Назначение
Меры рельефные Кварц-ХУ1400//90нм предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 1(-9 до 1(-4 м и поверки (калибровки) оптических, оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, а также других микроскопов и средств измерений малой длины.
Описание
Мера представляет собой совокупность элементов рельефа - выступов - на поверхности подложки в виде кварцевой пластины, с нормированным шагом (периодом) выступов в латеральной плоскости по осям X и У, а также с нормированной высотой выступов (рисунок 1).
Рисунок 1 - Фото меры рельефной Кварц-ХУ1400//90нм в футляре (1а), отдельно (1б) и на столике микроскопа сканирующего зондового СММ-2000 (1в)
Подложка (кварцевая пластина) имеет форму прямоугольного параллелепипеда с размерами 5 мм х 5 мм х 2.2 мм. Периодические выступы выполнены из хрома. Кадр рабочей поверхности меры приведен на рис. 2.
Рисунок 2 - Мера рельефная Кварц-ХУ1400^90нм, кадр 7 х 7 мкм
При поверке (калибровке) средств измерений с использованием данной меры получают изображение поверхности меры с помощью калибруемого средства измерений. Затем на полученном изображении в поверяемом (калибруемом) средстве измерений величинам шага и высоты выступов придается значение, приведенное в паспорте на использованную меру.
Технические характеристики
| Наименование | Значение |
| Номинальное значение шага периодической структуры меры вдоль двух ортогональных направлений в плоскости XOY, мкм | 1,400 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности шага периодической структуры, % | ± 2 |
| Номинальное значение высоты выступов периодической структуры, мкм | 0,090 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности высоты выступов периодической структуры, % | ± 5 |
| Габаритный размер меры (длина х ширина х толщина), мм, не более | 5,5 х 5,5 х 2,5 |
| Размер рабочей области меры (длина х ширина), мм, не менее | 4,5 х 4,5 |
| Масса меры, г, не более | 0,2 |
Рабочие условия: температура окружающего воздуха 20±2 °С.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульном листе паспорта методом печати.
Комплектность
Мера рельефная Кварц-ХУ1400А/90нм 1 шт.
Футляр 1 шт.
Паспорт 1 экз.
Поверка
осуществляется по документу «Меры рельефные Кварц-ХУ1400^90нм. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2011 году.
Основными средствами поверки являются:
меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2 и TGZ3 (ГР 41678-09) с пределами допускаемых значений абсолютной погрешности высоты выступов в шаговых структурах не более ±2, ±10, ±20 нм соответственно;
мера периода линейная TDG01 (ГР 41676-09) с пределами допускаемого значения абсолютной погрешности периода шаговой структуры не более ±1 нм;
микроскоп сканирующий зондовый NTegra PRIMA (ГР 28664-10) с пределом допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров (при номинальных размерах более 10 нм) ±(1+0,001L) нм.
Сведения о методах измерений
«Меры рельефные Кварц-XY1400/Z90нм. Паспорт», раздел 6.
Нормативные документы
Меры рельефные Кварц-XY1400/Z90нм. Технические условия ТУ 4254-001-586993872010
Рекомендации к применению
Применяется при осуществлении деятельности в области здравоохранения; осуществлении ветеринарной деятельности; осуществлении деятельности в области охраны окружающей среды; выполнении работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
