения постоянного тока от 1 мкВ до 1000 В с пределами допускаемой погрешности измерений ± 0,008 %, диапазон измерений силы постоянного тока от 10 нА до 3А с пределами допускаемой погрешности измерений ± 0,12 %);

- калибратор-вольтметр универсальный В1-28 (регистрационный номер 10759-86) (диапазон воспроизведения/измерений силы постоянного тока от 0,1 нА до 2 А, пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения силы постоянного тока ± (0,002 -0,053) %, пределы допускаемой относительной погрешности измерений силы постоянного тока ± (0,0015 - 0,06) %, диапазон воспроизведения напряжения постоянного тока от 0,1 мкВ до 1000 В, пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока ± (0,003 - 0,0043) %, диапазон измерений напряжения постоянного тока от 1 мкВ до 1000 В, пределы допускаемой относительной погрешности измерений напряжения постоянного тока ± (0,003 - 0,005) %);

- осциллограф цифровой 54642А (регистрационный номер 25619-03) (полоса пропускания от 0 до 500 МГц, развертка по напряжению от 2 мВ/дел до 5 В/дел., 2-х канальный);

- генератор сигналов низкочастотный Г3-110 (регистрационный номер 5460-76), диапазон частот 0,01 Гц до 2 МГц, дискретность установки частоты 0,01 Гц, пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты ± 0,0003 %;

- генератор сигналов высокочастотный Г4-176 (регистрационный номер 11207-88), диапазон частот от 0,Г10-3 до 1,02 ГГц, пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты ± 1,5-10’3 %;

- генератор сигналов произвольной формы 33250A (регистрационный номер 26209-08), предел воспроизведения частоты 80 МГц;

- магазин сопротивлений Р4043 (регистрационный номер 3722-73), класс точности 0,1, максимальное значение рабочего напряжения 3000 В, номинальные значения электрического сопротивления от 10 до 1000 МОм.

Сведения о методах измерений

Комплекс параметров цифровых интегральных микросхем «ET-868». Руководство по эксплуатации. ТИВН 442241.003 РЭ.

Нормативные документы

ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.

Комплекс параметров цифровых интегральных микросхем «ЕТ-8680». Руководство по эксплуатации. ТИВН 442241.003 РЭ.

Рекомендации к применению

Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.

Развернуть полное описание