Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах

Основные
Тип
Год регистрации 2010
Дата протокола 03д3 от 29.07.10 п.167
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 41193
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Россия 
Технические условия на выпуск тех.документация ЗАО
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах (далее - комплекс) предназначен для измерения геометрических параметров методом атомно-силовой микроскопии и показателя преломления методом интерференционной микроскопии изолированных функционирующих клеток и клеточных структур.

Область применения - контроль изделий бионанотехнологий и продукции бионаноиндустрии.

Описание

Комплекс состоит из двух установок: микроскопа сканирующего зондового Ntegra SPECTRA зав. № 001 и микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1 зав. № 002. В основе установки Ntegra SPECTRA лежит измерительная головка атомно-силового микроскопа (АСМ). АСМ реализует принцип измерений силы, действующей на острие микрозонда (кантилевера) со стороны исследуемой поверхности, как проводящих, так и диэлектрических сред. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между микрозондом и поверхностью образца, регистрируют положение острия микрозонда, что позволяет измерять геометрические параметры исследуемого объ-

екта. Сканирование в различных диапазонах обеспечивается с помощью заменяемых пьезосканеров. Использование емкостных датчиков в процессе сканирования позволяет уменьшить влияние нелинейности пьезосканера.

Конструкция блока подвода и сканирования Ntegra SPECTRA обеспечивает ручной и автоматический подвод образца к зонду; установку АСМ головки на блок подвода без дополнительных приспособлений; простую процедуру замены и установки сканера и держателя образца. Прибор позволяет проводить сканирование как зондом или образцом, так и комбинированно на воздухе, в газовой и жидкой средах.

Конструктивно Ntegra SPECTRA выполнена в виде настольных приборов с отдельно устанавливаемым компьютером. Управление процессом измерений осуществляется от контроллера и PC совместимого компьютера с помощью программного обеспечения. Управляющие сигналы от АСМ контроллера поступают в измерительную головку. Управление АСМ-контроллером осуществляется с помощью компьютерного программного обеспечения посредством специальной PCI-платы или интерфейса USB 2.0. При помощи программного обеспечения осуществляется настройка прибора, оптимизация его параметров, управление режимами работы, выполнение сканирования, обработка результатов измерений и их хранение.

Принцип действия микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1 основан на получении интерферограмм исследуемого объекта при различных фазовых сдвигах, их расшифровки и вычислении по ним показателя преломления.

Конструктивно прибор выполнен в виде двух блоков автоматизированного интерференционного микроскопа и осветительного лазерного блока.

Для расшифровки интерферограмм в микроскопе МИА-1 использован метод дискретного фазового сдвига (метод фазовых шагов). Сдвиг вносится при помощи управляемого от компьютера пьезоэлемента, связанного с зеркалом опорного канала. Интерферограммы при различных положениях зеркала с помощью ПЗС-телекамеры поступают в персональный компьютер, где производится их автоматическая обработка.

Для управления вводом изображений, сдвигом пьезоэлемента и расшифровки интерферограмм используется специальное программное обеспечение «WinPhast». В результате работы программы производится восстановление двумерного распределения оптической разности хода. Для вычисления показателя преломления исследуемого вещества используется двухиммерсионный метод. Он основан на измерении оптической разности хода двух веществ: с известным показателем преломления и с искомым. Далее по полученным двумерным распределениям оптической разности хода определяются фазовые объемы, отношение которых дает показатель преломления.

Комплекс обеспечивает измерение геометрических параметров и показателя преломления исследуемого объекта.

Программное обеспечение входящих в комплекс установок выполнено в виде отдельно запускаемых модулей и обеспечивает защиту от влияния на метрологические характеристики, а также непреднамеренных и преднамеренных изменений.

Технические характеристики

Таблица 1

Наименование характеристики

Значение характеристики

1

2

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм

от 0 до 90

Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм

от 0 до 10

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, %

±1

' Пределы допускаемой относительной погрешности измерений ! линейных размеров по оси Z, %

±5

! Нелинейность сканирования в плоскости XY, %, не более

0,5

Неплоскостность сканирования в плоскости XY, нм, не более

100

Разрешение в плоскости XY, нм, не более

0,15

Разрешение по оси Z, нм, не более

0,1

Дрейф в плоскости XY, А/с, не более

2

, Дрейф по оси Z, А/с, не более

1,5

; Максимальное число точек сканирования по X и Y

4000x4000

; Размеры исследуемых образцов (диаметр х толщина), мм

100 х 20

i Диапазон измерений показателя преломления

от 1,39 до 1,65

i Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения показателя преломления

±5 -10 5

Напряжение питания переменного тока, В

220±22

Потребляемая мощность, Вт, не более

- микроскоп сканирующий зондовый Ntegra SPECTRA

- микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1

240

250

Габаритные размеры, мм

- электронный блок Ntegra SPECTRA

- микроскоп сканирующий зондовый Ntegra SPECTRA

- микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1

445x160x500

240x345x280

340x370x380

Масса, кг, не более

- микроскоп сканирующий зондовый Ntegra SPECTRA

- микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1

60

24

Условия эксплуатации:

- температура окружающего воздуха, °C

- атмосферное давление, кПа

- относительная влажность воздуха, %

20±5

101±4

65±20

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносят на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

Комплект поставки соответствует таблице 2.

Таблица 2

Наименование

Кол-во, шт.

Микроскоп сканирующий зондовый Ntegra SPECTRA

1

Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1

1

Руководство по эксплуатации микроскопа сканирующего зондового Ntegra SPECTRA

1

Руководство по эксплуатации микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1

1

Методика поверки

1

Поверка

Поверка комплекса проводится в соответствии с документом «Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» в октябре 2010 г.

Основные средства поверки:

• мера периода и высоты линейная TGQ1 ТУ 3932-012-40349675-2009 (ГР № 41680-09). Номинальное значение шага шаговой структуры меры 3,00 мкм, допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры не более ±0,01 мкм. Высота профиля 0,020 мкм, пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых структурах не более ±0,002 мкм;

• мера периода и высоты линейная TGZ3 ТУ 3932-013-40349675-2009 (ГР № 41678-09). Номинальное значение шага шаговой структуры меры 3,00 мкм, допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры не более ±0,01 мкм. Высота профиля 0,520 мкм, пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых структурах не более ±0,020 мкм;

• набор жидких мер показателя преломления РЖЭ-1 ТУ 4437-00640001819-03 (ГР № 24513-03). Диапазон показателя преломления

1.385 - 1.659, предел допускаемой абсолютной погрешности измерения показателя преломления не более ±0,00003

Межповерочный интервал - один год.

Нормативные документы

1. ГОСТ Р 8.630-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки».

2. ГОСТ Р 8.628-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления»

3. Техническая документация ЗАО «Нанотехнология МДТ», г. Зеленоград

Заключение

Тип «Комплекс метрологический для измерения топологии клеточных структур и распределения показателя преломления в нанобиотехнологических процессах», утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.

Развернуть полное описание