Назначение
Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердых структур.
Описание
Принцип работы микроскопа основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопа, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскоп формирует то или иное конкретное изображение.
Микроскоп измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.
Микроскоп укомплектован системой электронной литографии Xenos XeDraw 2, которая позволяет прорисовывать нужные конфигурации на поверхности чувствительного к элементному облучению резита, а так же системой энергодисперсионного рентгеновского микроанализа и дифракции отраженных электронов Bruker Quantax CrystAling200 для определения количественного и качественного состава образца.
Программное обеспечение
Все действия с микроскопом проводятся с помощью ПК, на котором установлено автономное программное обеспечение (ПО).
Интерфейсная часть программного обеспечения микроскопа запускается на ПК и служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений; она состоит из управляющей программы SEM Control User Interface.
Программное обеспечение SEM Control User Interface снабжено уникальной системой навигаторов, которые направляют пользователя на всех этапах процесса микроанализа, начиная с создания нового проекта и заканчивая созданием готового к печати отчета.
Система имеет три основных навигатора:
- Анализатор (позволяет проводить накопление спектра с участка образца, облучаемого электронным пучком);
- Point & ID (позволяет проводить накопление с участков образца, отмеченных на изображении, облучаемых сфокусированным электронным пучком в режиме сканирования);
- Картирование (позволяет проводить накопление спектра с выделенного участка образца, отмеченного на изображении, в режиме сканирования, с возможностью получения карты распределения по химическим элементам).
Результаты измерений заносятся в протокол, генерируемый программой, и хранятся на жестком диске компьютера.
Обмен данными между микроскопом и персональным компьютером осуществляется по порту USB.
Искажение данных при передаче через интерфейс связи исключается параметрами протокола.
Идентификационные данные ПО приведены в таблице 1.
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | SEM Control User Interface |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 8.3 |
| Цифровой идентификатор ПО | 778E9E83424AF495FBAB43664B156384 |
| Алгоритм хэширования | MD5 |
Уровень защиты программного обеспечения от преднамеренных и непреднамеренных изменений в соответствии с Р 50.2.077-2014 средний.
Технические характеристики
Таблица 2
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Диапазон измерений линейных размеров, мкм | от 3 до 100 |
| Диапазон показаний линейных размеров, мкм | от 0,03 до 1000 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности, мкм: | |
| - в диапазоне от 3 до 100 мкм | ±0,1 |
| Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ, нм, не более | 120 |
| Электропитание осуществляется от сети переменного тока с | |
| напряжением, В | 220±5 |
| частотой, Гц | 50 ± 10 |
| Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ | 0,3 - 30 |
| Габаритные размеры основных составных частей, мм, не более | |
| блок электронно-оптической колонны | 750x960x1480 |
| операционный блок | 1150x900x700 |
| масляно-ротационный насос | 460x175x255 |
| виброизолятор | 270x200x200 |
| Масса основных составных частей, кг, не более | |
| блок электронно-оптической колонны | 400 |
| операционный блок | 170 |
| масляно-ротационный насос | 23 |
| виброизолятор | 10 |
| Условия эксплуатации: | |
| - температура окружающей сред, ° С | 20 ± 3 |
| - относительная влажность воздуха, % не более | 80 |
| -атмосферное давление, кПа | 100 ± 4 |
Знак утверждения типа
наносится на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 3
| Наименование | Количество, шт |
| Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV | 1 |
| Система электронной литографии Xenos XeDraw 2 | 1 |
| Система энергодисперсионного рентгеновского микроанализа и дифракции отраженных электронов Bruker Quantax CrystAling200 | 1 |
| Блок электронно-оптической колонны | 1 |
| Блок управления | 1 |
| Персональный компьютер | 1 |
| CD-диск с ПО | 1 |
| Масляно-ротационный насос | |
| Виброизолятор | 1 |
| Набор инструментов | 1 |
| Комплект принадлежностей для установки и транспортировки | 1 |
| Руководство по эксплуатации | 1 |
| Методика поверки | 1 |
Поверка
осуществляется по документу МП 013.М1-15 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 10.03.2015 г.
Основные средства поверки:
Мера периода и высоты линейные TGZ1 (№ г.р. 41678-09)
Основные метрологические характеристики: номинальное значение шага шаговой структуры меры 3 мкм,
допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры не более, мкм ± 0,01.
Сведения о методах измерений
Руководство по эксплуатации «Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV», раздел 6.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу электронному растровому JSM-6490LV
1 ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 110-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».
2 Техническая документация фирмы-изготовителя
63062-16: Методика поверки МП 013.М1-15Скачать933.1 Кб
94206-24
