Назначение
Мера длины рельефная МПУ278нм предназначена для хранения единицы длины для ее передачи микроскопам электронным просвечивающим и другим средствам измерений малой длины.
Описание
Мера представляет собой совокупность элементов рельефа - периодических выступов -на углеродной реплике, с нормированным шагом в латеральной плоскости по оси X (рисунок 1). Шаг является физической величиной, хранимой данной мерой и передаваемой от нее к микроскопам электронным просвечивающим.
Рисунок 1 - Фото меры длины рельефной МПУ278нм для просвечивающей электронной микроскопии в футляре (1а), отдельно (1б)
Подложка (медная сетка) имеет форму круга диаметра 3 мм и толщиной 0,3 мм. Реплика выполнена из углерода, выступы оттенены платиной методом напыления, диаметр рабочей области - 1 мм. Кадр рабочей поверхности меры наблюдаемый в атомно-силовой микроскоп, приведен на рис. 2.
Рисунок 2 - Мера длины рельефная МПУ278нм, кадр 5 х 1 мкм
При поверке (калибровке) средств измерений с использованием данной меры получают изображение поверхности меры с помощью поверяемого (калибруемого) средства измерений. Затем на полученном изображении в поверяемом (калибруемом) средстве измерений шагу
лист № 1 всего листов 3 периодической структуры приписывается значение, приведенное в паспорте на использованную меру.
Технические характеристики
| Наименование | Значение |
| Шаг периодической структуры, мкм | 0,278 |
| Предел допускаемой основной погрешности шага периодической структуры, мкм | ± 0,002 |
| Масса меры должна быть не более, г | 0,1 |
| Габаритный размер меры (Диаметр х Толщина), мм | 3,0 х 0,3 |
| Размер рабочей области меры (Диаметр), мм | 1,0 |
| Срок службы, лет | 7 |
Рабочие условия: температура держателя образца 20±3 °С
Диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа 10-4 ^ 270 Па
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульном листе паспорта методом печати.
Комплектность
| Мера длины рельефная МПУ278нм | 1 шт. |
| Футляр | 1 шт. |
| Паспорт | 1 экз. |
| Методика поверки | 1 экз. |
Поверка осуществляется по документу «Мера длины рельефная МПУ 278нм. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2011 году.
Основными средствами поверки являются:
мера периода линейная TDG01 (ГР 41676-09) с пределами допускаемого отклонения шага структуры от номинального значения не более ±1 нм;
микроскоп сканирующий зондовый NTegra PRIMA (ГР 28664-10) с пределом допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров (при номинальных размерах более 10 нм) ±(1+0,001L) нм.
Сведения о методах измерений
Сведения отсутствуют
Нормативные документы
1. Мера длины рельефная МПУ278нм. Паспорт.
Рекомендации к применению
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений
