Назначение
Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010 предназначена для поверки и калибровки атомно-силовых микроскопов.
Описание
Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010 (далее - мера) представляет собой квадратную кремниевую монокристаллическую пластину размером не более 10х10 мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости. Мера состоит из ячеек размером 5Х5 мкм, с расстоянием между ячейками 5 мкм.
Рисунок 1 - Внешний вид Меры длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010
Рисунок 2 - Маркировка Меры длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010
Рисунок 3 - Структура поверхности меры длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики меры приведены в таблице 1.
Таблица 1
| Наименование характеристики | Значение |
| Номинальное значение глубины ячейки, мкм | 0,098 |
| Пределы доверительной границы погрешности измерения глубины ячейки при Р = 0,95; мкм | ± 0,001 |
| Номинальное значение шага ячейки, мкм | 10,0 |
| Пределы доверительной границы погрешности измерения шага ячейки при Р = 0,95; мкм | ± 0,05 |
| Размеры ячейки, мкм | 5x5 |
| Масса меры с оправой, кг | 0,0015 |
| Габаритные размеры меры без оправы (Д*Ш>В), мм | 10x10x0,5 |
| Условия эксплуатации: а) на воздухе температура окружающего воздуха, °С относительная влажность окружающего воздуха, % атмосферное давление, кПа | 20 ± 3 65 ± 15 100 ± 4 |
| б) в вакууме температура держателя образца, °С значение давления остаточных газов в камере образцов микроскопа, Па | 20 ± 3 10 "4- 270 |
Знак утверждения типа
наносится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации (паспорта) методом печати.
Комплектность
Состав комплекта меры представлен в таблице 2.
Таблица 2
| Наименование | Количество, шт. |
| Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010 | 1 |
| Футляр | 1 |
| Руководство по эксплуатации (паспорт) | 1 |
| Методика поверки № МП 44.Д4-11 | 1 |
Поверка
осуществляется по документу: «Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010». Методика поверки № МП 44.Д4-11», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 3 октября 2011 г.
Основные средства поверки:
Микроскоп атомно-силовой Innova, фирмы “Veeco Instruments Inc.”, США
Основные метрологические характеристики:
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY от 0,001 до 100 мкм
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y: ± 1 %
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z от 0,0001 до 7,000 мкм
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z: ± 5 %
Сведения о методах измерений
«Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010. Руководство по эксплуатации (паспорт)», раздел 7 «Порядок работы».
Нормативные документы
Техническая документация фирмы «Veeco Instruments Inc.», США.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по обеспечению единства измерений.
