Назначение
Мера динамическая горизонтального перемещения ДКГ-01 (далее, мера) предназначена для воспроизведения перемещений в латеральной плоскости при испытаниях, поверке и калибровке растровых измерительных микроскопов, сканирующих зондовых микроскопов, вертикальных сканирующих интерферометров.
Описание
В основе принципа действия меры лежит управляемая электрическим напряжением деформация исполнительного пьезоэлемента, выполненного из пьезокристаллического материала, характеризуемого пренебрежительно малым гистерезисом и ползучестью, в горизонтальном направлении. Конструктивно мера выполнена в виде корпуса, внутри которого установлен исполнительный пьезоэлемент, на лицевой поверхности которого установлена рельефная решетка, перемещающаяся в горизонтальном направлении. Для устранения влияния внешних влияющих факторов (температурный дрейф, низкочастотные колебания, ползучесть элементов конструкции и др.) управление перемещением меры осуществляется амплитудно -модулированным сигналом в виде прямоугольных импульсов напряжения, подаваемым с электронной системы управления (ЭСУ), что позволяет отсчитывать перемещения по результатам измерения амплитуды переднего или заднего фронта импульса перемещения.
Рисунок 1 - Общий вид меры динамической горизонтального перемещения ДКГ-01
Программное обеспечение
Мера динамическая горизонтального перемещения ДКГ-01 оснащена программным обеспечением DAC Generator версии V 1.8, предназначенным для подачи на меру импульсов напряжения с электронной системы управления (ЭСУ). Вычислительный алгоритм DAC Generator расположен в заранее скомпилированных бинарных файлах и не может быть модифицирован. ПО DAC Generator блокирует редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице
| Наименование программного обеспечения | Идентификационное наименование программного обеспечения | Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения | Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
| DAC Generator | DAC Generator.exe | V 1.8 | 8286A214266346C6F E9E263C45E534A3 | MD5 |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защита программного обеспечения меры динамической горизонтального перемещения ДКГ-01 соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010
Технические характеристики
| Наименование параметра | Значение параметра |
| Диапазон воспроизведения перемещений при изменении управляющего напряжения в пределах -2000:-2000В | не менее 100 нм |
| Пределы допускаемой основной абсолютной погрешности воспроизведения перемещений | ± 1,0 нм |
| Погрешность измерения амплитуды генерируемых импульсов напряжения | не более 0,1 % |
| Сопротивление изоляции | не менее 5 МОм |
| Чувствительность | не менее 50х10-3 нм/В |
| Разрешающая способность | не хуже 0,2 нм |
| Уровень собственных шумов | не более 0,2 нм |
Диапазон рабочих температур: 20 ± 3 °С.
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Комплектность
| Наименование изделия | Кол-во, шт |
| 1. Мера динамическая горизонтального перемещения ДКГ-01; | 1 |
| 2. Электронная система управления ЭСУ | 1 |
| 3. Кабели соединительные | 1 |
| 4. Программное обеспечение DAC Generator | 1 |
| 5. Руководство по эксплуатации | 1 |
| 6. Методика поверки | 1 |
Поверка
осуществляется по документу МП 48277-11 «Мера динамическая горизонтального перемещения ДКГ-01. Методика поверки», разработанному и утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИ-ИМС» в сентябре 2011 года.
Основное поверочное оборудование: прибор Talystep («TAYLOR HOBSON Ltd», Великобритания), основные характеристики: вертикальное: увеличение - 106, предел случайной погрешности - 0,3%.
Сведения о методах измерений
«Динамические меры нанометрового диапазона. Руководство по эксплуатации». ТС.500.000.000 РЭ.
Нормативные документы
2270-93 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений линейных размеров в диапазоне 0,1.. .10,0 мкм
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений
