Меры периода линейные TDG01. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Меры периода линейные TDG01

Основные
Тип TDG01
Год регистрации 2009
Дата протокола Приказ 1802 п. 05 от 12.11.201409д от 08.10.09 п.117
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 36631
Примечание 12.11.2014 продлен срок свидетельства
Срок действия сертификата 12.11.2019
Страна-производитель  Россия 
Технические условия на выпуск ТУ 3932-010-40349675-2009
Тип сертификата (C - серия/E - партия) С

Назначение

Меры периода линейные TDG01 (далее - меры) относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.

Описание

Меры представляет собой совокупность совокупность протяженных шаговых структур на поверхности халькогенидного стекла с внешним диаметральным размером 12,5 мм и диаметральным размером рабочей области - 9 мм. Мера состоит из одинаковых шаговых структур с синусоидальной (в разрезе) геометрической формой элемента рельефа.

Внешний меры представлен на рисунке 1.

Рисунок 1 - Внешний вид меры периода линейно-угловой TDG01.

Технические характеристики

Таблица 1

Наименование

Значение

Номинальное значение периода структуры меры, мкм

0,278

Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм

± 0,001

Плотность периодической структуры меры, периодов/мм

3600

Пределы допускаемой относительной погрешности при формировании периодической структуры не более, %

± 0,03

Максимальная высота профиля меры не более, нм

60

Условия эксплуатации:

а) При работе на воздухе

- температура окружающего воздуха, °С

- относительная влажность, %

- атмосферное давление, Па

б) При работе в вакуумных условиях

- диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па

- температура держателя образца, оС

20 ± 3

65 ± 15 (100 ±4)403

от 1 •Ю-4 до

270

20 ± 3

Масса меры не более, г

10

Габаритные размеры меры (диаметр х толщина), мм

12,5x2,5

Размеры рабочей области меры (диаметр), мм

9,0

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист паспорта и на футляр.

Комплектность

- 1шт.;

- 1 шт.;

- 1шт.

Мера TDG01

Специальный футляр

Руководство по эксплуатации (паспорт)

Поверка

осуществляется в соответствии с методикой, изложенной в разделе 4 Руководства по эксплуатации 3932-010-40349675-2009 РЭ и согласованной ФГУП «ВНИИМС 06.08.2009 г.

Основное средство поверки: микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой Solver Pro (Госреестр № 28666-10).

Сведения о методах измерений

Меры периода линейно-угловые TDG01. Руководство по эксплуатации.

Нормативные документы

Технические условия 3932-010-40349675-2009 ТУ и руководство по эксплуатации (паспорт) 3932-010-40349675-2009 РЭ.

Рекомендации к применению

- при выполнении работ по оценке соответствия продукции и иных объектов обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о техническом регулировании.

Развернуть полное описание