Назначение
Микроскоп электронный просвечивающий JEM 200CX (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров фазовых и структурных составляющих металлов и сплавов, композиционных и полимерных материалов, порошков, микрокристаллов, локального микрорентгеноспектрального анализа, определения параметров кристаллических решеток.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на использовании электронного пучка с длиной волны, значительно более короткой, чем световая.
В состав микроскопа входят:
- вакуумная система;
- источник электронов;
- источник высокого напряжения для ускорения электронов;
- набор электромагнитных линз и электростатических пластин для управления и контроля электронного пучка;
- экран, на который проецируется увеличенное электронное изображение;
- энергодисперсионный детектор с пакетом программного обеспечения INCA Energy TEM-250 для проведения элементного анализа с высокой локальностью измерений.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного просвечивающего JEM 200CX
Рисунок 2 - маркировка и пломбирование микроскопа электронного просвечивающего JEM 200CX
Программное обеспечение
Все действия с микроскопом проводятся с помощью ПК, на котором установлено автономное программное обеспечение (ПО).
Интерфейсная часть программного обеспечения микроскопа запускается на ПК и служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений; она состоит из управляющих программ:
- Digital Micrograph предназначено для обработки изображений, получаемых от микроскопа;
- INCA Energy TEM-250 предназначено для накопления спектра с выделенного участка образца, отмеченного на изображении, в режиме сканирования на просвет, с возможностью получения карты распределения по химическим элементам.
Результаты измерений заносятся в протокол, генерируемый программой, и хранятся на жестком диске компьютера.
Обмен данными между микроскопом и персональным компьютером осуществляется по порту USB.
Искажение данных при передаче через интерфейс связи исключается параметрами протокола.
Метрологически значимая часть ПО микроскопа размещается в энергонезависимой памяти микроконтроллера, расположенной в аппаратной части микроскопа, запись которой осуществляется в процессе производства. Доступ к микроконтроллеру исключён конструкцией аппаратной части микроскопа.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1
| Наименование ПО | Идентификационное наименование ПО | Номер версии (идентификационный номер) ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
| Digital Micrograph | Gatan Digital Micrograph ES500W | 3.11.1 | 629D02634F701E39E38 5D957B81F714A | MD5 |
| INCA Energy TEM-250 | The Microanalysis Suite Issue 17 a | 4.08.0017 | 419736A2691245673F48 5D525FCA30DA | MD5 |
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики Микроскопа электронного просвечивающего JEM 200CX приведены в таблице 2.
Таблица 2
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Разрешающая способность при ускоряющем напряжении 160 кВ, нм | 0,5 |
| Разрешение локального микрорентгеноспектрального анализа, нм | 20 |
| Диапазон измерений геометрических расстояний, мкм | 0,05 - 10 |
| Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерения геометрических расстояний при ускоряющем напряжении 160 кВ, % | ±0,1 |
| Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ | 80 - 200 |
| Увеличение (кратность), крат | 600 - 330000 |
| Номинальное напряжение трехфазной сети питания, В | 380 ± 22 |
| Потребляемая мощность, кВт, не более | 6 |
| Габаритные размеры, мм | 1600 х 1300 х 3000 |
| Масса, кг, не более | 1200 |
Знак утверждения типа
наносится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
Перечень основного и дополнительного оборудования приведен в таблице 3.
Таблица 3
| Наименование | Количество, шт. |
| Микроскоп электронный просвечивающий JEM 200CX | 1 |
| Блок питания | 1 |
| Высоковольтный блок | 1 |
| Форвакуумный насос | 1 |
| Воздушный компрессор | 1 |
| Руководство по эксплуатации | 1 |
| Методика поверки № МП 66.Д4-11 | 1 |
Поверка
осуществляется по документу: «Микроскоп электронный просвечивающий JEM 200CX. Методика поверки № МП 66.Д4-11», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 15 марта 2011 г.
Основные средства поверки:
1 Мера периода рельефная S106
Основные метрологические характеристики:
Номинальное значение шага периодической структуры меры вдоль двух ортогональных направлений - 0,463 мкм
Предел допускаемой абсолютной погрешности шага периодической структуры -± 0,020 мкм.
2 Мера рельефная графитовая S140
Основные метрологические характеристики:
Номинальное значение периода кристаллической решетки меры - 0,314 нм.
Предел допускаемой абсолютной погрешности периода кристаллической решетки -± 0,05 нм
Сведения о методах измерений
«Микроскоп электронный просвечивающий JEM 200CX. Руководство по эксплуатации», раздел 7 «Работа с образцами».
Нормативные документы
Техническая документация JEOL Ltd, Япония.
Рекомендации к применению
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям
90362-23
