Назначение
Мера периода линейная VLSI NLS6-0.1 (далее - мера) относится к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне ЮОмкм + 1 нм и поверки (калибровки) измерительных электронных микроскопов, предназначенных для контроля параметров топографии в плоскости XY при производстве изделий микроэлектроники (пластин).
Область применения: оснащение научно-исследовательских и производственных лабораторий по выпуску и контролю за геометрическими параметрами электронных интегральных микросхем для калибровки и поверки указанного оборудования.
Описание
Мера представляет собой совокупность протяженных шаговых структур на поверхности кремниевой подложки с внешним диаметральным размером 150 мм и размером рабочей области - 1,2x1 мм. Мера состоит из одинаковых шаговых структур с трапецеидальной геометрической формой элемента рельефа.
Технические характеристики
| Наименование | Значение |
| Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм | 0,0998 |
| Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм | 0,001 |
| Условия эксплуатации: Класс чистоты по ГОСТ 17216-2001 | 10 |
| Масса меры должна быть не более, кг | 0,01 |
| Габаритный размер меры (Диаметр х Толщина), мм | 150x0,7 |
| Размер рабочей области меры, мм | 1,2x1 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульном листе паспорта и на футляре.
Комплектность
В комплект поставки входит:
• Мера VLSI NLS6-0.1 1шт.
• Специальный футляр 1 шт.
Поверка
Поверка меры периода линейной VLSI NLS6-0.1 проводится в соответствии с методикой поверки, разработанной ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» и утвержденной в августе 2009 года.
Основным средством поверки является:
- микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой СмартСПМ - 1000 (ТУ 1706001-98300415-08).
Межповерочный интервал - 2 года.
Заключение
Тип меры периода линейной VLSI NLS6-0.1 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.
