Микроскоп атомно-силовой Innova. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Микроскоп атомно-силовой Innova

Основные
Тип Innova
Год регистрации 2010
Дата протокола 03д2 от 29.07.10 п.49
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 40590
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  США 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Микроскоп атомно-силовой Innova (далее микроскоп Innova) предназначен для измерений геометрических параметров рельефа поверхности с субнанометровым пространственным разрешением на воздухе и в жидких средах.

Область применения — в лаборатории Центра метрологического обеспечения и оценки соответствия нанотехнологий и продукции наноиндустрии ФГУП «ВНИИОФИ».

Описание

Принцип действия микроскопа Innova основан на сканировании исследуемой поверхности зондами, регистрации набора физических величин <р;(х,у) и восстановлении по нему геометрии поверхности образца.

В состав микроскопа Innova входят персональный компьютер, контроллер, измерительная головка, набор сканеров, программное обеспечение. В микроскопе Innova реализованы следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии:

- полуконтактная атомно-силовая микроскопия,

- контактная атомно-силовая микроскопия,

- электростатическая микроскопия,

- магнитно-силовая микроскопия,

- сканирующая туннельная микроскопия,

- нанолитография.

Программное обеспечение микроскопа Innova защищено от несанкционированного доступа.

Технические характеристики

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y, %

± 1

Угол между осями сканирования X и Y, градус

90,0±0,7

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, %

±5

Величина нелинейности сканирования в плоскости XY не более, %

0,5

Величина неплоскостности сканирования по XY не более, нм

80

Номинальное напряжение сети питания, В

220 ± 5%

Габаритные размеры основных составных частей не более, мм - микроскоп Innova - контроллер микроскопа

380x355x355

585x191x585

Условия эксплуатации:

- температура окружающего воздуха, °C..................................

- относительная влажность воздуха, %....................................

(22 ± 0,2) (40 ± 2)

Масса, не более, кг

47

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.

Комплектность

В комплект поставки входят:

1.

Микроскоп атомно-силовой Innova

1 шт.

2.

Контроллер микроскопа

1 шт.

3.

Персональный компьютер

1 шт.

4.

Монитор

2 шт.

5.

Сканер с рабочим диапазоном 100 мкм

1шт.

6.

Сканер с рабочим диапазоном 5 мкм

1шт.

7.

Руководство по эксплуатации

1 экз.

8.

Методика поверки

1 экз.

Поверка

Поверка микроскопа Innova осуществляется в соответствии с документом «Микроскоп атомно-силовой Innova фирмы Veeco Instruments Inc. Методика поверки”, утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2010 г.

Основные средства поверки:

мера периода и высоты линейная TGQ1 (Госреестр № 41680-09);

мера периода и высоты линейная TGZ3 (Госреестр № 41678-09).

Межповерочный интервал - один год.

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя «Veeco Instruments Inc.», США.

Заключение

Тип микроскопа атомно-силового Innova утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.

Развернуть полное описание