Назначение
Мера длины рельефная МДР-3 мкм предназначена для хранения единицы длины для ее передачи микроскопам электронным растровым и другим средствам измерений малой длины, применяемым в сфере нанотехнологий.
Описание
Мера представляет собой квадратную пластину, на рабочей поверхности которой сформирован специфический микрорельеф. Общий вид меры показан на рисунке 1. На рисунке 2 характер микрорельефа на ее рабочей поверхности показан при разных увеличениях растрового электронного микроскопа. Микрорельеф является совокупностью одинаковых между собой шаговых структур с прямоугольной геометрической формой выступающих элементов. На рабочую поверхность меры осуществлено вакуумное напыление золота, что создает поверхностную электропроводность и позволяет использовать меру в качестве полностью готового препарата для растрового электронного микроскопа.
Рисунок 1 - Общий вид меры МДР-3 мкм (показана стрелкой).
При поверке (калибровке) средств измерений с использованием данной меры получают изображение поверхности меры с помощью калибруемого средства измерений. Затем на полученном изображении в поверяемом (калибруемом) средстве измерений величинам шага и высоты выступов придается значение, приведенное в паспорте на использованную меру. Показанные на рисунке 2 результаты измерения шага периодической структуры микрорельефа с помощью растрового электронного микроскопа соответствуют применению меры для калибровки или поверки микроскопов этого типа; собственные метрологические характеристики меры установлены в результате прямых измерений с помощью атомносилового сканирующего микроскопа.
Технические характеристики
| Наименование | Значение |
| Шаг периодической структуры (по двум координатным осям), мкм | 3,00 |
| Пределы допускаемой погрешности шага периодической структуры, мкм | ± 0,02 |
| Масса не более, г | 5,0 |
| Г абаритные размеры, мм | 5,0х5,0х0,5 |
| Размеры рабочей области, мм | 3,0 х 3,0 |
| Срок службы, лет | 5 |
Рабочие условия: температура меры при работе микроскопа 20±3 °С
Рисунок 2 - Микрорельеф рабочей поверхности меры МДР-3 мкм при разных увеличениях растрового электронного микроскопа.
Знак утверждения типа
наносится на титульном листе паспорта методом печати.
Комплектность
Мера длины рельефная МДР-3 мкм 1 шт.
Футляр 1 шт.
Паспорт 1 экз.
Методика поверки 1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 47747-11 «Мера длины рельефная МДР-3мкм. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2011 году.
Основными средствами поверки являются:
мера периода линейная TDG01 (ГР 41676-09) с пределами допускаемого отклонения шага структуры от номинального значения ±1 нм;
микроскоп сканирующий зондовый NTegra PRIMA (ГР 28664-10) с пределом допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров (при номинальных размерах более 10 нм) ±(1+0,001L) нм.
Сведения о методах измерений
Сведения отсутствуют
лист № 3
всего листов 3
Нормативные документы
1. Мера длины рельефная МДР-3 мкм. Паспорт.
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений
