Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100

Основные
Тип Veeco Dimension 3100
Год регистрации 2012
Дата протокола Приказ 424 п. 23 от 18.06.2012
Номер сертификата 46850
Срок действия сертификата ..
Страна-производитель  США 
Тип сертификата (C - серия/E - партия) E

Назначение

Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100 (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерения линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.

Описание

Принцип действия микроскопа основан на сканировании исследуемой поверхности зондами и восстановлении по нему геометрии поверхности образца.

В состав микроскопа Veeco Dimension 3100 входят персональный компьютер, контроллер, измерительная головка, набор сканеров, программное обеспечение. В микроскопе Veeco Dimension 3100 реализованы следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии:

- полуконтактная атомно-силовая микроскопия,

- контактная атомно-силовая микроскопия.

Рисунок 1 - Общий вид микроскопа атомно-силового Veeco Dimension 3100

Марка изготовителя и наименование прибора

Заводской номер прибора, место пломбирования

Рисунок 2 - маркировка и пломбирование микроскопа атомно-силового

Veeco Dimension 3100

Программное обеспечение

Все действия с микроскопом проводятся с помощью ПК, на котором установлено автономное программное обеспечение (ПО) «femtoscan online».

Управление работой микроскопом, визуализация экспериментальных данных, а также обработка результатов измерений проводится с помощью программного продукта «femtoscan online».

Интерфейсная часть программного обеспечения микроскопа запускается на ПК и служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений; она состоит из управляющих программ, файлов драйвера для работы через порт USB. Управляющая программа работает в удобном диалоговом режиме. В программе предусмотрен ввод данных о параметрах образца и дисперсанта (температура, коэффициент преломления и пр.), а также устанавливается режим измерений. Результаты измерений заносятся в протокол, генерируемый программой, и хранятся на жестком диске компьютера.

Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.

Таблица 1

Наименование

ПО

Идентификаци онное наименование ПО

Номер версии (идентификаци онный номер)

ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

femtoscan

femtoscan online

2.3

9B82BA090D15D25B5 A6A0D697F685FC4

MD5

Обмен данными между микроскопом и персональным компьютером осуществляется по порту USB.

Искажение данных при передаче через интерфейс связи исключается параметрами протокола.

Метрологически значимая часть ПО микроскопа размещается в энергонезависимой памяти микроконтроллера, расположенной в аппаратной части микроскопа, запись которой осуществляется в процессе производства. Доступ к микроконтроллеру исключён конструкцией аппаратной части микроскопа.

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики приведены в таблице 2.

Таблица 2

Наименование характеристики

Значение характеристики

Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм

2 - 90

Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм

0,02 - 0,60

Пределы допускаемой систематической составляющей погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм

±0,06

Пределы допускаемой систематической составляющей погрешности измерений высоты шаговой структуры (линейных размеров по оси Z), мкм

±0,02

СКО измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм, не более

0,05

СКО измерений высоты шаговой структуры (линейных размеров по оси Z), мкм, не более

0,002

Напряжение питания переменного тока, В

230

Потребляемая мощность, Вт, не более

600

Г абаритные размеры контроллера, мм, не более

585x191x585

Г абаритные размеры микроскопа, мм, не более

818x865x1270

Масса, кг, не более

85

Знак утверждения типа

наносится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.

Комплектность

Таблица 3

Наименование

Количество, шт.

Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100

1

Контроллер микроскопа

1

Персональный компьютер

2

Монитор

2

Кабель USB для соединения с ПК

2

Комплект кабелей для подключения к сети электропитания

2

Пакет прикладного программного обеспечения (диск)

2

Виброзащищенный стол

1

Сканер с рабочим диапазоном 100 мкм

1

Сканер с рабочим диапазоном 5 мкм

1

Набор кантилеверов для полуконтактного режима работы

1

Набор кантилеверов для контактного режима работы

1

Запасной предохранитель

4

Упаковка

1

Руководство по эксплуатации

1

Методика поверки № МП 31. Д4-11

1

Поверка

осуществляется по документу: «Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100. Методика поверки № МП 31.Д4-11», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 10 октября 2011 г.

Основные средства поверки:

Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.

Основные метрологические характеристики:

Таблица 4

Наименование характеристики

Значение характеристики

Передача размера единицы длины в диапазоне, м

10-9 - 10-4

Номинальное значение шага шаговой структуры меры, мкм

2,00

Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, мкм

± 0,05

Сведения о методах измерений

«Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100. Руководство по эксплуатации», раздел 2 «Подготовка к работе и порядок работы».

Нормативные документы

Техническая документация фирмы «Veeco Instruments Inc.», США

Рекомендации к применению

Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям

Развернуть полное описание