Назначение
Меры периода линейные TDG01 (далее - меры) относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.
Описание
Меры представляет собой совокупность совокупность протяженных шаговых структур на поверхности халькогенидного стекла с внешним диаметральным размером 12,5 мм и диаметральным размером рабочей области - 9 мм. Мера состоит из одинаковых шаговых структур с синусоидальной (в разрезе) геометрической формой элемента рельефа.
Внешний меры представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид меры периода линейно-угловой TDG01.
Технические характеристики
Таблица 1
| Наименование | Значение |
| Номинальное значение периода структуры меры, мкм | 0,278 |
| Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм | ± 0,001 |
| Плотность периодической структуры меры, периодов/мм | 3600 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности при формировании периодической структуры не более, % | ± 0,03 |
| Максимальная высота профиля меры не более, нм | 60 |
| Условия эксплуатации: а) При работе на воздухе - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность, % - атмосферное давление, Па б) При работе в вакуумных условиях - диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па - температура держателя образца, оС | 20 ± 3 65 ± 15 (100 ±4)403 от 1 •Ю-4 до 270 20 ± 3 |
| Масса меры не более, г | 10 |
| Габаритные размеры меры (диаметр х толщина), мм | 12,5x2,5 |
| Размеры рабочей области меры (диаметр), мм | 9,0 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист паспорта и на футляр.
Комплектность
- 1шт.;
- 1 шт.;
- 1шт.
Мера TDG01
Специальный футляр
Руководство по эксплуатации (паспорт)
Поверка
осуществляется в соответствии с методикой, изложенной в разделе 4 Руководства по эксплуатации 3932-010-40349675-2009 РЭ и согласованной ФГУП «ВНИИМС 06.08.2009 г.
Основное средство поверки: микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой Solver Pro (Госреестр № 28666-10).
Сведения о методах измерений
Меры периода линейно-угловые TDG01. Руководство по эксплуатации.
Нормативные документы
Технические условия 3932-010-40349675-2009 ТУ и руководство по эксплуатации (паспорт) 3932-010-40349675-2009 РЭ.
Рекомендации к применению
- при выполнении работ по оценке соответствия продукции и иных объектов обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о техническом регулировании.
