Назначение
Мера высоты Tencor Instruments SHS-9400A (далее - мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне 10-9 ^ 10-4 м и поверки (калибровки) профилометра AlphaStep 200.
Описание
Мера представляет собой металлическую структуру известной высоты, нанесенную на поверхность круглого стеклянного цилиндра с отполированной поверхностью. Внешний вид меры представлен на Рисунке 1. Рабочей областью меры является элемент, расположенный в её центре (см. Рисунок 1, в). Внешний вид футляра меры представлен на Рисунке 2.
б)
а)
Рисунок 1 - а) Внешний вид меры Tencor Instruments SHS-9400A; б) Рабочая область меры.
Рисунок 2 -Мера в футляре и место нанесения знака утверждения типа.
Технические характеристики
| Наименование | Значение |
| Номинальное значение высоты, А | 9446 |
| Предел допускаемой относительной погрешности высоты структуры в рабочей области, % | 3 |
| Условия эксплуатации: • температура окружающего воздуха, °С | 20 ± 3 |
| • относительная влажность, % | 65 ± 15 |
| Г абаритные размеры меры, мм | |
| длина | 38 |
| ширина | 38 |
| высота | 8 |
| Размеры рабочей области меры, мм | 1X1 |
Знак утверждения типа
наносится на титульном листе паспорта меры и на футляре меры - методом наклейки.
Комплектность
• Мера высоты Tencor Instruments SHS-9400A 1 шт.
• Специальный футляр 1 шт.
• Паспорт на меру высоты Tencor Instruments SHS-9400A 1 шт.
Поверка
осуществляется в соответствии с документом по поверке МП 48096-11 «Мера высоты Tencor Instruments SHS-9400A. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011.
Основные средства поверки:
Профилометр оптический «Talysurf CCI 6000», ГР № 44893-10, диапазон измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,0001 до 400 мкм, пределы допускаемой случайной погрешности 0,3% ±1 нм.
Сведения о методах измерений
Сведений нет.
Нормативные документы
ГОСТ 8.296-2011 «ГСИ. Государственный первичный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,0)25.. .30)0)0) мкм»
Паспорт на меру высоты Tencor Instruments SHS-9400A
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений (поверки (калибровки) профилометра AlphaStep 200)
