Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3

Основные
Тип ПМН-3
Год регистрации 2012
Дата протокола Приказ 111 от 24.02.12 п.04
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 45556
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Россия 
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3 (далее - мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне от 0210-6 до 0,002 м и применяется при калибровке перемещений столика объектов растрового электронного микроскопа.

Описание

Мера ПМН-3 выполнена на пластине монокристаллического кремния диаметром 50 мм, в центре которой размещены 3 одинаковых модуля, состоящие из примыкающих друг к другу элементов размерами 2 мкм x 2 мкм, с квадратными метками размером 100 нм х100 нм через каждые 10 элементов и цифровыми метками через каждые 100 элементов, имеющие конечный элемент 19,9 мкм х 19,9 мкм с периодическим массивом нанообъектов размерами 100 нм х100 нм.

Конечный элемент представляет собой двумерную периодическую структуру, состоящую из наностолбиков размерами 100 нм x 100 нм x 100 нм, расстояние между столбиками 100 нм.

Квадратные метки образуют одномерную периодическую структуру.

Схематические изображения модуля меры представлены на рисунках 1-3.

Рис.1 Схематическое изображение фрагмента модуля меры ПМН-3.

Рис.2 Схематическое изображение фрагмента модуля меры ПМН-3.

А5

СС

Е ПП~1П |~ П П П Г1Г1Г1Г1 Г1Г1Г1Г1 ~1 п п п ппп

Рис.3 Схематическое изображение фрагмента модуля меры ПМН-3.

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики меры приведены в Таблице.

Таблица.

Наименование характеристики

Значение

Номинальное значение среднего шага Tx по оси X двумерного массива нанообъектов, нм

200

Номинальное значение среднего шага Ty по оси Y двумерного массива нанообъектов, нм

200

Допускаемое отклонение от номинального значения среднего шага Tx (Ty), нм

±1

Среднее квадратическое отклонение Sx (Sy) значений шага по оси X (Y) двумерного массива нанообъектов, нм

2

Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения параметров Sx (Sy) , нм

±1

Номинальное значение среднего шага Т одномерного массива нанообъектов, мкм

20,00

Допускаемое отклонение от номинального значения среднего шага T, мкм

±0,02

Среднее квадратическое отклонение S значений шага одномерного массива нанообъектов, нм

10

Пределы допускаемой погрешности определения параметра S, нм

±4

Номинальные размеры нанообъектов, нм

100x100x100

Размеры двумерного массива нанообъектов, мкм

19,9x19,9

Общая длина одномерного массива нанообъектов, мм

2

Наименование характеристики

Значение

Рабочие условия эксплуатации:

- температура держателя образца, °С

- диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па

20±3 10-4 + 270

Масса без оправы, кг

0,0023

Габаритные размеры без оправы (диаметр х толщина), мм

50х0,5

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта типографским способом.

Комплектность

В комплект поставки входят: мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3, футляр, паспорт.

Поверка

осуществляется по документу МП 49103-12 «Мера рельефная нанометрового диапазона с двумя периодическими массивами нанообъектов ПМН-3. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦИВ» в ноябре 2011 г.

Средства поверки:

- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К;

- микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650.

Сведения о методах измерений

Сведения отсутствуют.

Нормативные документы

МИ 2060-90 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 0,00001 - 50 м и длин волн в диапазоне 0,2 - 50 мкм.

Рекомендации к применению

Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.

Развернуть полное описание