ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP Назначение средства измерений
Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров объектов.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на том, что электроны, испускаемые катодом, ускоряются электронной пушкой и сводятся в пучок, который дополнительно фокусируется конденсорными линзами и проецируется на объект. При прохождении через объект параллельного пучка быстрых электронов происходит их рассеяние на неоднородностях структуры или состава исследуемого объекта. В плоскости изображения объективной линзы, расположенной непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в ее фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответствует определенному углу выхода электронов из образца.
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему, в состав которой входят: электронно-оптическая колонна; светло-темнопольный детектор электронов; широкоугловой темнопольный детектор; рабочий стол с блоками управления электроники, который вместе с электронно-оптической колонной образует главную консоль прибора; вакуумная система с отдельно расположенным форвакуумным механическим насосом; стабилизированный источник высокого напряжения; компрессор сжатого воздуха для управления пневмоклапанами; система замкнутого водяного охлаждения.
Основной частью микроскопа является электронно-оптическая колона. В состав колоны входят электронная пушка и три блока электронных линз (осветительный, формирующий изображение и проекционный). Первый блок составлен из двух линз. Основным элементом второго блока является объективная линза, в которую путем шлюзования вводится объекто-держатель с объектом. Блок проекционных линз обеспечивает требуемое увеличение изображений. На нижней части колонны установлена камера с флуоресцентным экраном, в которой выполнены окна для наблюдения изображения. Над центральным окном установлен оптический бинокулярный микроскоп, который обеспечивает просмотр фрагментов изображения на экране и фокусировку.
Управление работой микроскопа осуществляется с помощью рабочей станции на базе специализированного компьютера.
При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.
Внешний вид микроскопа приведен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP.
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
| Наименование ПО | Идентификационное наименование ПО | Номер версии (идентификационный номер) ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления иден-тификато-ра ПО |
| Пакет управляющих программ «ТЕМ User Interface» | peoui.exe | 4.6.2, build 9496 | A4DCDA36BC25390C2526B1 018A0F653DCFC77B24D5F2 B52A82F6D185B3D71193 | По ГОСТ Р 34.11-94 |
Основные метрологические и технические характеристики микроскопов приведены в таблице 2.
Таблица 2.
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений линейных размеров, нм | от 3 до 50000 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % | ±10 |
| Диапазон регулировки увеличений, крат | от 25 до 1030000 |
| Диапазон ускоряющих напряжений, кВ | от 20 до 200 |
| Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В | от 198 до 233 |
| Потребляемая мощность, кВт, не более | 10 |
| Г абаритные размеры (длина х ширина х высота), мм | 1950 х 1200 х 2940 |
| Масса, кг, не более | 2200 |
| Рабочие условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, %, не более - атмосферное давление, кПа | 20 ± 3 80 от 84 до 107 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на электронно-оптическую колонну микроскопа и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Комплектность
В комплект поставки входят: микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по документу МП 60084-15 «Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP фирмы «FEI Europe B.V., P.O.», Нидерланды. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в феврале 2015 г.
Средства поверки: СО параметров шаговой структуры в тонком слое монокри-сталлического кремния (ГСО 10030-2011).
Сведения о методах измерений
Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронному просвечивающему Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP
Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP. Руководство по эксплуатации.
Рекомендации к применению
Отсутствуют.
60084-15: Описание типа СИСкачать85.4 Кб
17879-98
