Назначение
Микроскоп атомно-силовой Innova (далее микроскоп Innova) предназначен для измерений геометрических параметров рельефа поверхности с субнанометровым пространственным разрешением на воздухе и в жидких средах.
Область применения — в лаборатории Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии ФГУП «ВНИИОФИ».
Описание
Принцип действия микроскопа Innova основан на сканировании исследуемой поверхности зондами, регистрации набора физических величин <р;(х,у) и восстановлении по нему геометрии поверхности образца.
В состав микроскопа Innova входят персональный компьютер, контроллер, измерительная головка, набор сканеров, программное обеспечение. В микроскопе Innova реализованы следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии:
- полуконтактная атомно-силовая микроскопия,
- контактная атомно-силовая микроскопия,
- электростатическая микроскопия,
- магнитно-силовая микроскопия,
- сканирующая туннельная микроскопия,
- нанолитография.
Программное обеспечение микроскопа Innova защищено от несанкционированного доступа.
Технические характеристики
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, % | ± 1 |
| Угол между осями сканирования X и Y, градус | 90,0±0,7 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, % | ±5 |
| Величина нелинейности сканирования в плоскости XY не более, % | 0,5 |
| Величина неплоскостности сканирования по XY не более, нм | 80 |
| Номинальное напряжение сети питания, В | 220 ± 5% |
| Габаритные размеры основных составных частей не более, мм - микроскоп Innova - контроллер микроскопа | 380x355x355 585x191x585 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C.................................. - относительная влажность воздуха, %.................................... | (22 ± 0,2) (40 ± 2) |
| Масса, не более, кг | 47 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
В комплект поставки входят:
| 1. | Микроскоп атомно-силовой Innova | 1 шт. |
| 2. | Контроллер микроскопа | 1 шт. |
| 3. | Персональный компьютер | 1 шт. |
| 4. | Монитор | 2 шт. |
| 5. | Сканер с рабочим диапазоном 100 мкм | 1шт. |
| 6. | Сканер с рабочим диапазоном 5 мкм | 1шт. |
| 7. | Руководство по эксплуатации | 1 экз. |
| 8. | Методика поверки | 1 экз. |
Поверка
Поверка микроскопа Innova осуществляется в соответствии с документом «Микроскоп атомно-силовой Innova фирмы Veeco Instruments Inc. Методика поверки”, утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2010 г.
Основные средства поверки:
мера периода и высоты линейная TGQ1 (Госреестр № 41680-09);
мера периода и высоты линейная TGZ3 (Госреестр № 41678-09).
Межповерочный интервал - один год.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя «Veeco Instruments Inc.», США.
Заключение
Тип микроскопа атомно-силового Innova утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.
54578-13
