Мера длины рельефная МДР-278 нм. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Мера длины рельефная МДР-278 нм

Основные
Тип МДР-278 нм
Год регистрации 2011
Дата протокола Приказ 4992 от 16.09.11 п.69
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 43840
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Россия 
Технические условия на выпуск -
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Мера длины рельефная МДР-278 нм предназначены для хранения единицы длины в нанометровом диапазоне для ее передачи микроскопам электронным растровым и другим средствам измерений малой длины, применяемым в сфере нанотехнологий.

Описание

Мера представляет собой сильно уплощенный диск, на рабочей поверхности которого сформирован специфический микрорельеф. Общий вид меры показан на рисунке 1. На рисунке 2 характер микрорельефа на ее рабочей поверхности показан при разных увеличениях растрового электронного микроскопа. Геометрически микрорельеф является совокупностью одинаковых между собой шаговых структур с синусоидальной геометрической формой поперечного сечения. На рабочую поверхность меры осуществлено вакуумное напыление золота, что создает поверхностную электропроводность и позволяет использовать меру в качестве полностью готового препарата для растрового электронного микроскопа.

Рисунок 1 - Общий вид меры МДР-278 нм (показана стрелкой).

При поверке (калибровке) средств измерений с использованием данной меры получают изображение поверхности меры с помощью поверяемого (калибруемого) средства измерений. Затем на полученном изображении в поверяемом (калибруемом) средстве измерений шагу периодической структуры приписывается значение, приведенное в паспорте на использованную меру. Показанные на рисунке 2 результаты измерения шага периодической структуры микрорельефа с помощью растрового электронного микроскопа соответствуют применению меры для калибровки или поверки микроскопов этого типа; собственные метрологические характеристики меры установлены в результате прямых измерений с помощью атомносилового сканирующего микроскопа.

Рисунок 2 - Микрорельеф рабочей поверхности меры МДР-278 нм при разных

увеличениях растрового электронного микроскопа.

Технические характеристики

Наименование

Значение

Шаг периодической структуры, мкм

0,278

Пределы допускаемой погрешности шага периодической структуры, мкм

± 0,002

Масса не более, г

10

Габаритный размер (Диаметр х Толщина), мм

12,5 х 2,5

Размер рабочей области (Диаметр), мм

9,0

Срок службы, лет

5

Рабочие условия: температура меры при работе микроскопа 20±3 °С

Знак утверждения типа

наносится на титульном листе паспорта методом печати.

Комплектность

Мера длины рельефная МДР-278 нм          1 шт.

Футляр                                     1 шт.

Паспорт                                          1 экз.

Методика поверки                             1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 47748-11 «Мера длины рельефная МДР-278нм. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2011 году.

Основными средствами поверки являются:

мера периода линейная TDG01 (ГР 41676-09) с пределами допускаемого отклонения шага структуры от номинального значения ±1 нм;

микроскоп сканирующий зондовый NTegra PRIMA (ГР 28664-10) с пределом допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров (при номинальных размерах более 10 нм) ±(1+0,001L) нм.

Сведения о методах измерений

Сведения отсутствуют

Нормативные документы

1. Мера длины рельефная МДР-278 нм. Паспорт.

Рекомендации к применению

Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений

Развернуть полное описание