Назначение
Микроскоп электронный растровый Philips XL 40 (далее- микроскоп) предназначен для проведения научных и прикладных исследований твердотельных образцов, включая наноструктурированные материалы и нанообъекты. Прибор позволяет проводить количественный морфологический анализ и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности твёрдотельных структур.
Микроскоп применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, медицине, металлургии, а также в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организаций.
Описание
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему, работающую в диапазоне микро- и наноразмеров.
Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры образцов с механизмом их перемещения, детектора вторичных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.
Вакуумная система включает в себя диффузионный и форвакуумный насосы для откачки рабочей камеры микроскопа и гетероионный насос для обеспечения вакуума в катодном узле и электронной колонне.
Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Технические характеристики
| Параметры | Значение |
| Диапазон регулировки увеличения, крат | 20-200000 |
| Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ, нм, не более | 32 |
| Диапазон измерения линейных размеров, мкм | 0,1-10000 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % | ±5 |
| Источник электронов | катод из гексаборида лантана LaBe |
| Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ | 1-30 |
| Разрешение при ускоряющем напряжении 30 кВ, нм | 3,5 |
| Напряжение питания переменного тока, В | ZZU -15% |
| Максимальная потребляемая мощность, кВт | 4,7 |
| Общая масса, кг | 1000 |
| Габаритные размеры в собранном виде, mmj | 2770x900x1900 |
| Рабочие условия эксплуатации: • температура воздуха в помещении, °C • уровень стабильности температурного режима, °C /ч • влажность, % | 20±3 < 1 <95 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на корпус микроскопа и на титульный лист руководства по эксплуатации.
Комплектность
В комплект микроскопа входят: микроскоп электронный растровый Philips XL 40, комплект ЗИП и расходные материалы, руководство по эксплуатации.
Поверка
Поверка микроскопа электронного растрового Philips XL 40 проводится по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки». Средство поверки - мера ширины и периода специальная МШПС-2.ОК, изготовленная по ГОСТ Р 8.628-2007 «Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления» и поверенная по ГОСТ Р 8.629-2007 «Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки».
Межповерочный интервал -1 год.
Нормативные документы
1. ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».
2. ГОСТ Р 8.628-2007 «Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления»
3. ГОСТ Р 8.629-2007 «Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки»
Заключение
Тип микроскопа растрового электронного Philips XL 40, заводской номер D646, утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.
91561-24
