Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-4f. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-4f

Основные
Тип IMS-4f
Год регистрации 2011
Дата протокола Приказ 3042 от 27.06.11 п.11
Класс СИ 31.01
Номер сертификата 42978
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Франция 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-4f (далее - прибор) предназначен для измерений массы вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов.

Описание

Принцип действия прибора основан на явлении вторичной ионной эмиссии: испускании твердым телом ионов при облучении поверхности ускоренными ионами. В результате взаимодействия первичного иона с энергией в несколько килоэлектронвольт с образцом, возникает каскад атомных столкновений внутри образца, некоторые из которых приводят к эмиссии атомов, расположенных в приповерхностных слоях. Определенная доля этих атомов в процессе эмиссии приобретает положительный или отрицательный заряд (вторичные ионы). Вторичные ионы разделяются в соответствии с их отношением массы к заряду масс-сепаратором с двойной фокусировкой и детектируются системой регистрации.

Прибор состоит из ионной пушки, камеры распыления, масс-сепаратора, регистрирующей системы, вакуумной системы, системы управления, рабочего стола с управляющим компьютером и функциональной клавиатурой.

Рисунок 1 - Общий вид масс-спектрометра вторично-ионного микрозондового IMS-4f

Программное обеспечение

Управление прибором осуществляется с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных измене-

ний соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

Таблица 1.

Наименование

ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений

SIMS_32_v.1.0

1.0

3BF3EC2220A0AEF2 CAFD0C23F71A9399 E69F3ED5D972DA69 8203A4F8BD23B77C

ГОСТ Р 34.11-94

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.

Таблица 2.

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений массы вторичных ионов при напряжении на образце минус 4,5 кВ, а.е.м., не менее

300

Пределы допускаемой погрешности измерений массы положительных вторичных ионов, а.е.м.

(Мном — номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.)

±(0,1+Мном40’3)

Пределы допускаемой погрешности измерений массы отрицательных вторичных ионов, а.е.м.

(Мном — номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.)

±(0,1+Мном40’3)

Максимальное масс-спектральное разрешение, не менее

10000

Диапазон установки ускоряющего напряжения первичных ионов цезия Cs+, кВ

от 7,5 до 10

Диапазон установки ускоряющего напряжения первичных ионов кислорода О2+, кВ

от 7,5 до 15

Максимальный ток ионов Cs при напряжении на источнике 10 кВ, мкА, не менее

0,3

Максимальный ток ионов О2 при напряжении на источнике 15 кВ, мкА, не менее

3

Потребляемая мощность, кВт, не более

9,9

Масса, кг, не более

1430

Условия эксплуатации:

- температура окружающего воздуха, оС

- атмосферное давление, кПа

- относительная влажность воздуха %

- напряжение питания сети, В

- частота питающей сети, Г ц

- вибрации:

а) амплитуда смещения в диапазоне частот от 1 до 2,5 Гц, мкм б) виброускорение в диапазоне частот от 2,5 до 200 Гц, м^с’2

- внешние магнитные поля, Тл, не более

20 ± 1 101 ± 1,4 70 ± 5 230 ± 10

50 ± 1

15 2,540’3 5-107

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на ионную пушку прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.

Комплектность

В комплект прибора входят: масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-4f, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.

Поверка

осуществляется по документу «Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-4f фирмы «CAMECA», Франция. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в октябре 2010 г.

Средства поверки:

- часть пластины монокристаллического кремния марки ЭКЭФ-0,1-24 по ГОСТ 19658-81;

- часть пластины монокристаллического германия марки ГЭ-0,1а3 по ГОСТ 16153-80.

Сведения о методах измерений

Техническое описание «Масс-спектрометр микрозондовый вторично-ионный IMS-4f производства фирмы CAMECA (Франция)», раздел 6.

Нормативные документы

Техническое описание «Масс-спектрометр микрозондовый вторично-ионный IMS-4f производства фирмы CAMECA (Франция)».

Рекомендации к применению

Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.

Развернуть полное описание