Назначение
Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3 (далее - меры) относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.
Описание
Меры представляет собой совокупность шаговых структур на поверхности квадратной кремниевой монокристаллической пластины с размерами квадрата со стороной не более 5 мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости (100). Мера состоит из одинаковых шаговых структур с прямоугольной геометрической формой элемента рельефа шаговой структуры
Внешний меры представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид меры периода и высоты линейной TGZ1, TGZ2, TGZ3.
Метрологические и технические характеристики приведены в таблице 1.
Таблица 1
| Наименование | Значение |
| Номинальное значение периода структуры меры, мкм | 3,00 |
| Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм | ± 0,01 |
| Номинальное значение высоты выступов в рельефе шаговых структур, нм Мера TGZ1 | 20 110 |
| Мера TGZ2 Мера TGZ3 | 520 |
| Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в рельефе шаговых структур не более, нм Мера TGZ1 | ± 2 |
| Мера TGZ2 | ± 10 |
| Мера TGZ3 | ± 20 |
| Условия эксплуатации: а) При работе на воздухе - температура окружающего воздуха, °С | 20 ± 3 |
| - относительная влажность, % | 65 ± 15 |
| - атмосферное давление, Па | (100 ±4)403 |
| б) При работе в вакуумных условиях - диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па | от 140-4 до 270 |
| - температура держателя образца, оС | 20 ± 3 |
| Масса меры не более, г | 5 |
| Габаритные размеры меры, мм | 5,0х5,0х0,5 |
| Размеры рабочей области меры, мм | 3,0х3,0 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист паспорта и на футляр.
Комплектность
Мера TGZ - 1шт.;
Специальный футляр - 1 шт.;
Руководство по эксплуатации (паспорт) - 1шт.
Поверка
осуществляется в соответствии с методикой, изложенной в разделе 4 Руководства по эксплуатации 3932-013-40349675-2009 РЭ и согласованной ФГУП «ВНИИМС 06.08.2009 г.
Основное средство поверки: микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой Solver Pro (Госреестр № 28666-10).
Сведения о методах измерений
Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3. Руководство по эксплуатации.
Нормативные документы
Технические условия 3932-013-40349675-2009 ТУ и руководство по эксплуатации (паспорт) 3932-013-40349675-2009 РЭ.
Рекомендации к применению
- при выполнении работ по оценке соответствия продукции и иных объектов обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о техническом регулировании.
