Микроскоп электронный просвечивающий с аналитическими модулями JEM-2100. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Микроскоп электронный просвечивающий с аналитическими модулями JEM-2100

Основные
Тип JEM-2100
Год регистрации 2011
Дата протокола Приказ 6279 от 31.10.11 п.02
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 44262
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Япония 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Микроскоп электронный просвечивающий с аналитическими модулями JEM-2100 (далее микроскоп) предназначен для измерений геометрических расстояний и размеров элементов микро- и ультраструктуры, а также для анализа локального элементного состава и кристаллической структуры тонкопленочных образцов (ультратонких срезов ткани, залитой в полимер, и суспензий микрочастиц (вплоть до наноразмерных), нанесенных на полимерную пленку-подложку).

Микроскоп применяется в материаловедении, биологических, медицинских исследованиях, а также при оценке биобезопасности продукции наноиндустрии и нанотехнологий.

Описание

Принцип действия микроскопа основан на формировании пучка электронов с энергией до 200 кэВ для непосредственного просвечивания объекта. В качестве объектов, прозрачных для электронов с такой энергией, могут исследоваться ультратонкие срезы, напыленные в вакууме реплики, нанесенные на прозрачную для электронов подложку наночастицы и др. Система магнитных линз микроскопа формирует электронно-микроскопическое изображение объекта в проходящих электронах. Контраст на изображении, т.е. его неравномерная освещенность, возникает из-за того, что рассеяние проходящих электронов зависит от массы атомов просвечиваемого вещества, а также, в случае просвечивания кристаллического вещества, и от ориентации кристаллографических осей относительно электронного луча микроскопа. Соответствующие неоднородности объекта становятся видимыми на электронномикроскопическом изображении благодаря тому, что электроны, рассеянные на большие углы, задерживаются апертурной диафрагмой и не участвуют в формировании окончательного изображения.

Методы электронной дифракции реализуются путем регулирования токов магнитных линз и введения в колонну микроскопа селекторных диафрагм. Эти методы дают информацию о наличии или отсутствии кристаллической структуры у выбранного микроучастка образца, о типе кристаллической решетки, а также позволяют рассчитать межплоскостные расстояния в микрокристаллах путем сравнения полученных дифракционных картин (электронограмм) с электронограммами тонкопленочных образцов с известным составом и кристаллической структурой.

Дополнительные аналитические модули микроскопа - энергодисперсионый спектрометр характеристического рентгеновского излучения и спектрометр характеристических потерь энергии электронов - позволяют реализовать методы анализа локального элементного состава исследуемых образцов.

Рис. 1. Общий вид микроскопа электронного просвечивающего с аналитическими модулями JEM-2100

В состав микроскопа входит специализированное программное обеспечение, идентификационные данные которого приведены ниже.

Наименование программного обеспечения

Идентификационное наименование     про

граммного обеспечения

№ версии ПО

Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма)

Алгоритм вычисления идентификатора ПО

1

2

3

4

5

Пакет управления Микроскопом TEM Controller (TEMCON)

ATF.exe BComp.exe BrightnessZoom. exe CsCcCalc.exe EFCalibration.exe FKeyServer.exe HCID.exe

HeStageV acSystem. exe HolderSetup.exe jeolTEM.exe JeolTEMScripting.exe MDS.exe OmUnit.exe

T emperatureMonitor. exe

2.20

2daccc047fe84da1dc62e78b4748028d cdc2f71075e409475c06737c606d6c5f c228bcdd16cc0e2408cfa138ce4664c0 87f51 eb 160e06829e971 aa3 af55e70d3 93b9bafbc5b2462a6270e460b114cbc6 8e6f060221 dd44bfed124938b35 a4efe 38202556cc883e3 a63 a3 e2beea5687e3 d047e5ba1c2df31e1827681e92134d15 ec7f8b5074f5784a8c9a22b03f4b9298 01bf12370bb2c8334ed4f51f51ba5080 3978c48552bc34d1a9e65b89974505ef c8835e5db60e70f8e99922e94effef84 15daab4f6581 d77c7b4711d3bc3d881f f58a2de807496b04c9a32ec0d13ba9bb

Программа md5sum

1

2

3

4

5

Пакет управления фотокамерами и спектрометром электронных потерь Gatan Microscope Suit (GMS)

GMS.dll

libimalloc.dll libiomp5md.dll mkl_core.dll mkl_def.dll mkl_intel_thread. dll mkl_msg.dll mkl_p4.dll mkl_p4m.dll mkl_p4m3.dll mkl_p4p.dll msvcr71.dll

DigitalMicrograph. exe

2.01.6

97.0

e322108fbe73ef9de0d746dd3bf8635c bc18c393df4b576fcc3ec8f42cf7c5eb 136b913bccea2245ccbc3 55f31 cffd9d

C7a6deeb0553ee49f4ffe7f4d7fd8fd9 6f42bf8d719293897bb0a743dd5 52790 3b15586b0d6ec0dcd8413bffa23a84b5 6ade946f2718e26971b29940e38509e2 8273d4c8645ee8af313105b8a00858a8 f90905673c86e1be69c01b67c097b432 40775192bc09e0e536327f5477006c12 7f00c0c68ae9a873543b30d935006b5b 86f1895ae8c5e8b17d99ece768a70732 a9d2d27859d9161f6d1 f420f0e0729fa

Программа md5sum

Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений в соответствии с МИ 3286-2010 соответствует уровню «С».

Технические характеристики

Таблица 1

Диапазон измерений геометрических расстояний, мкм

от 440’4 до 100

Пределы допускаемой погрешности измерения геометрических расстояний при ускоряющем напряжении 200 кВ*:

в диапазоне (1..100) мкм при измерении абсолютных размеров, %

в диапазоне (0,05..1) мкм при измерении абсолютных размеров, %

в диапазоне (4-10-4..0,05) мкм при измерении абсолютных размеров

(L-размер кадра, выраженный в нанометрах), нм

± 3%

± 7%

± (2+0,07L)

Диапазон регулировки увеличения, крат

от 50 до 1 500 000

Анализируемые химические элементы (по порядку следования в периодической системе химических элементов им. Д.И. Менделеева)

От B до Pu

Локальность элементного анализа методами энергодисперсионной спектроскопии и спектроскопии характеристических потерь электронов, нм

25

Значения ускоряющего напряжения, кВ

от 80..200

Номинальное напряжение сети питания (однофазной), В

230+300

Максимальная потребляемая мощность, кВ •А

10

Габаритные размеры основных блоков не более, мм стенд с колонной, блок питания блок насосов

Общий размер в собранном состоянии, мм

1570x2250x2440 800x570x1750 210x430x510 2800x2800x3000

Условия эксплуатации:

- температура окружающего воздуха, ° C

- относительная влажность воздуха, %

(20 ± 5) (40 ± 20)

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.

Комплектность

1. Микроскоп электронный просвечивающий

с аналитическими модулями JEM-2100                    - 1экз.;

2. Комплект ЗИП и расходные материалы                   - 1 компл.;

3. Руководство по эксплуатации                              - 1 шт.;

4. Методика поверки                                           - 1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 48091-11 «Микроскоп электронный просвечивающий с аналитическими модулями JEM-2100. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в октябре 2011 года.

Основными средствами поверки являются:

Мера длины рельефная МПУ278нм с характеристиками, приведенными в таблице 2. Таблица 2

Наименование

Значение

Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм

0,278

Предел допускаемой основной погрешности шага периодической структуры, мкм

± 0,002

Масса меры не более, г

0,1

Габаритный размер меры (Диаметр х Толщина), мм

3,0 х 0,3

Размер рабочей области меры (Диаметр), мм

1,0

Сведения о методах измерений

Сведения отсутствуют

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя

Рекомендации к применению

- при выполнении работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям

Развернуть полное описание