Мера периода рельефная S106. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Мера периода рельефная S106

Основные
Тип S106
Год регистрации 2010
Дата протокола 03д от 29.07.10 п.344
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 40518
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Великобритания 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Мера периода рельефная S106, №002 (далее - мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне 10'8 + 10'5 м. Применяется для поверки и калибровки высокоточных микроскопов электронных просвечивающих и других средств измерений малой длины.

Описание

Мера представляет собой реплику трехмерной «шахматной» структуры, находящуюся на объектной сетке для просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ) диаметром 3 мм. Аттестуемым параметром структуры является ее период вдоль двух ортогональных направлений, выделенных вертикальным рельефом (углубления, присутствующие на реплике). Структура лежит в плоскости объектной сетки для ПЭМ.

Технические характеристики

Наименование

Значение

Номинальное значение шага периодической структуры меры вдоль двух ортогональных направлений, мкм

0,463

Предел допускаемой абсолютной погрешности шага периодической структуры, мкм

± 0,020

Плотность периодической структуры меры, периодов/мм

2160

Габаритный размер меры (диаметр х толщина), мм

3x0.1

Размер рабочей области меры (диаметр), мм

2,0

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на титульном листе руководства по эксплуатации методом печати.

Комплектность

В комплект поставки входит:

• Мера S106                                  1шт.

• Специальный футляр                         1 шт.

Руководство по эксплуатации                    1 экз.

Поверка

Поверка меры проводится в соответствии с документом «Мера периода рельефная S106. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» » августа 2010 года.

Основным средством поверки является:

- мера периода линейная TDG01 (ТУ 3932-010-40349675-2009, ГР 41676-09);

- микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой NTegra (ТУ 4254-001-586993872009, ГР 28664-10).

Межповерочный интервал -1 год.

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя «Agar Scientific, Ltd», Великобритания.

Заключение

Тип меры периода рельефной S106 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.

Развернуть полное описание