Назначение
Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100 (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерения линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на сканировании исследуемой поверхности зондами и восстановлении по нему геометрии поверхности образца.
В состав микроскопа Veeco Dimension 3100 входят персональный компьютер, контроллер, измерительная головка, набор сканеров, программное обеспечение. В микроскопе Veeco Dimension 3100 реализованы следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии:
- полуконтактная атомно-силовая микроскопия,
- контактная атомно-силовая микроскопия.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа атомно-силового Veeco Dimension 3100
Марка изготовителя и наименование прибора
Заводской номер прибора, место пломбирования
Рисунок 2 - маркировка и пломбирование микроскопа атомно-силового
Veeco Dimension 3100
Программное обеспечение
Все действия с микроскопом проводятся с помощью ПК, на котором установлено автономное программное обеспечение (ПО) «femtoscan online».
Управление работой микроскопом, визуализация экспериментальных данных, а также обработка результатов измерений проводится с помощью программного продукта «femtoscan online».
Интерфейсная часть программного обеспечения микроскопа запускается на ПК и служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений; она состоит из управляющих программ, файлов драйвера для работы через порт USB. Управляющая программа работает в удобном диалоговом режиме. В программе предусмотрен ввод данных о параметрах образца и дисперсанта (температура, коэффициент преломления и пр.), а также устанавливается режим измерений. Результаты измерений заносятся в протокол, генерируемый программой, и хранятся на жестком диске компьютера.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1
| Наименование ПО | Идентификаци онное наименование ПО | Номер версии (идентификаци онный номер) ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
| femtoscan | femtoscan online | 2.3 | 9B82BA090D15D25B5 A6A0D697F685FC4 | MD5 |
Обмен данными между микроскопом и персональным компьютером осуществляется по порту USB.
Искажение данных при передаче через интерфейс связи исключается параметрами протокола.
Метрологически значимая часть ПО микроскопа размещается в энергонезависимой памяти микроконтроллера, расположенной в аппаратной части микроскопа, запись которой осуществляется в процессе производства. Доступ к микроконтроллеру исключён конструкцией аппаратной части микроскопа.
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в таблице 2.
Таблица 2
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм | 2 - 90 |
| Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм | 0,02 - 0,60 |
| Пределы допускаемой систематической составляющей погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм | ±0,06 |
| Пределы допускаемой систематической составляющей погрешности измерений высоты шаговой структуры (линейных размеров по оси Z), мкм | ±0,02 |
| СКО измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм, не более | 0,05 |
| СКО измерений высоты шаговой структуры (линейных размеров по оси Z), мкм, не более | 0,002 |
| Напряжение питания переменного тока, В | 230 |
| Потребляемая мощность, Вт, не более | 600 |
| Г абаритные размеры контроллера, мм, не более | 585x191x585 |
| Г абаритные размеры микроскопа, мм, не более | 818x865x1270 |
| Масса, кг, не более | 85 |
Знак утверждения типа
наносится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
Таблица 3
| Наименование | Количество, шт. |
| Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100 | 1 |
| Контроллер микроскопа | 1 |
| Персональный компьютер | 2 |
| Монитор | 2 |
| Кабель USB для соединения с ПК | 2 |
| Комплект кабелей для подключения к сети электропитания | 2 |
| Пакет прикладного программного обеспечения (диск) | 2 |
| Виброзащищенный стол | 1 |
| Сканер с рабочим диапазоном 100 мкм | 1 |
| Сканер с рабочим диапазоном 5 мкм | 1 |
| Набор кантилеверов для полуконтактного режима работы | 1 |
| Набор кантилеверов для контактного режима работы | 1 |
| Запасной предохранитель | 4 |
| Упаковка | 1 |
| Руководство по эксплуатации | 1 |
| Методика поверки № МП 31. Д4-11 | 1 |
Поверка
осуществляется по документу: «Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100. Методика поверки № МП 31.Д4-11», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 10 октября 2011 г.
Основные средства поверки:
Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Основные метрологические характеристики:
Таблица 4
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Передача размера единицы длины в диапазоне, м | 10-9 - 10-4 |
| Номинальное значение шага шаговой структуры меры, мкм | 2,00 |
| Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, мкм | ± 0,05 |
Сведения о методах измерений
«Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100. Руководство по эксплуатации», раздел 2 «Подготовка к работе и порядок работы».
Нормативные документы
Техническая документация фирмы «Veeco Instruments Inc.», США
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям
47464-11
